Заключение дисссертационного совета_Макеев (Разработка конструкторско-технологических методов и средств повышения надёжности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов)

ЗЛКЯ1ОЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.141.18 НЛ БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО БЮДЖЕТНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕ)КДЕНИЯ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЯ1энОГО ОБРАЗОВАНИЯ «МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕР!И Н.'). БАУМАНА» МИНИСТЕРС'1 ВЛ ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ По ДИССЕРТАЦИИ НЛ СОИСКАНИЕ УЧЕ1-!Ой СТЕПЕНР! КАНДИДАТА НА) К ап естационное дело № решение диссертационного совета от 2 октября 2014 года № ! 3 О присуждении Макееву Мстиславу Олеговичу, ~ ражданину РФ, ученой степени кандидата технических наук.

Диссертация «Раз!эаботка конструкторско-технологических методов и средств повышения надежности смесителей радиосигналов на основе резонансно-туннельных диодов» по специальностям 05.11.!4 «'1'ехнология приборостроения» и 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников„ материалов и приборов электронной техники» принята к защите 25 июня 2014 г., протокол № 1О диссертационным советом Д 212.141.18 на базе федерального государственного б~оджетного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Московский государственный технический университез имени Н.Ъ Баумана» (ФГБОУ ВПО МГТУ им.

Н. ). Баумана) Министерства образования и науки Российской Федерации 1Минобрнау ки России), 105005, г. Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5, стр. 1. приказ о создании совета Оз 09.11.20!2 г. Л 717'нк. Соискатель Макеев Мстислав Олегович 1с)84 года рождения, в 2007 году окончил ФГБОУ ВПО М!"'! У им. Н..). Баумана, в '010 году — очную аспирантуру кафедры техноло~ ни приборостроения ФГБОУ ВПО Мп У им.

и.".:). Баумана. Работает в должности инженера Учеоно- инжене1ъного центра нанотехнологий„нано и мпкросистемной гехники Ф1 БОУ ВПО МГТУ им. Н. ). Баумана Минобрнауки России. Диссертация выполнена на кафедре технологии приборостроения в ФГБОУ ВПО МГТУ им. 11. ). Баумана Минобрнауки России. Научный руководитель — доктор физико-математических наук Иванов Юрий Александрович, профессор кафедры технологии приборостроения в ФГБОУ ВПО МГТУ им.

Н."). Баумана. Официальные оппоненты: Румянцев Констангин Евгеньевич. доктор гехнических наук, профессор. заведующий кафедрой информгшионной Оезопасности телекоммуникационных ФГАОУ ВПО "Южный федеральный университет", Николай Иванович Сушенцов, кандидат технических наук, доцент, заведующий кафедрой конструирования и производства радиоэлектронной аппаратуры ФГБОУ ВПО «11оволжскнй ~ Осударс1венный технологический университет», дали положительные Отзывы на диссертацикэ. Ведуцшя ор1аниз;щия ФГУП ЦНИРТИ им.

академика А.И. Берга г. Москва в своем положительном заключении, подписанном начальником комплексного отдела, д.т.н, Хлоповым Ьорисом Васильевичем указала, что на основании выполненных соискателем исследований получен ряд важных научных и практических результатов и в перву|о очередь следу юшие: разработана методика оценки изменения ВАХ Р ГД под действием дегралационных процессов в его структуре, на основе которой может проводится выбор вариантов исполнения омических контактов смесительных резонансно-туннельных диодов 1Р3 Д); разработана технологическая операция селекции смесительных Л1ЛвЖаЛв РТД, которая позволяет в рамках технологического цикла производства смесителей радиосигналов определять численные значения как индивидуальной, так и |-рупповой надежности РТД и смесителей радиосип|алов на их основе.

а также выпо.:|нять селекцию ооразцов по с |епени их надежности. Соискатель имеет 40 опубликованных работ, в том числе по теме диссертации 14 работ, опубликованных в рецензируемы. научных изданиях - 7: 1. Макеев М.О., Иванов К).Л., Мешков С.Л. Исследование деградационных явлений в наноразмерных Л1Лз.'ОаЛв гетероструктурах методом ИК-спектрозллипсометрии 0 Наноинженсрия. '011.

ЛЪ 4. С. 44-48. Личный вклад авгора заключается в анализе научно-гехнической литературы по диффузии А1 и 5! в ОаАв и проведении исследований наноразмерных гетероструктур до и после гемперагурных воздействий методом ИК-спектральной зллипсометрии. Исс.гедование |е1змической лег!задании Лцбе!'!! омических ~~нтактов резонанснотуннельных,цго юв на ба|с наноразмерных Л!Лы6аЛв гетероструктур ~ М.О. Макеев 1и др.! ~ Наука и образование.

МГТУ им. 11. ). Ба~мана. 'Электрон. журн. 20!2, Лв 9. 001: !3|1): !1х.й)!.рг: !!1,7463 05) Г',0453030 Личныи вклад авгора закгночается в анализе научно-технической литературы по деградационным процессам в Ацбе1ч! омических ко|пактах, а также в проведении исследований терм||чсскои деградации РТД. На основе лого была определена функциональная зависнмосзь кон |акг|нио сопротивления от времени и температуры. 3.

Арр11сабоп о! 1К е11!рьопзе|гу |о |1е1ег|п!па|!оп о1 |!зе 1!!пз Й!с!спеха о! а ро!у|е!га1|иогое|1|у1спс яагпр1е шой1!с~! !и йгес|-си| гсп! Йяс1|агце,~ М.О, Ма1|еем 1е! аЦ д Н1ф Епсгду С!зепйв|гу, 2011. У. 45. 1ч. б. Р, 536-53К. 4. Исследование физико-химических свайсгв поверхности ПТФ) методом ИК- спектрозллипсометрии М.О. Макеев !и лр. ~ " Нанотехника, '01!. % 3.

С. 27-32. |!ичный вклад автора заключае|ся в проведении исследований образца !ПФ'.Э, модифицированного в ра|ряде постоянного тока, методом ИК-спектральной зллипсометрии. Ли|ором бьши определены толшина, о|пические константы и изменение в химическом составе модифицированного слоя 1П'Ф'Э. 5. К вопрос) о повышении надежносги смеси |ельных Л1Лв'ОаАв Р1Д конструкторско-техногнпическими меголами М.О. Макеев ~и др.~ Наука и образование. МГ1У им. Н.'). 1эау мана. 'Электрон. журн. 2013..% 11. 1Э01: !т!!1):,'~Ь.Й~|.о! 1!Г 40'~ ', Ц '* |Л1~",Х'.4, 1и шый вклад автора заклю гнется в проведении исследований термической деградации па!пии Р 1','1. определении функциональной зависимости контактного сопротивления ||есле г смой партии РРД о| времени и температуры и анализе конструкторско-|ехно ни ических методов повыц|ения надежности смеси гельных РТД.

6. Моделир«ванне к!Кнетики вольт-амперных характеристик А!АЫОаАЯ РТ!1 в результате гифф1зи«нных процесс«в в его структуре ~' М.О. Макеев !и др.! ~/ Наноинженерия. 21)14. Х. 1. С. ~4-"г). Личный вклад ав!«ра заключаегся В разработке программно-расчетного комплекса г)1121»1О, на Осн«ве которого пр1цзедены исследования кинетики ВАХ РТД в результате;.шффузионных процессов В их с!руктуре. На диссертацик! и автореферат п«ступило 3 отзывов.

Все отзывы положительные, имею гся «!'тельные !амечания: 1, Отзыв ОАО «». веглана» подписан к.т.н., заместителем генерального директора по научно-!Схпическому развити!о Е.!евц«в!1м В,А. Замечание: определенным недостатком г1иссертгц1ионного исследования явилось то. что В качестве к)зитерия Отка" зов не рассм«грен»ровень шума смесителя, п«скольку он определяет чувствительность супер! втер«динных приемников без входного мал«шумящего усилителя, 2.

Отзыв ОАО 1»онцерн радиостроении "Вега", подписан кл.н., начальником лаборат»!рии .1еушин«м В.)О. В качестве гамечания указано, что в автореферате приведено слишк«м крагк«с «!писание пред па! аемых конструкторско-тсхнолоп1ческих решений повышения надежности рассмагриваемых приборов, в частности, не в полной мере Ясна су! ь рекомендаций п« изменению параметров конструкции А!АЯ1«ОаАЯ гетерострукт1р. 3.

О1зыв 11ХФ РАЙ, ! о,ц1исац к.ф.-м.н., старшим научным сотрудником Рывкиной Н.1-. Заме !!1Ии!!. в гнзторег)!ерате введено больш«е количество аббревиатур. большая ч'г«час1ь ~«тор~~ «лизка по сх1ыслу„например, резонансно-туннельная структура 1Р1»') и резонансно-гуннелыгая ! етер«структура (РТГС). 4. О!зыв ОАО ! 111вабе-Фотосие1емы», подписан д.ф.-м.н.. старшим научным сотрудник«м, начальник«м отдела Чишко В.Ф. Замечание: рассматривается исключительно во!дсйс1ги!е 1ехшер ггурн«го факт«ра на надежность Р'1 Д. в то время как влияние других Внеш1гих 1нац1!зих!ер.

радиацисциое воздействие) и внутренних (протекание тока) факторов це рассматриваегся. 5. Огзыв ОАО «Н11О «.,1ианозг!вский злектромеханический завод», подписан к т.н. 1»ислуха А.):. 3:!з!с илия: исходя из з«го„чт« ме!одика диагностики качества резонапсн«-г ннслы1ых !стер«структур на основе И1»-спектральной эллипсометрии предпола1ает пр«веление термических В«здействий на подложку, то вероятно, зто приводит к не«бр ггимым пр«цессам в 1етерострукгурах.

В автореферате не указано, является:1и лш!Ная ме.!«лика разрушакццей„и, если да, то насколько снижается ресурс из,1е.! ия. 6. Отзыв ЫЦ Ф1 У11 «Центр Еслдыцза», подписан к.ф.-м.н.. начальником отдела нанотехн«л«гий Рцзахан«вым Р,Н. Замечание: из представленной в автореферате информа1ши тп' 1н«понять. Ка!': с ц«м«1цью ме10да инфрак)заснои спектральнОи эллипс«ме!рии «!резеляе1ся профиль ртспределения кремния в многослойных гетерострук1ура» 1'«шциой «1лелы1ых слоев «! 1,5 нм до 100 нм. Уместным представляется рекомендация по измерению пр«филя С1це одним независимым методом, например, злек1р«!!Н«-«п1И зеских! Кар!Ированием микрошлифов. 7. Отзыв Ф1тВОУ В1ЗО Вл! У, под!шсан к.ф.-м.н.. доцентом кафедры биомедицинских и !Лек:рси!Ны» среде!В и зе»но:н!! ий Фроловой Т.Н.

В качестве недостатков отмечено следуюшее: пе приводятся количезгвенные оценки показателей надежности смесителя радиосигналов, лости!аемые путем рационального выбора конструкторско-технологических параметров резонансно-туннельной структуры. приконтактных областей и ом11 1еских к!)Нтактов. Не 11риводятся оценки точности прогноза эксплуатационной надежности смесителей, постепенные отказы которых обусловлены деградационными Процессам!1 В резОнансно-туннельных диодах В заданнь1х режимных и темпер;пурных условиях )ксплуатации. 8. Отзыв ФГЬОУ ВГ10 «ПНИПУ», подписан почетным работником высшего профессионалы!О!О Ооразо1гания РФ,;!.1.н., ~)офессором кафедры инновационные техноло1ии мапгипос!росшая А")рокосмического факультета Бочкаревым С.В.