Mathcad - DZ_po_ET_var9 (Готовые ДЗ по Френелю)
Описание файла
Файл "Mathcad - DZ_po_ET_var9" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по Френелю". PDF-файл из архива "Готовые ДЗ по Френелю", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
1.Дано- ширина окна на фотошаблонеW 4- микрозазорz 6.3288635734346 6.329λ 0.18 0.18 - длина волны актиничного излучения2. Краткое описание последовательности выполняемыхэтаповРасчет проводится в предположении, что окно на фотошаблоне представляет собой длинную узкую щель. Вэтом случае окно можно считать одномерным.
Расчетная схема имеет вид, показанный на рис. 1.Рассмотрим положительную область изображения шириной W, в которую входит облас ть геометрической тенишириной W/2 и разобьём её на 30 отрезков.i 0 149n 150Координаты точек :k 2 πλX i i Wn- волновое числ оПределы интегрирования для каждой из точекk W X i ξ2i 2 π z ξ1i Wk X i 2 π z Интегралы Френеля:ξ1iC1i 0ξ1iS1i 0ξ2i ξ cos π dξ 22 ξ2 sin π dξ 2C2i 0Значения интенсивности для каждой източекI i 12ξ2iS2i 022 C2i C1i S2i S1i ξ2 cos π dξ 2 ξ2 sin π dξ 2i Xi ξ1i ξ2i C1i C2i S1i S2i Ii 00-2.652.65-0.380.38-0.5010.5010.79210.027-2.6852.615-0.3870.384-0.4660.5360.820.053-2.7212.579-0.4030.398-0.4350.5680.82530.08-2.7562.544-0.4280.42-0.410.5960.86640.107-2.7912.509-0.4590.45-0.3940.6160.92350.133-2.8272.473-0.4940.483-0.3880.6270.99260.16-2.8622.438-0.5290.518-0.3930.6281.0770.187-2.8972.403-0.560.552-0.4090.6211.14980.213-2.9332.367-0.5850.584-0.4330.6041.22190.24-2.9682.332-0.6010.609-0.4650.581.278100.267-3.0032.297-0.6060.628-0.50.551.312110.293-3.0392.261-0.5990.639-0.5340.5171.317120.32-3.0742.226-0.5810.64-0.5640.4811.292130.347-3.1092.191-0.5540.634-0.5870.4471.239140.373-3.1452.155-0.5210.619-0.5990.4151.163...........................Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения(в положительной области)21.5Ii10.5001.22.43.64.86Xi7.28.49.610.812.