13_avt_svid_EAD_1134044 (Патенты Деулина Е.А часть 1)

СФо ~~Заж На основании полномочий, предоставленных Правительством СССР, Гасударственный комитет СССР по делам изобретений и открытий вцдал настоящее авторское свидетельство на изобретение: "Устройство лла перемейениа наделай преимущеотвенно в вэм77мных изм~фбх Автор ( авторы ): Зиноуранов аил Иванович Йиенев био ивановичу Латнмев рх' Панкратов рь Витальевич, Оатаров Герман Хабирович и Зиников Владимир Яковлевич Заявитель ." За~~к~ № 8 оантабвн 1984г Действие авторского свидетельства страняется на всю территорию Союза ССР. хор»лжаа~иеаъ Ломка»ежа мпФ о»»н»»».

1979. 3»». 78-3083. Изобретение ОтноситсЯ к Области производства полупроводниковых приборов, в частности к устройствам для перемецения изделий в вакуумиж камерах и может быть использовано в злек- У тронной промышленности в составе различного оборудования, нап- ример в оборудовании для электронно-лучевой, ионно-лучевой и р6нтгенОВской литогра~~ии, к изобретениВ Наиболее близким по технической сушностимявляется уст- ройство для переме~Ления изделий преимул~ественно В вакуумных камерах, содержзлее Основание, на к~т~ром устзиовленм ка-- ретка и гидропрОВОлы для подачи жидкости В гидродвигатель» Закрепленный на каретке» при этОм гидропроводы выполнены В виде гибких трубопроводов из полимерного материала Ш . НедОстзтком дзнногО устрОйстВЗ яВляется низкая надежность в работе Вследствие того, что трубопровод из полимерного материала ограничивает давление в гидросистеме» а процесс старения п~л~мерн~г~ Трубопр~~~да в условиях в~~ского Вакууавзрийнььли прорыв~~ ~ид~~сти в Обьем Вакуумной камеры» 6 также полимернькА М6териалзм сВОЙственны гззОВыделения, которые снижашт качество Обработки ИзделиЙ в вакуумной камере имущественно в вакуумных камерах, содержацем основание, на котором установлени кар8тка и гидропроводы для подачи жидкости в гидродвигател~ закрепленуьгй на каретке гидропровол; выполнен в виде двух сильфонов, расположенных ОООсно Один относительно другого с противоположных сторон каретки, при этОИ каждый сильфон Одним кОнцом соединен с кареткой» а другим концом - с основанием.

На 4иг. 1 показан схематически обп~ий вид устройства. На фир, 3 вид Д, ф~г, Устройство содержит установленное в вакуумной камере 1 основание 2 , на котором установлена каретка 3, на каретке 3 устанОвлена ДополнительнаЯ каретка 4, преДназначеннаЯ ДлЯ перемео~ениЯ Обр~б~тыв~~мых изделий. На каретке 3 закреплен гидродвигат8ль ~ предназначенный для перемецения дополнительной каретки 4, который выполнен в виде сильфонов 5. ДЛЯ подачи жидкости в гидродвигатель выполненный в виде СИЛЬРО- нов 5 , предназначены гидропроводы, выполненные в виде двух силь~онов 6 и 7 , расположенных соосно один относительно другого с противоположных сторон каретки 3, при етом каждый из сильфонов б и 7 одним концом соединен с кареткой 3 „ а другим конпом- с основанием 2. Сильфоны б и 7 гидропровода соединены с напорной магистралыа 8.

Из силь$онов 6 жидкость поступает в сильфоны 5 гидродвигателн через жесткий трубо- провОД 9 ДЯЯ перемЩениЯ каретки 3 предназначен гидродвига тель , выполненный в виде сильжонов 1О,соединенких одним ьь ти В гиДРОДВигатель , Внполненнмй В ВиД8 сильфонОВ 10» иэделие перемеиается по ОД~ОЙ иа координат Вместе с каретками 3 и 4, а пРИ подаче еидкости В гиДРОДВигательь Вмполненнмй В Виде йильфоноВ 6»иаделие перемеиается по другоЙ координате Вместе с кареткОЙ 4.

При этом перемещение каретки 2 сопроВокдается Д8фОРмапией сильфоноВ О и 7 гиДРОпРОВОДаь Один иа котормх скимаетсЯ , а другой растЯгиаается» суммарный Объ8м гидропровода при деформации сильфоноа 6 и 7 остается неиа- М8НННМ» так Как УВЕЛИЧЕНИЕ ОбЪем~ ОДНОГО ИВ СильфОНОВ КОМПЕН- сируетсЯ уменьлением Объема ДругогО сильфона. Лспользоаание иэобретения поэаоляет поамсить надекность В Оаботе УстРОЙстиаь так как исключает ВВРОЯтность ПОВРекде.ь ния трубопроаода и 7меньиает его пороимделение» а такие поаВоляет поамсить рабочее Д~ВЛе~и~ В гидросистеме.

Устройстао для переме~цения И~Д~~~Й преимул~естаенно В ВВКУ7МНМХ КВМЕРВХ» СОДЕРЗВЦ88 ОСНОВВНИЕ» На КОтоРОМ УСтаНОВ- лени каретка и гидропроаодн для подачи жидкости В гидродаи- ГатЕЛЬ» ааКРЕПЛЕННЫЙ На КВРЕтКЕ» ОтЛИЧВОЦЕ СЯ -Ем» Что» пельй покмления надеености В Работе» каедмй гиДРОПРОВОД Внполнен В Виде даух сильфОнОВ, располоиенннх соосно Один ОтнО- сительно другого с противополоклых сторон каретки, при этом какдьГЛ сильфон ОДним конЦом сОВДинен с каРеткОЙ» а ДРУгим кбнцОм — с Осноаанием .