Заключение дисссертационного совета_Макеев (1025752), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Замечание: к сожалению, в автореферате не ука ганы единичные параметры надежности. Выбор офиц)гальных оппонентов и ведущей организации обосновывается тем, что ОФициалы1ь1е ОН1И)пенты являк)тся Высокопрофессиональнь!ми специалистами В области зехнологии приборос)роения и технологии и оборудования для производства полупроводников, магериалов и приборов электронной техники, а так же известностью и высокой шггир;емостью их на) чных работ в сфере радиоэлектронных и телекоммуникационных систем и технологии изготовления полупроводниковых приборов, а веду1ц!1Я Организация - ведущим предприятием по разработке комплексов и средстВ ргг)лич11О1т) ОазироВания л"1я ра.'!НоэлектроннОГО протиВодейстВия радиоуправляемым средствам порсгкеюи, аппара)уры специального антитеррористического назначения и к!)1!куре!1!оси!)собной наукоемкой гражданской продукции. Диссертационный сове! отмечае1, гго на основании выполненных соискателем исследований: разраоотаны коне)рукторско-техноло1.ические методы и средства повышения надежности смес!11е 1ей радиосигналов па Основе А1ЛЙ~ВАВ резонансно-туннельных диодоьч еАлгор)1 1зи Вьпюга режимов техно.пггической операции М.г1 э на базе методики диагнос)ики качесзва наноразмерных А1ЛВ ОаАВ резонансно-туннельных гетеросзруктур на основе ИК-спектральной эллипсометрии 1ИК-С')); еА.'!гор!!т)1 выоора вариантов испо:!пения омических контактоВ смесит: льных Р'ГД на 1)1г)е методики оценки изменения ВАХ Р'ГД под действием деградациОнн ых нпоцсссОВ В С1'0 структу1'е: ° 1ехноло!З1ческа51 Операция кон 1',)оля качестВа изготОВ'!ения нанОразмернъ)х А1ЛЯ ОВЛ..
Резонансно-туннелы)ых гегероструктур на основе ИК-С".); «'Гехно 1огическая операция селекции смесительных Л1АВ)ОВАВ Р'1'Д; врекомен 111цпн ! о изм.нению параметров конструкции наноразмерной Л1Ль)ОВЛВ Р Г1'С для повыц!ения надежности смесителей на основе РТД. разработана м1)гемьг1ическая моделп деградационных процессов в РТД, позволяющая определять дрейф ВАХ Р ГД в процессе эксплуатации и связанного с этим изменения Выходных ')лек1ри "1еских параметров смесителей радиосигна'!ОВ, и„сООтВетственно, прово !Ить оценку !!аде)кпости смесителей на основе РТД при различных констр) кторс1''0-15 хпссю1'ических реп)ениях издел)1я. ра)раоотан комплекс ме)опик технической днсп ностики РТД, позволяюший оценить качес)во их из1 о)овления. Он вклк)чает в себя мегодику диагностики качества наноразмсрны..
Л1А, 6ВЛВ резонансно-гуннельных гетероструктур с использованием метода ИК-спектральной )ллипсометрии. Позволяющую определять коэффициенты диффузии А1 и ()! в баАВ, и методику оценки изменения ВАХ РТД под действием деградационных процессов в его структуре. позволяющук) определять зависимость контактного сопротивления омических контактов от времени и температуры; разработана методика оценки надежности смесителей радиосигналов на основе Р'1Д, вкгночающая в себя моделирование деградационных процессов в РТД, его вольг-ампсрных харакзериегик 1ВЛХ1 и выходных электрических характеристик смесителя радиосигналов на основе РТ,'.1. Методика позволяет выбирать рациональные конструкторско-1ех11оло11)ческие реи)ения, обеспечивающие заданный уровень надежности смеси!елей ра:!иосигналов на основе Р1Д.
'Георетическая 1н(1чимост1» исс !С.гов(П1ия Обоснова11а тем, что: примени ге.1ьнО к 11роб)1ема гике '1иссер1(шии результатиВно использоВаны ОсноВные положения гех!1Ологн11 приборостроения, технологии радиотехнических средств, физических основ микро)!!ектроники, фи)ики твердого тела, а также метод ИК- спектральной ь111ипсоме1рии и уско1)енно1 О старения пО;1ун$)оводникОВых устрОйств; раскрыла физиче:кая су1цность процессов.
Определяющих формирование постепенных откгг!Ов смеси ге.1еи на основе Р'Г,:1, в основе которых лежат особенности протекания диффузионных процессов как в !1Вноразмерных полупроводниковых резонансно-туннельных 1стсросзрукг рах, так и омических контактах РГД; изложены элементы 1еорни 11иффузии в 1верлом теле 1А1 и % в ОаАВ1. токопереноса в резонансно-гу 1не1ьных С1руктурах 1мегод Цу-Есаки)„расчета ВАХ РТД методом матриц переноса. )л)1ипсометрии. методов гармонического баланса и рядов Вольтера для моделирования 1!араме гров смеси'1 елей радиосип! а:1ОВ; разработана ма!ем;(гичсская модель диффузионных процессов в Р1Д, позволяющая определязь дрейф ВЛХ Р1Д в процессе эксплуатации и связанного с этим изменения Выходных алек!'рических нараметрОВ смес11телей ралиоси1'налов, и, со()тветственно, рассчитывгггь показа!ели надежности см»сителей на основе РТД при различных констру кторско-'1ехнйлоги ческих рец!ениях и 1;1е:1ия. Прак1И !еское значение полученных соискателем результатов исследования подтверждается тем.
'По ра)работаны и вне,(рены методика оценки изменения ВАХ РТД под действием диффузионных процессов в его структуре, методика диагностики качества нанор г)мер11ых Х!Ав»(ЗВЛВ резонансно-гуннельных гетероструктур на основе ИК-СЗ и мето щьа оценки надежности смесителей радиосигналов на основе РТД. Данные мето.щк ! (3ьгн1 испольюваны 1ьз ФГУП ЦНИРГИ им. академика А.И. Ьерга г, Москва, а 1акже в 11И11 Р'1 и УИЦ Н1 11МСТ МГТУ им. Н.Ъ Баумана, что под- тверждено са(п ве1ству к>щи ми ак)ам и. Оценка достоверности резу.)ьгагов пссле;и)вания выявила: д'1я экснери мен1а.'1ьн ых раоо1 .'1ОСТОВСГ»нос 1ь резул!»1атОВ ОоеспечиВается применением серги(1Н1цир~н)аг(но!о измери1ельно1о оборудования УИЦ НТ НМСТ МГТУ им. 11,'Э.
баумана 111г1ес1а признания ком!1Стентности испыгательной лаборатории 1центра) 1'К ироссийская корпорация нано)ехнологий» Хв» 0032) — ИК-спектральный эллипсомегр 1К-УЛЬЕ. (.ВЬ1 нанозлектронный измерительный стенд 1в состав стенда входят генер:11оры Ац»11сп! Е112570. источник питания Аг»11еп! Е3615А, анализатор Вамес гиге;! ь ! ! реле с.'!а ! Сля диссертационн)л О севе ! а дгт.н.„г)ро!1)ессор Шахнов Вадим Анатольевич '.)'ченый секретар!;)Иссергац))онно! О с!)Вс))! ' с'~." Юрий Борисович Цветков спектра А8)1сп! 850)51Х, к)ультг)метр А4!1сп! Е34401А) и микрозондовый стенд для измерения ВАХ РГД. теория посгрое)щ )щ известных.
проверяемых данных и согласуется с опубликованными )кспсрименз альн Ими данными ПО геме дисс!.ртации; математическое ))О,'!с.'п)рованис Осу)цеста.')я.)ось с использоВанием современных про)раммных продуктов: идея базируется на обобщении опыта отечественных и заруОежных исс.!е,*.!Ова )е.! 'и В с(1)ере проектирОВаниЯ„произВОдстВа и эксплуатации нелинейных преобг)~)зова )е.)е)! радиосиГналов; использОВано специали и)1)с)Ванное прй! раммное 00еспечение для сООра, Обработки эксперимснга )ьных д!)н!)Ь)х на ':)В1«1. В )ом числ!. Программный модуль, разработанный автором. )1ичный Вкл))д автора сос)оит В непосредственном участии ВО Всех этапах раооты.
Автором ли )))о подготовлены основные публикации и проведена апробация работы. Диссер'ГЗЦ!)Оннь)х! Советом сделщ! ВыВОд О 'ГОМ, что диссертация предстаВляет собой ГВВерщснн' ю на) ')НО-кВа:)и(1)икациопную раоот5. В которОЙ соде1)жатсЯ кон" структорско-!ехнологические решения, состоящие в разработке алгоритма выбора режимОВ техно:)О!'ичсской Операции мйлекулярн0-.')ученой ')питаксии, алгори'гма Выбора вариантов исполнения омических контактов смесительных РТД, технологической Операции контро )я качества изготовления наноразмерных А1АВ!С)ВАВ резонансно-туннельных ! с)ер!)Стр) ктур на основ.
ИК-! '3, технологической операции селекции смеси)ельных А1А::«зц)АВ РТ 1 и рекомендаций по изменению параметров конструкции наноразмерной А1АЫбаАВ резонансно-туннельной гетероструктуры и позВоляк)щие Ооес))с чина ! ь заданные показа )сли надежности смесите зеЙ радиосиГналоВ на основе Р'1').1 и имс)ащис существенное гначение для развития страны, что соответствует трсбаваь!Иям и. 9 «11ссюжения о пр)гсуждении ученых степеней». Н)! заседании ' ок)ября '014 года диссертационный совет принял решение присудить Макеев) Мс.)з)с.)аву Олеговичу ученчо степень кандидата технических наук. При проведснщ! )В)!ного голосования диссертационный совет в количестве 18 человек. Из щ)х .' Док)оров наук по гл)ещгальности 05.11.14 — «Технология приборо- строе)щя» и 6 докзороь наук по специальности 05.27,0!) — «Технология и оборудование для производсгь)! Полупрово,)ников, х)агериалов и приборов электронной техники)).
уч))стВОВ')В!!! Нх В ')ассдании, из 1 «)е:!Овека„вх!)дя)цих В состав сОВста„прОГОло" совали: за — 17. Пр пив — 1. Недействительных бюллетеней — нет. .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
