6_avt_svid_EAD_684930 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

маетеиик тииасини баии ~9484930 аа жтиии' 1ии ВФФ Фпжа Ю.А.Хруннчен, Я.А.Деулин, С.А.Апннон Москонское Ордена Ленина и О))дена:(ОудОВОГО Краснох"О Знамени ннс)368 техническое учили)38 им. Н.З.Баумана еииж 3 процессе нанесения тОнких пленок В накууме, Езнестно устдойотзо длн Размецення подложек, ннп(уяенное В Виде карусВлн нл$ барабана ~~~. устройстно просто по конст))унции, няд8кно, ОднакО при обеспечннает т))ебуемой ренноме))ности ~~~ПНИ. Наиболее близко к предлагаемому устройстно Для нанесения пои~и(тий н накууме, ООДершл(ее Рабочуй камеру, испарителн, пОДлоикодериатель, механизм планетарнохо перемещения подлоекб (б))Доаолиителъиое к авт. свил.ву (З3) Заявлено 48.04,78(к1) 2607ВИЯ8-Ж с ирисоелииеиием заавки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано —:, Бюллетень №вЂ” (33) УДК 621.793Я4.002.52 088.8) У етого устройства сложнан конструкции.

Годарн тому, что в устроЙстве длн нанесении Покрытий Б Ваку- уме, Содержащем рабочув камеру, испарите~п, подлоекодереатель, механизм пл6нетаонОГО переи848ния подлоекодержателя, последний выпячен в виде коаксиально располоеенного изогнутого БЕАа и ГибкОГО зл8мента, ОДин тореЦ которОГО закреплен на рабочей камере, а друГОЙ-на подлоекодереателе ° На черт 8же привед8на сх8ма у стройстве ~ Ба присОединительном фланце 4 размеДены подлоекод8реатели на которых закрепляют обрабатываемые подложки 3.

~~ееанизм 4 плане- :тарного перемеп~енин подлоекодержателей свнзан с Балами 5. Один из езцов приводных валов 5 отогнут под углом "о~ " ~значение которого -:зеиисит От требуемОЙ равномерности наносимой пленки) к продольн~Й "оси подиоеконссителя» На ОтоГнутых концах Валов соссно с ними сво бодно устанавливаются подлоекодержатели 2. Последние могут быть плоскими, ~ферическими ~выпуклыми или вогнутыми), пирамидальными, ' ИОНИЧЕСКИМИ И ПР. Валы 5 размецены внутри Гибких и попер6чном направлении упругих злементозэ например силь1онов 6$ герметично прикрепленных к подлоекодереател.пх 2 и присоединительному фланПу Х.

6 помощью крыщек 8 происжодит с устройство работает следу~й„им образом. В .процессе нанесения пленки подложкодержатели при непре- ву риком вращении валов О от механизм анетарного перемеще- вое перемещение, ввиду того, что они застопорен от вращения силт4онами 6. При этом угол накпона подложкодержателей к плоск ~сти исперителей '7 непоеонвно и,ффеняется в пределах К +4~м~, т.е. через полоборота приводжОГО Вала 5.

Точки АБ Яа 1-1 Фложкодержателе 2 переместятся и положение А Б . Благодаря такому иирернвному изменений ~гла наклона подложкодержателя, а также яепре~Й$яому изменению пОлОжения подлОжкодержателя ОтчосительнО испаоите- Источники иБформации, интеГральнмк скем, Ц,, "Эиертил",,тр~~, -Я ФЯ~ (прот ' я . тем» чтО с целью упроцекля констяъхяи, механ23м плане- тарного перемецения подлоккодеркателн ишолнен в аиде коак- 2. Авторское сиидетельстео СССР $47с826, кл.

С ! .