2 Лист (Элементы тонкоплёночных ИМС)
Описание файла
Файл "2 Лист" внутри архива находится в папке "Элементы тонкоплёночных ИМС". PDF-файл из архива "Элементы тонкоплёночных ИМС", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Очистка поверхности подложекКлассификация методов очистки пластин и подложекТипичные загрязнения подложек и их источникиОсновные источники микрочастиц пылиОчистка подложекГ8%Масла и жирыМасла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытыхучастков тела, средства для волос, мази, лосьоны для рук, мылоСиликоныАэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук,мылоМеталлыПорошки и отходы машинной обработки и шлифовки, изготовлениеметаллических частей, частицы из металличесчких банок для храненияи металлических контейнеровИонные примесиПродукты дхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия).
Примеси изочищающих растворов, содержащие ионные детергенты. Некоторыефлюсы. Примеси от предварительной химической операции, такой кактравление или металлизацииНеионные примесиНеионные детергенты, органические материалы для обработкиРастворимые примесиОчищающие растворители и растворыО25%П - обслуживающий персоналТП - технологический процессО - оборудование, оснастка, средства автоматизацииГ - газы и химикатыВ - воздушная средаФизическаяХимическаяФизическаяХимическаяПлазмохимическое травлениеПродукты окисления некоторых металловГазовое травлениеОкислы и окалинаВ7%Ионное травлениеГорные породы, песок, почва, зола, пепелСухаяОтжигСиликатыТП25%ЖидкостнаяКислотное травлениеОдежда, ткани, бумажные изделияОбезжиривание в мыльных иперекисных аммиачныхрастворахВолокна (нейлон, целлюлоза и т.д.)Промывание в водеВозможные источникиОбезжиривание ворганичесеких растворителяхП35%ЗагрязненияЭтапы очистки подложки нитрида алюминия1.
Обезжиривание УЗ - эмульгированиемЭмульсионный раствор наводной основе MultiEx 3D (1:3)Tрабочая=20-40°Сt=30 мин2. Отмывка от остатковэмульсии погружениемв чистый растворительРастворитель Прозонt=5 мин4. Кипячение в ПАРTрабочая=50-60°Сt=7 мин0,635Схема УЗ - очистки в протокеВаннаПодложка AlN100Кассета с пластинамиRa=0,6 мкмКонцентраторУЗГУЗ-генератор3. Обезжиривание впарах растворителяСмесь бензола и ацетона (1:1)t=15 минМагтнитострикционныйизлучатель5. Промывка горячейдеионизованной водойв протоке в многокаскадныхваннахРаствор: H2O2 : NH4OH : H2O = 1:1:4Tрабочая=80-90°Сt=20 минВ процессе обезжиривания пероксидразлагается с выделением атомарногокислорода: 2H2O2 = O2 + 2H2O6.
Инфракрасная сушкаt=10 мин.
