14_avt_svid_EAD_1153750 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

госулмствюиныЙ ~омипт ссср по А~~и® изо~р~~~йиЙ и О~~р~~иЙ ОК1~ а,.:,,:,: —::,::,$~--;:=:- -.::.::~.'*."" На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий Автор ~авторы): ЯщииЕЗ Н~щщц~б ДущурмЕщщ ДЕХдрщ~ БаЕМ~ Ваи~еаич,,Ъулпи Ивтеаий Ааекоеевпч,и Летиивз СеутеВ Мимйййбмч Заввка Яь ~Е~~е~в~~а,б Приоритет иаооретенив 1 ~ ЗВХаеа.ИСТРИРзОВВНО В а'ООХДИРСаВОНВОМ РСОЩ36 иаоаретсний СССР 3 яйЩРЯ 1%бг. Действие авторского свидетельства распространяется на воо те Со1о ССР.

ХХхзеаанмдОана' аи Хзев аиаанааа а„~ г'за~ Наказа.аа ОИаа Оазис ~ФкФ' аавф с ааааа. заз~а Оак, ~а-,н~м. 'Йзобретенис Относитсл и Области сбор~донец))л длл производства интеГральных схем, В частности, к 7стропств)ам длл препизионнОГО дв~хкоординатнОГО переме)118нил издали;:1 В Вак)1~ма или а Гре ссивных средах. известно ~строкство длл перемещенил Изделии Б Ваку~~ма„ содер%3'"~~ БОДР" %1~'") карстк)1 нехав'" зм и'-'Оеме'118'1ил ка Геткк Вкл)очаю4Й2:зариков)зе подзпц1никй с Обо.'»',мами, раэме.)18ннымд на валах, привод и блок Отсчета полоиенил ~13* «~8ДО Стат ) ° а Р11 ~~д)1НОГО УС~в~".Окства Чзэс ЫТСд Н 1., 1СО „108 быстроДО ~'.ствде и тот)ность пози)1ионир1) Ванин, Об)) словлецн)18 больло~1 разносты) кйзф1ди1тиентов тренин покол и движенил ман- кетны-; 13ак~~)мнкх ВВОДОВ больщйм числом кинематическйх па1) 1,пОД 11)ипников„валов) В ра)бОч81' зоне, Блилнием матни7ных материа- лОВ В под!1ипникэх, паров смазки В манк8тных Вводах на т188к- торий злектроннОГО п~)чка.

1)а1)более близким 78хническим ре)пением к нс)стол)дем)) изобРетению лвллетсл 3стзо", ство для переме".,18нил изделий В Взк~')~ме, содерка'~„'88 дБ8 па')11 соосц~1х 1ьилиндричсских направляРдих~ установленных Взаимно перпендик))лярно~ две пары силь'.~онов с ~~стано а)ьеннь)ми В них де~)'1!Втел1)ми изделии и разые)Денных В направлл)ощих, блок отсчета поло)ьенил силь- Фонов„сое 1иневных с НОЙВодами Х ° .ЙЯИПОО )1стро".)ство Й11887 бол88 Высокое быс1рОД811ствие Й точ:)Ость пози11иони1)ованнл В1лелствие отсутствии В нсм КИ110." атич ских )ЬЗ О, 1);1" МСЦСНН ЫХ В Ваку~мно;1 ра бо на )1 Зоне „ ЛЯМ 26.

ОДИН ИЗ 011ЛЬЙОНОБ ПО~БОЙ И БТОРО". ПНЕМ 3 И 5 СБЯбКЯИ 0007КЯТСТВ8ИНО ДЯТЧИКОМ П8118М8''18БИИ 16, 17> Б КЯЧ8СТБ8 ИСТОШНЫХ, МОГУТ бМТЬ ИСПОЛЬЗОИЯНМ ПОТОБ11ИОМ87011. 1Л1ЛЬ1ЬОБ1~ 3 И 5 110;:.8ЛЯНМ Б Гер>>~87:1ч11пе ИО;.БУОЯ 13 и 13> ~ОЛОСть ИЯИДОГО из к070~йх сОЯЛ1>БЯБЯ 000738707 ..ЯНИС трУ бецрОБОДЯми 2;.> 23 с ДетчикЯми ДВВЛЯВИИ 20>21 И С ОДНИМ ИЗ ПНЯЬМОГПИЛИИД~ОБ д> 10, ПОРТИК > И 11 КОТООМХ 008ДИНЯНЫ С ПРЯОб~38300878ЛЯМ 12 КОД-ПО~381>~81118БИС ° Л1180б11830БЯТОЛЬ 12 КОД-П818М81118Н118 МО1387 бБТЬ БМПОЛПЯБ В ВИ>'8 ХОД01>МХ 21>ИТОР1ПС>1Б>1 "1КМП' В Де'~СТБИ6 1>>Я ГО»Н"1> .

Л»КТГОДБИ ГЯ ТЯЛИМИ . .ЙОДП ПОЯОб,".ЯЗОЬЯТЯЛЬ1 12 ПОДИ.ЬСЧЯИМ Ч8003 КОК>31ЯСЯТОРМ 13 СООТБЯТСТБЯББО К НМХОДЯМ ПЯОБОГО И БТО,".0 "0 СУМ1>>ЯТО;.03 14 И 15, Пе "ЬМО И 3701.1>>8 ВХОДИ КЯ1>*ДОГО ЙЗ КОТОЗЫХ СОЯДИИВИМ СООТБ87- С>»38>1, '0 С РИКОШЕТ" »>>»3>п>1И;О „Пе 8,> >~ц,>ИКР 1Я 1>~ И УЯТЧ1>>103 ДЯВЛ8БИИ 2О>21 ОДНО>! ИЗ ПЯД С>БЛЬф011ОВ 2>3 И 4,5, УРТ: ОИГТЧО ГЯб0788» С >16 Л»101>~ "1М Рб»Я ЮО» ДЯР11378ЛЬ>'Ь С ЯЯЗМ81ЦЯНИММ БЯ БЯМ ИЭДЯЛ11811 ПО СИГНЯЛ7 07 .бЛОКЯ УПОЯБЛЯНИ11 6 Ч81303 ПОССЯДСТБО П.ИБОДОЬ 24>25 ПереМЯ>ЛЯЯТСБ пО ссим .">.

и У. 18рметизепии ВБОДОБ ДВйеении ООУ111807Р:1кетсБ Мерами сальйюноа 2 я 3, 4 и 5, ОББЗЯ1111мх с дее~.',Отелем 26. МАНЧИНО ПСССМО,ЛСИИБ КОНТСОЛИ~ УЯТСБ С ПОМОИ;Ь10 бЛОКЯ 7. 1>ОИ ПЦ16МЯЦ18И>>1>1 КЯ1187К1> ПО ОСИ У Деф011МИД'~'87СБ И Пе> 6Ь>817887СИ ТЯК38 ПЯ113 С>ЛЛ140110Б 2,3. ПОИ ЯТОМ ПЯПЯМ87811И8 011ЛЬ,10НЯ 3 113М>ЯОИСТСБ ИОИОД1ь10 ЛЯтч ИЯ п81 ем и>811КБ 1> > сиГ~18 *> с к070:ОГО НО ОТУГ>Яет ИЯ Ге рьм>",""', рхОД пе»БО ГО Г>>х>м870 ОЯ 14 ппи пер»уе>»8БИ >1 силь РОБЯ 3 И ЗМЯНИОТСБ ДЯБЛЯБИ8 Б 1ГОЛОС7И Г81~МЯТИЧНОГО КОРИМ> СЯ 18 силь >ОБЯ 3> ИО70008 Б Яме>ЗБОтси с пО >1011310 Летчике дЯБлеБЙЯ 20* »ПГ11ЯЛ С ДЯТ БЯКАМ ДЯБЛ811ЫИ 20 ПОДЙСТСП Пй Г>ТОР011 ВХОД 9КСПнГЙУ81нТЗЛЬНО УСТЯНОГЛтоНО ЧТО тт38Л1еЧЙ*18 ПВ "д'е80дНЙЙ сорйнн Н в невиоенооти от оероиннеиии тт,т Ц ооионннстое КЙЙБО11 37ОПОРО 1теОРЙДКЯ.

978 ЗЯН1иСЙМОСТЬ П3тВДЬЯ3е1ЙТЗЛЬНО ВНОДЙТСЯ Б ПЯМЯ7Ь КОМПЗДОТО~Я 1Э. 71~тЙ ПОС73еПЛВНЙЙ В КОМОВ~ЗОТОВ 13 С С~тММВТО"'я 14 СЙГНВЛВ, СОЛВяЖЭШВГО ЙН,"100%й31П110 О дяНЛВНЙЙ Н 76 'М87ЙЗНОМ КООП708 1о3 СИЛЬеттОНН «'3 Й 0 П8338МВ'.118131еЙ СЙЛЬт3ОНВ 3, КОейПЗОПТОР 13 ЬМдя87 Ня ПВПННЙо НКОд П~380бе388033ЗТВЛН 12 СЙГНВЛт СОД833ЙЯ;ДЙ3 ЙН!0~3МВ317Й30 0 НВОбКОД1еМО": ЯВЛЙЙЙНВ ПВДВМ81ЙВНе131 130133КНЙ 9 П118ЙМОПЙЛЙНДСЯ 3 ДЛЙ КОМПВНС81тейЙ теП~3т, ГО 3 СЙЛМ, ВОЗНЙКТт83» ПЯе1 ДсЖОРУЯ1те1Й С 1т1Ь'еОНЗ Э Я СООТЬВТСТЗЙЙ С ЗеРЙее ПО СКГН 3 нет ОТ 1тРа~ ОбЬЯ ЗОЙЯТВЛЙ ПОяй1ВНЬ 9 ПНВЗе30ПЙЛЙНдт'я 13 ПО~В иМЯР387СЯ Й ДЯНЛВН318 Н ПН813МОПЙЛ3еет1Д3,8 8 ЙЗМВНЯВТСЙ.

ТЯК К3К ПЯОЗ1йЫфЛЬ1НДЗЗ д СО81.',ЙНВБ С ГВфИТЙЧБММ КООПЯСОМ 18 011ЛЬт130ЙЯ 2 РЙ еКЙМ Т~~';".бОП3т30330дО!1 22 т ТО д;3НЛВНЙВ 33 ГВ,'М13ТЙЧНОМ КО~ЗДЕСЯ 19 ТВКЙВ ЙЗМВЙЙВТСЯ Й 781е11Ь1 Об~ЯЗОМ КОМПВНС313т3оОТСЙ НЛЙЛНЙВ ЯПЯ'РО'1 СЙЛМ ДВеСО~ЗМЯЬИЙ 011ЛЬттОНЯ Э. 31РК П83т8318",'8''т13е ДВОЕ"ВТОЧЬ ~6 ГО О"'т У 1'О'Бт8 тС"'Б П У "33 С1нЛН Пя;Н СЙЛ1н+30НОН 4,5 ОСу1ЛВСТН31НВТС31 ВНВЛОГЙЧНО С ПОМОЙ1Ь~ ДВОЙКОЙ 1Т Й 2Хе С,"1ММЯТОЯЯ 35, ПНВЙМОЦ31!3ЙНД~Я 1О С ПО,'31ЙНВ . П, СОВдйНВННОГО 733,,еб013СОНОЛЗ,ОМ 23 С КОРПт3СОМ 19 СЙЛЬФТт3НЗ б. 3ЯКЙнМ рбттЯЗОМ ПрВт1ТЯГЯВМОр нее Се1 р СТ330 ЗЯ ОЧВТ КОМПВтеСЯП'Й УеоТй1РНДД т3ПРт31~0::: СоеЛМ НОЗЕ1ЙКЯт~н18-"~ Птнй Дто,:;3Р1ЙЯтПеЙ 013ЛЬ,ЗОНОЯ 2е~о 4е5 П011 ПВСВМВЛВНЙЙ д8~31ояТВЛЙ 26 Й СОК~.ЖЦВН31Й Н~ВМВНЙ 7078- НОБКЙ Й ЗДВ ЛЙЙ В ЗЯДЯННОВ ПОЛОЗЙВНЙВ ПОЗЗОЛНВТ ПОЬМСЙТЬ ТОЧ- НОСТЬ ПВОВМ8111811йН Й бПСТ;30ДВ.''тСТЙ118 3 07330МСТЗЗ, 1нГет т3нЗ ЬнЙТВЛЬц ~д~ рт38 Й Кя М 18 т11308 те С7.30 Птт7330 ц и е1 ПВ 08 18011СНЙ31 Й ЗДВЛЙ 1 Я БОК~~138 ПО ЗНОАЙ87 110 С3оЯ ЙНВНЙ13 С,Ч СТд 01тСТНО М БНОС'3ННЬ1" ЗЗ П!'070ТЙП Р 1, ~е т3е3 ЗЗ у3оСЛ11т1ЙТЬ бМСТ "О "В"'СТ О" Р ! С 6,33 ДО 0„2 03 11'"В ~3 0»8130 ~03811Ь10117Ь 130~~»8111ВОСТЬ 0606»Ь18»1.ОПАВ "3Л.='.18АЙ'1 ~ С + 113 ДО + 5 М1Ы'.1 ° ~ 03»»»01", С»»1»~ Д»', 08»' ." »~8';»»»Ц В 8»д '3Д~»»1»»11»: ".1К ..»~».„0 00»1»»»1»»»»»»»» -'.

; ~1»» ~»»»». ~»»»А338».,~1»8»»Ск; "~ (»д;»»~:»»» «1»»».,»»» ~ ~..(»78»»0;: »,:»п~01:. ,0:» ° »»»,, *.,;»» 3; д~» ",,"1»",»» С» «1»:ГР ~ »',„ѻл1;»,»01»»»1»ТЬ».~ .»8»1:-."87:»А18».;-.; 11,»Д831,!:;., '~;818138.:161111,:1".~ 0 10313338ЙА."1101'.,3»»Х, бЛОК ОТО"',"8781 130»А»0.';.,'„81131Я 011АЬ ЬО1303» С 06ДП31 8110'»131 С 110 ЛБОД311П, ОТА".ЧВ 11- Ч"'~» С 1»"АЬО "0'»»1Г»»1310 ": %100711 118~!6»16Г'.»3111»Я О б:30700-- ,'8; СТАДА, Б;~0700:.СТВО ВВОД611Ы Д11»8 КОАПП»»СВ, ~ЗГ»"'1033 К070~311Х »3» „:~» '*'.',''' "»»»1 1 Я»ц., »»;1ОК'»»»ъ»1 ъл'» л»»0011'"„~» '*'~»0» ТЯ1»1»»»3~»»1 00 С»8»""''1'»А '": '"-'1'»~'-' '*'13П"»~»'»1»»К»» *"8""1»»У Р'-»13 1::3»»3~": "»'~л 7""1'3011'30" С» 0»1 СО»6~'Р»»3»101»3:" 0 118'::010 3 110АОС71»10, 06~38 110::::.'::111110:;! 11»3',:: У,К110',! 11013;-311Х31007ЬР; С 3АЬ»А 1.11и»» 1311»» 708» 1! 1»03 »! 110 "':" 6 11Х0 О С" ЬЕ»» 1»3~,.

1Л 013 А С К 0 0: .'3 П 1!»О .'"' Д 3 7'1 А КО;,',А Д"'1!31 8- 0111!, Д':17ЧАКО А1111881110ГО 31806»й11"811113 СЛА17»»»3031013, ДАО С~»!А.:371)*;8, В' ~3 Д':;. К 01»",),'01А ПО 11 11АО',811'»1 ,*,~ Ь.'~А»13! Я»»1 Д87»111 К 01 1»,»АА118 "..11 0373 183»~811812 СЛЛЬ1»ОЙОВ 2 Д87ЧАКОЬ ДОВА6101Я„АО.'!РЛ„..!"1Т03011, ВХОДИ КО711033".1' ПОД113110»1»0»1»3 К В»13ХО1113М С"УИИ»370000, ПРО 13б':;3."10087:.331Ь КОД-0808»Ы8- »»:»»»1»1»О м»»»»»'.1 КОТО»'*13 'О ЛГ'»'К'"'11»48»11» и РУУО»1»»Ф»'»»»»П»1Г"3701710 01»ОВ1»А111,'1А113111~0»с1, 137013»11 КО»ТО,".»»11Х С08 01111831!1 С ~":»»ХОД13::3 11Я'"30б;3Я 80- '.»Ти» Ц "13» П»»» 81»~»к»» ~»Я6 010»$ 8,', ПВ»», »»0»»»А81, »»»»03»» 01» к»»:1»11" » С 7, б011~13ВОДОИ 1»81:;Л01» ПОАОСТМ Р 1 1~~у~ущ~щд~ цдудрц.дну щуддд~~ рд рцт~~.дед црд ~у ~д~ред~ ъ 1."Электролнм техника", сер.10, яыпЛ/45, Ы., 197Т, 1'и~о г~ с ~ ~~~~~~» ~~~ ~~~~~-~.

~/-'. ",~ ф Ю / Ъ ~- '', . *$'уф~~~ ЭХО, .