16_avt_svid_EAD_1227900 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ИО ДЕЛА% ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЫТИИ С. На основании полномочий„предоставленных Правительством СССР, Государственный комитет. СССР по делам изобретений и открытий выдал настоящее автопское свидетельство на. нзобпетениа„ ОбОЯ7ДОВаййи99 Автор (авторы): дерлин Бвуеиий Алеисеевич Анисов Валерий Вячеславович, Михайлов Ълерий Йозлович, Усов Андрей Борисович, Немейов Владимир Йиищаевич и Назщюв Лев Нииоляевич ' Заявитель: АУ ИМ,Н.Э,БАУИЯА ье Приоритет изобретения 99 ИИ аря 1сЕ5 Заретистрироаано ъ Государственном реестре изобретений СССР 3 январи 1986г.

Действие авторского свидетельства распространяется на всю территопию Союзу, ~:СР. Лред99о999799.99 иао.999яаетакка Я~Я7 ~~ — 9* Хаиа9а.999Н979 О779д9.9 МПФ Гаааака. 1979. Зак. 79-3083, сон5э соеетсних социАлистичесних РЕСПУБЛИК 150 4 Р 16 Н 17/Об ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР по делАм изоБ етениЙ и отнрытиЙ (21) 3840479/25-08 (22) 11 .01 .85 (46) 30.04.86. Бюл. Р, 1б ' (71) ИНТУ им, Н.З.Баумана (72) Е.А.Деулин, Б.В.Анисимов, В.Л.ИМхайлов, А.Б.Усов, В.Н,Кеменов и Л.Н.Незаров . (53) 621.89 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР Р 777332, к .

Р, 16-И 15/ОО, 1979. Карагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. И,'. Иашиностроение, 1973, с. 152. „,ЕВО„7900 А1 (54) (57) СНОСОВ СКАЗКИ ИЕХАННЗИОВ ВАКУУИНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДО- ВАНИЯ путем нанесения на трущиеся поверхности металла в виде пленки, о т л.н ч а ю щ и й с я тем, что„ с целью улучшения технологических свойств вакуумной среды, пленку наг- 'ревают до плавления в зоне контакта трущихся поверхностей н охлахдают до затвердевания при выходе из зоны контакта. Изобретение относится к электрон.ному машиностроению и приборостроению и монет быть использовано в особо чистых вакуумных системах технологического оборудования.

Цель изобретения — улучшение технологических свойств вакуумной среды путем ограничения выделения твердых продуктов износа' в вакуумный объем. На чертеже изображена схема устройства для реализации предлагаемого способа. Устройство состоит из неподвижной гайки 1 с нагревателем 2 и подвижного винта 3 с нанесенной на его тру". щуюся поверхность металлической пленкой 4 на основе легкоплавкой эвтектики индий-олово. Способ смазки осуществляют следующим образом.

Нанесенную на трущуюся поверхность винта металлическую пленку 4' нагревают до температуры плавления в вове контакта трущихся поверхностей винта 3 и гайки 1 нагревателем 2, винту сообщается вращательное движение, дрн этом расплавленная пленка металла служит эффективной смазкой трузснхся поверхностей. По мере выхода из зоны контакта трусщсхся поверхностей пленка охлаждается за счет теплоотвода через тело винта до затвердевания„ замуровывая продукты износа н предотвращая тем самым рассеивание их в вакуумной камере.

Н р и и е р. Проводилось смазывание трущихея поверхностей парм трения винт-гайка скольжения в вакууме 10 " Па. Металлическая пленка на трущихся поверхностях была образована на основе легкоплавкой эвтектикн 'Т „ - З„й З - 40,77)с температурой плавлеийя 117зС. 227900 2 Перед началом испытаний неподвижная гайка 1 нагревалась спиральным резнстивным нагревателем 2 до расплав" пения тонкой металлической пленки 4. 5 Температура воны контакта контролировалась.с помощью термопариого датчика, установленного в непосредственной близости от резьбы в теле гайки. Винту 3 сообщалось вращательное дви1б жение с частотой 5 об/мин посредством герметичного сильфонного ввода, с валом которого винт связан телескопическим шлицевым соединением.

По мере вы-' хода иэ зоны контакта металлическая 15 пленка 4 остывала и затвердевала, замуровывая продукты износа. Снижение температуры пленки происходило за счет теплоотвода через тело винта, соединенного с перемещаемым объектом. С 2б целью повьпвеиня эффективности теплоотвода возможно охлаждение винта посредством полупроводникового холодильника. 25 При работе устройства в течение !ОО ч продуктов износа в вакуумной камере не обнаружено.

При работе устройства беэ нагрева с твердой металлической смазкой 5б на основе индия при тех не режимах вес продуктов износа составил 210 мг, При производстве ряда приборов попадание твердых продуктов износа в вакуумный технологический объем приводит к увеличению брака, снижению фактической лронэводнтельности. Например, при производстве интегральных микросхем, где размеры элементов сос4б тавляют единицы микрометров„ попадание продуктов' износа на полупроводниковую подложку приводит х неиспра-.

вимому браку, О й х о я о Б 3 д и о с а х Ю Ф о ы Ф 4. % а ~ О о Я 5 и "З «3 з и й э б. $. о б 4О й Е Составитель Г.Шуренко Редактор Н.Горват техред м.моргентал корректор А.Обручар Заказ 2278/39 Тираж 652 Подписное ВНИНПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.475 Производственно-полиграфическое предприятие, г .Ужгород, ул.Проектная,4 Ной о е 1,:' й 'Я О Н й о й ~О о д О х е а л е И о 1: ЙЙ, Ф Я ~Ъ Ф е и 7 и к й а Ю и! Ф. е В' е И е ы ж Б Ф 2 Р. Ф н я о а Х 4~ О Ф 5' 1= мЪ щнкн 4,' прониро- >' датчн- ~етвее! гайкн юе двн Родством а» сна :воупщес-' еере' вй нская ига „эа- веине 1 еа очет ~, сое- ."том.

С теппо- ~етд 1. алело евне юеон !атре-' еой ЬЩХ ',1О мг ° юв по'.п В ! при :енин Наприщах В сос паде Вод 'пра-" ы Ф ю ж е О~ 8' . $ Е1е н фи а ееа Ф $ ю ай О а ~р о „2 Л ~ Ф Ф Я р ~$ .