21_avt_svid_EAD_1375023 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

союз советски~ социдлистически~ Рксп~влин ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕДАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ О На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Государсхвенный комйтет. СССР по делам изобретейий. й открытий чЩ~йбМ'3й%%%ййй'йй ириборюВ"- Автор (авторы): МИЛОВ АНАТОЛИИ йЮКО66ВИЧ,ЯУИЛ6В СЩИ'6й Влиди%6фоиич, Д6~лщи ЖВР6ний Албио66ВИч; Сии% Николай Нииолабиич, Панкфарои Форь Витальбиич и Эолчк6Вич Л6оязщ иианоиич Заявительс аяк № 41дбб~ Приоритет изобретения щ ~щ~, Варегиотрироиаво в Рооударетаенвок рееотре изобретений СССР П октября ЯЗВ.

Действие авторского свидетельства распространяется на всю террито ив Союза ССР. л1>юнояяьпя1ь Коиозноош Иочом знои оимЫаа мпф Гознака. иоа зэк. 79.308а ДЛЯ СЛУЖЕБНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ ЭКЗ. ИО СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН В„Я000 1375023 А1 Ш4Н01з938 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 6 — 88 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4113561/24-21 (22) 10.07.86 (72) А, А.

Милов, С. В. Куклсв, Е. А. Деулин, Н. Н. Сапеко, И. В. Г1анкратов и Л. И. Волчкевич (53) 62!.385(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР № 748572, кл. Н 01 3 9/!2, !980. Авторское свидетельство СССР № 397986, кл. Н 01 3 9/38, 1973. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЪ|Х ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к области электровакуумной (ЭВ) техники.

Устройство для изготовления ЭВ приборов содержит несколько вакуумных камер со шлюзовыми затворами, соединенных гибкими элементами. Механизм перемен!ения оправок содержит гребенки (Г) ?, 8, зубья которых с базируюшими элементами образую~ посадочные гнезда (ПГ) 9, !О для оправок 11, 12, Г 7 жестко закреплена на корпусе камеры !. Г 8 имеет привод 13 горизонтального и вертикального перемещения. В каждом из шлюзовых затворов размещено звено 14 Г с шагом зубьев, равным шагу зубьев Г 7 и расположенное с ней в одной плоскости. Расстояние между ПГ 9 в два раза меньше расстояния между ПГ 10, число которых выбрано из соотношений !х)=(Р+!)/2, при Р= 2К+ 1, г(.=Р/2 при Р=- 2К, где Р- число ПГ 9, К вЂ” целое число. Ус1ройство имеет повышенную производительное~ ь.

3 ил. 1375023 Формула изобретения 20 25 30 35 40 45 50 Изобретение относится к электровакуумной технике, в частности к устройствам для изготовления фотоэлектронных приборов. или других электровакуумных приборов (ЭВП). Целью изобретения является повьццение производительности за счет выбора формы механизма перемещения в виде гребенок и их расположения. На фиг. 1 представлена компоновочная схема устройства для изготовления ЭВП; на фиг. 2 — конструктивная схема механизма перемещения; на фиг. 3 .— схема перемец~ения оправок в вакуумной камере. Устройство для изготовления ЭВП содержит вакуумные камеры 1, 2, 3 соединенные через гибкие элементы 4 и шлюзовые затворы 5, Вакуумные камеры снабжены системамн вакуумной откачки 6.

Механизм перемещения оправок содержит первую 7 н вторую 8 гребенки, зубья которых с базирующими элементами образуют посадочные гнезда 9, 10 для транспортируемых оправок 11, 12. Первая гребенка 7 жестко закреплена на корпусе камеры 1. Вторая гребенка 8 снабжена приводом 13 горизонтального и вертикального перемещения. Дополнительное звено 14 установлено в шлюзовом затворе 5. Устройство работает следующим образом. Анодные и катодные узлы приборов устанавливаются в оправки 11, 12 Зятем они помещаются раздельно в камерь.

1 и 3, а точнее загружаются путем последовательно~о захвата оправок с дополнительного звена !4, переноса их гребенкой 8 с использованием посадочных гнезд 10 через одно, посадочное гнездо 9 гребенки 7 и установки оправок на базируюшие элементы гребенки 7. После герметизации и откачки камер ! и 3 (в камере 2 требуемый вакуум поддерживается постоянно в течение технологического процесса) узлы подвергаются вакуум- но-термической обработке. При этом оправки 11, 12 через систему шлюзовых камер транспортируются к центральной сверхвысоковакуумной камере 2 устройства. В камере 2 герметизации сформированный фотокатод совмещается с корпусом и анодным узлом, транспортируемыми совместно, и осуществляется сборка приборов.

Выгрузка готовых приборов осуществляется за счет организации встречного потока по одной из линий обработки узлов без прекращения на ней технологического процесса. Это осуществляется таким образом. По окончании обработки гребенка 8 подводится под оправки 11, как показано на фиг. 2. 3 (по стрелке А), поднимает их выше узлов в оправках 12 (стрелка Б), переносит через одно гнездо гребенки 7 (стрелка В) и опускает оправки 1! на базируюшие элементы (стрелка Г). При этом крайняя правая оправка устанавливается на дополнительное звено 14, в шлюзовой затвор следующей камеры, с которого снимается ее гребенкой 8. Гребенка 8 смещается на величину, равную расстоянию между соседними гнездами гребенки 7 (по стрелке Д), затем осуществляется подъем оправок 12 (стрелка Е) и перенос через одно гнездо гребенки 7 (стрелка Ж).

Крайняя левая оправка при опускании гребенки 8 (стрелка К) будет установлена на дополнительное звено 14 в шлюзовом затворе 5, откуда она может быть снята гребенкой 8 соседней камеры. Аналогичным способом возможно удаление из устройства бракованных узлов до сборки прибора. Устройство для изготовления электро- вакуумных приборов, содержащее последовательно расположенные и соединенные шлюзовыми затворами вакуумные камеры, в каждой из которых размещены оправки для установки электровакуумных приборов, соединенные с механизмами перемещения, отличаюц(ееея тем, что, с целью повышения производительности, каждый из механизмов перемещения выполнен в виде двух встречно расположенных горизонтальных гребеиок, первая из которых жестко закреплена на боковой стенке вакуумной камеры между отверстиями шлюзовых затворов,а вторая гребенка установлена параллельно первой и выполнена с возможностью горизонтального и вертикального перемещения между зубьями первой гребенки, а в каждом из шлюзовых затворов установлено дополнительное звено гребенки с шагом зубьев, равным шагу зубьев первой гребенки, и расположенное с ней в одной плоскости, причем каждая из пар зубьев гребенок снабжена парой базируюших элементов, выполненных в виде центрируюших конусов, образующих посадочные гнезда для оправок, при этом расстояние между посадочными гнездами первой гребенки в два раза меньше расстояния между посадочными гнездами второй гре бенки, число которых (х) выбрано из соотно- шений Х=-~ — при Р = 2К+ 1, Р-4- 1 (ч= — при Р= 2К Р 2 где Р— число посадочных гнезд первой гребенки; К вЂ” целое число.

!375023 Составителе В. Псаломшнков Редактор Н, Каменская Техред И. Верес Корректор А. Таска Заказ !87!/ДСП Тираж 332 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! !3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушскан иаб., д. 4Уог Производственно-полиграфическое предприятие, г Ужгород, ул. Проектная. 4 ж 8 з и й Д О, 3 д В И Я ~1 н о ".з б й~ о о ,О М $ а у о о Р, о Ф ы 1 л и о д М б Ы со Х Я О Е Л О О о о Й ~5 ж о Ы О й а Ф д и о 4 д Р Ф П с й д 4. Е' Р й З Р о ~ ь ,й,, д М 2 О.

Б. о о о 3 б Ы и о а 1= Ю Д ~ Д, Ф о х й И й О~ с|, ~ и- х 1 Л ф -4 ~ .