Сведения об оппоненте 2 (Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения)

Пункт

Сведения об официальном оппоненте

ФИО

Обижаев Денис Юрьевич

Ученая степень

Кандидат наук

Наименование отрасли науки

Технических

Научная специальность

05.02.01 – Материаловедение (машиностроение)

Полное наименование организации

Государственный научный центр Российской Федерации Федеральное государственное унитарное предприятие «Центральный научно-исследовательский институт химии и механики»

Место нахождения

РФ, г. Москва, ул. Нагатинская, д.16а

Почтовый адрес

115487, г. Москва, ул. Нагатинская, д.16а

Телефон организации

(499) 611-51-29

Адрес электронной почты; адрес официального сайта организации

mail@cniihm.ru; https://www.cniihm.ru

Должность

Заместитель начальника отдела научно-технологического комплекса нано- и микротехнологий научно-исследовательского центра нанотехнологий

Список основных публикаций в реферируемых журналах (за последние 5 лет)

1. П.Г. Бабаевский, С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, Е.А. Гринькин, В.Е. Турков, Г.М. Резниченко, Д.Д. Рискин, Ю.А. Бычкова. Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 1. Процессы соединения и разрезания пластин, локальная герметизация (вакуумное капсулирование) чувствительных элементов сенсорных микроэлектромеханических систем. – Нано- и микросистемная техника, 2014, №3, с. 3 – 12.

1. П.Г. Бабаевский, С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, Е.А. Гринькин, В.Е. Турков, Г.М. Резниченко, Д.Д. Рискин, Ю.А. Бычкова. Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2. Формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС. - Нано- и микросистемная техника, 2014, №4, с. 3 – 11.

1. С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, В.Е. Турков, Д.Д. Рискин, П.Н. Кудрявцев, Ю.С. Четверов. Особенности технологии изготовления высокочувствительных неохлаждаемых микроболометрических матриц. – Нано- и микросистемная техника, 2014, №5, с. 41 – 47.

1. Е.А. Гринькин, С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, А.В. Тютюгин, В.Е. Турков. Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе. – Нано- и микросистемная техника, 2014, №7, с. 38 – 43.

1. С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, Е.А. Гринькин, В.Е. Турков, Д.Д. Рискин, П.Г. Бабаевский, Г.М. Резниченко. Полимерные обратимые "сухие" адгезивы: новые представления, подходы и возможности. Часть I. Теоретический анализ "сухой" адгезии фибриллярных структур природных систем и ее искусственная имитация. – Нано- и микросистемная техника, 2015, №6, с. 8 –21.

1. С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, Е.А. Гринькин, В.Е. Турков, Д.Д. Рискин, П.Г. Бабаевский, Г.М. Резниченко. Полимерные обратимые "сухие" адгезивы: новые представления, подходы и возможности. Часть II. Влияние жесткости ламелей на контролируемую фибриллярную "сухую" адгезию и эластичные армированные полимерные композиционные материалы, обладающие эффектом «сухой» адгезии. – Нано- и микросистемная техника, 2015, №7, с. 3 – 13.

1. Д.Д. Рискин, С.А. Жукова, Д.Ю. Обижаев, В.Е. Турков. Измерение прочностных свойств адгезионных соединений, полученных методом термокомпрессионного сращивания пластин, при изготовлении МЭМС. – Нано- и микросистемная техника, 2016, №3, с. 160 – 165.