Учебник-14 (Условие второго домашнего задания (циклограммы))
Описание файла
Файл "Учебник-14" внутри архива находится в следующих папках: Условие второго домашнего задания (циклограммы), Учебник. PDF-файл из архива "Условие второго домашнего задания (циклограммы)", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
мами тру з , с. 5.7. Приемиаи камера и устройстао аасруаки дли иидииидуалеиой обработподложек иа установке иоииой имплантации 'ользнуть на торец нижнего клапана 5. Наличие подложек на 'арне клапана контролируется фотодатчиками 7. :", После легирования одной нз подложек столик 11 перево"'тся в положение выгрузки, совмещая подложку в плоскости с "зом выгрузочпого шлюза. Подложка соскальзывает на нижний анан, а освободившийся от подложки столик 11 переводнтся в йожение загрузки, совмещаясь в плоскости с пазом загрузочно- шлюза.
После этого верхние клапаны 4 обоих шлюзов плотно 'Нжимаются к внутренним стенкам шлюзов, из зазоров между 'рхпими и нижними клапанами откачивается воздух в загрузочи шлюзе и напускается воздух в выгрузочном шлюзе. Затем 79 .