15_avt_svid_EAD_1161761 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

(211 84750681".)5.08 ~.22~ 26,07.82 146) 15.06).85, Вк)л. % 22 Г721 О И. Мирон)кин, В. И, Хазов, В, А, Деуь)ин н И. В. Панкратов )7И МВТУ нм И. Э. Ввумани 16$) 62-7621088.8) 4561 Хрунич)В Ю. !). и .ц). Расист пе~)е дач йвижепии в вакуум, М., МВТУ им. И.' Э. Баумана, И)77, с. 5, табл, 1543 а7) 1. УПДВПИВНИВ ВВОДА ДВИ- )КЕБИЯ В ВЫ12ОКОВАКУУ)МНУК) КАМЕ РУ, сч)держаисее ОННВтыва)О1иуго с аяаороы подии)иный эл).мсит ВВОда камеру п1)едва~и). телыиио 1)ВЗ~)ежения н средство дпя сО3ди ° няя импульса, побу)к)1))к)и)ег)) двигксние мо- ЛЕКУЛ СРЕДЫ В Звво~)С и СТ(АФОНУ, ПРО) НИО- полоисиуи) де))сгиук))нему иа чгьчо)'пиине пе- репаду 1)аи))еиий, Отличпго1и))ноя тем, с 1)ельк) повыьчения )ФФ)*ктнвносги уплот.

иения В днвпаЗОне ниакик дзвлеиин при уменьшении его габаритов. средство Выпил. нено В виде устаиовлеииоб параллельно подиигкному ')л1'мснту ВВОЛВ системы Влектро. дон н соосной с иим маГпитной си)т1'м1Я, ПО" верхиос)и полкмов коти)рой обрааугот с ПО- ве~)кностьк) гк)дви)иного Влемента ВВоди уплОтняемый 3И.)ор. 2. Уплогиеиие по п. И отличогоы1)еся тем, что одип и3 члектро)1ОВ - нст'О')ник ')л).'ктрО ИОВ раамеиген перед упло)няемым Заао~и)м и камере предввр)сгельного ~)аа~)е)кении. и другоб -- коллек~ор алект))онов в вы- СОКОИНКУУМИОИ КНЫЕР1 ЗИ УЧ)ЛО1 ИИСМЫМ Зн. 3О1)оы, О61)а )ук)п)и«пов))ркиост)1 кото|)ого НОКР)ИТ)1 и)НЬ))ГИТРИ~МОКИН МИТС Рив))ОМ.

В ! !6176! и й е и. е (',ос(вин(ель Г И1уреж«о Редактор М Днами Техред Р) Иерее Корр«ит р 3 Гасил Заказ Зязз!41 3'краж Вая 1)один же ВНИИГ)И Государственного комитета 6(Х'Р ио делам изоаре«еииа и отк))мтий 113033, Москва, Ж вЂ” 33, Раушсваи наа., д, 4,'о Филиал ППП -Патента, г. 3(жгород, ул. Г!роек)иди, 4 Изобретение Относится к ВакуумноЙ тех. инке, В частности к Вакуумиым у'плОти(' киям Вращак)и(ихся или поступатеиьно пе. ремещаккцихся элементов привода в вакуум, и мбжет быть использовано в сверхвысоко- вакуумных установках для нанесения тонких планок н покрытий, электронно-лучевой обработки фоторезистов, рент(еко)!Ито.

графин и других технологических установках для изготовлении полупроводниковых приборов н интегральных схем. Цель изобретения .— повышение эффек. тквности уплотнения В диапазоне низких дкв "!СниЙ путем умеиьшекия иотокд иктекак). (него газа, Нд фиГ. ! Изобрджеио уплотнение Ввода, разрез; на фиг. 2 - разрез А--й на фнг. !. Уплотнение анода содержи) вращающийси )нли возвратно-поступательно переме. (цаккцнйся) вал ! Привода движения нз камеры 2 предаарятельноГО разрсжекия. Откачиваемой до давления не ныпн: 5 !б'11а, в камеру 3, откачннаемук) до высокого н сверхвысокого вакуума )киже 5 16 '!1а), эмнттер электронов -- катод 4, компенси тор )нить ндкдла, разогреВВ()мая источником 5), размещенный в камере 2, коллек)т)р электронов — анод 6, размещенный в камере 3.

и магнитную систему с полюснымн иакОиечкиками 7 для щ)здания В уплотпяемом зазоре 8 азимутально).о замкнутого радиального магнитного поля, изображенного векторами магнитной индукции Й. (,.(енин вала ! и камер 2 и 3 Выполнены нз диэлек трического материала -- втулок П). Устрой. ство снабжено источником электропитания 11, положительнь!Й полюс ко(прото нодкли) 2 ч(.н и анод(» 6, а Отрицат(лы1ый "- к католу 4. 1!р(!Ици)) уплотнскю)»)ск(зк()н па (ф(гкесснх .«ффйктнвной и(кензакнн молекул газа, п(»р«»тска10ш(,'ГО через упиотняемыЙ зазор зн 3 сч(""г разности даял(.'нии а камепах 2 н 3, ускорения Образ)ющихся В )гез(льтате ио- КИЗГК1НИ КОИОВ ЭЛЕКТРИЧСЕКИМ ПОЛ('М В СТО- рону камеры предварительного разрежения, нейтрализации ионов и удилення Вновь об- 10 разуюшяхся молекул наьекаюп(еы! !Вза форвакуумным насосом, размещенным в как()ре призна)жтелькОГО разрежения.

Йфф('к. тканая Йони.3ация МОлекул катскающеГО Гл за Об(сп(«чнвается В разрядке дреифующнмк по азимуту в сире!3(еииых Е,КЗ -- БОлях, соз)(знаемых 13 у(33!Отняемом з)3!(оре (и СГО )ории) Й со с(орокы исто ганка электро(юв прнлож(."ни(гм раз1К)сти Ф)1екпиклои м!.'жд» нно,'1ОМ б н катодО" 1 4 (.у'к(ествуиз(ци)11 0613и«нь!й поток (яза за с'и"'1 ди())фу(ик н(Й)'ральных молек)3! Вновь поди(*ргается ионизация н выбрасыванюо НОЮЮ ЭЛЕКТРНЧССКЯМ ПОЛ('М НЗ «Ч131ОТКЯ«»МО1'О с посл()дующая исйтралязацк()Й но нов н удалению и( в атмосферу форвакуум. ным насосом). Таким образом, облисю .(р(й.

фт(ок(их по азимут) ')лент;)Онов иы«:ОХОЙ ПЛОтнОстк явля(тся сво(образным еэлектрнчес1 им днтворомз Для нормальной рабОты устрой( «юз сген. кн уплотню«мого зазора ло.(жкы бь:ть !)ыпо.!. иены из днзлекгрич(ского мятсрязлз, нрн обеспечивается !юстояпстио зл()к) рн!сского потенциала вдоль з)агин(иой сило- ВОЙ линни я (стОЙ«1пкяя рабо)В )с)ройстви бе: . -; 6)о и 31ебд Й рззр»31 .