Курс лекций

МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТимени Н.Э. БАУМАНАКурс лекций«Физико-химические основы микро- и нанотехнологий»МГТУ имени Н.Э. БауманаМОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТимени Н.Э. БАУМАНАКурс лекций«Физико-химические основы микро- и нанотехнологий»МоскваМГТУ имени Н.Э. Баумана2012УДК 681.3.06(075.8)ББК 32.973-018И201Курс лекций «Физико-химические основы микро- и нанотехнологий» /Коллектив авторов –М.: МГТУ им.

Н.Э. Баумана, 2012. – 121 с.: ил.В курсе лекций рассмотрены основные этапы курса «Физика».Ил. 39. Табл. 5. Библиогр. 7 назв.УДК 681.3.06(075.8)© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2012АННОТАЦИЯВ курсе лекций будут рассмотрены основные темы курса «Физико-химическиеосновы микро- и нанотехнологий» такие как: нанесение и модификация материалов,удаление материалов и получение заданной конфигурации технологических структурныхэлементов микросхем, в том числе полупроводниковая технология, пленочная технология,микролитография, технология изготовления, сборки и монтажа конструктивнотехнологических элементов ЭС.ANNOTATIONThe course lectures will discuss the main themes of the course "Physical and chemicalbasis of micro-and nanotechnology," such as application and modification of materials, removalof materials and technology to obtain a given configuration of the structural elements ofmicrocircuits, including semiconductor technology, film technology, microlithography, thetechnology of manufacturing , assembly and installation of structural and technological elementsof the EC.......ОглавлениеВВЕДЕНИЕ ....................................................................................................................................61 ЛЕКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПО КУРСУ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫМИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ ......................................................................................71.1 Лекция 01..........................................................................................................................71.2 Лекция 02........................................................................................................................241.3 Лекция 03........................................................................................................................321.4 Лекция 04........................................................................................................................531.5 Лекция 05........................................................................................................................901.6 Лекция 06......................................................................................................................1081.7 Лекция 07......................................................................................................................1261.8 Лекция 08......................................................................................................................1471.9 Лекция 09......................................................................................................................1851.10 Лекция 11....................................................................................................................1941.11 Лекция 12....................................................................................................................2061.12 Лекция 13....................................................................................................................233ВЫВОДЫ ...................................................................................................................................250СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ ................................................................

251ВВЕДЕНИЕДанный конспект лекций составлен на основе лекционного курса, читаемого в МГТУим. Н.Э. Баумана на кафедре иу4 преподавателем Резчиковой Е. В. Курс лекцийрекомендован к выполнению текущих аттестационных мероприятий и подготовки кэкзамену по предмету «Физико-химические основы микро- и нанотехнологий».1 ЛЕКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПО КУРСУ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫМИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ1.1 Лекция 01ВведениеОсновные технологические группы процессов в производстве ЭС: нанесение имодификация материалов, удаление материалов и получение заданной конфигурациитехнологических структурных элементов микросхем, в том числе полупроводниковаятехнология, пленочная технология, микролитография, технология изготовления, сборки имонтажа конструктивно-технологических элементов ЭС.

Использование современныхдостижений физики и химии в технологии производства ЭС: электронные, ионные,атомные, лазерные, фотонные пучки, плазма, химически активная плазма. Вепольныйподход к технологии. Классификация химических и электрохимических методовобработки по целевому назначению:Удаление материалов с поверхности изделийПодготовка поверхности деталей. Характеристики типовых загрязнений.Обезжиривание в щелочных растворах и органических растворителях. Очистка отокислов.

Построение веполей очистки. Механические и комбинированные методыочистки. Электрохимическая и ультразвуковая отмывка. Технические поля в технологииочистки. Управление техническими полями. Оборудование. Контроль качества очистки.Вепольные задачи на обнаружение. Построение измерительных веполей исовершенствование методов контроля качества очистки.1.2 Лекция 02Травление поверхности изделийТравление материалов в жидких средах. Построение веполей травления.Технические поля для травления. Методика выбора травителей.

Селективное травление,химическое полирование, электрохимическое полирование, глубокое травление особенности механизмов протекания процессов и их организации. Оборудование.Примеры использования в производстве ЭВС. Нейтрализация растворов, охранаокружающей среды. Разрушение вредных веполей.Вакуумно-плазменное травление: ионно-плазменное, ионно-лучевое, плазменное,радикальное, реактивное ионно-плазменное и реактивное ионно-лучевое. Основныезакономерности, оборудование, области применения.1.3 Лекция 03Нанесение материалов на поверхность с использованием химических процессовХимическая металлизация. Назначение, особенности подготовки деталей передхимической металлизацией.

Построение веполей нанесения материалов. Техническиеполя, обеспечивающие нанесение покрытий. Методы активирования поверхностейдеталей. Особенности химического меднения, никелирование, осаждение магнитныхпокрытий, сплавов. Методы химической металлизации. Качество химически осажденныхпокрытий. Особенности меднения печатных плат.1.4 Лекция 04Нанесение материалов на поверхность с использованием электрохимическихпроцессов. ГальваностегияОсновные законы электролиза. Поляризация электродов.

Требования,предъявляемые к качеству гальванических покрытий. Методы получения мелкозернистыхи блестящих покрытий. Рассеивающая способность электролитов и методы полученияравнотолщинных покрытий. Особенности осаждения сплава. Свойства основныхэлектролитов в гальваностегии. Особенности гальванических операций в производствепечатных плат, интегральных схем. Вепольный подход к форсированию гальваническихпроцессов.1.5 Лекция 05Продолжение темы «Гальваностегия»1.6 Лекция 061.7 Лекция 077. Термохимические процессы и их применение в технологии покрытий.ПиролизОсновные разновидности покрытий, полученных пиролизом металлоорганическихсоединений. Особенности разложения силана и других подобных соединений.Оборудование для пиролитического осаждения окиси кремния.1.8 Лекция 081.9 Лекция 091.10 Лекция 111.11 Лекция 121.12 Лекция 13ВЫВОДЫВ курсе лекций рассмотрены основные темы курса «Физико-химические основымикро- и нанотехнологий» такие как: : нанесение и модификация материалов, удалениематериалов и получение заданной конфигурации технологических структурных элементовмикросхем, в том числе полупроводниковая технология, пленочная технология,микролитография,технологияизготовления,сборкиимонтажаконструктивно-технологических элементов ЭС.Данный конспект лекций составлен на основе лекционного курса, читаемого вМГТУ им.

Н.Э. Баумана на кафедре иу4 преподавателем Резчиковой Е. В. Курс лекцийрекомендован к выполнению текущих аттестационных мероприятий и подготовки кзачету по предмету «Физико-химические основы микро- и нанотехнологий».СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ1.Лекции Резчиковой Е. В. По предмету Физико-химические основы микро- инанотехнологий за 2010 г..