1_Задание_Френель (Готовые ДЗ по Френелю)
Описание файла
Файл "1_Задание_Френель" внутри архива находится в следующих папках: Готовые ДЗ по Френелю, дз 2, условик, ! ! 04.03.14. Документ из архива "Готовые ДЗ по Френелю", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "1_Задание_Френель"
Текст из документа "1_Задание_Френель"
Задание по расчету профиля интенсивности при контактной фотолитографии
Рассчитать профиль распределения интенсивности в микроизображении, формируемом контактной фотолитографией с параметрами, заданными в таблице, где W- ширина окна на фотошаблоне, z - микрозазор, - длина волны актиничного излучения
Структура домашнего задания.
-
Заданные условия (выбрать из прилагаемых вариантов)
-
Краткое описание последовательности выполняемых этапов.
-
Математическое обеспечение основных этапов должно включать следующие разделы:
-
Получите волновое уравнение (6.20), дифференцируя уравнение волны в тригонометрической (синусоидальной или косинусоидальной) и комплексной формах.
-
Покажите аналитически возможность перехода от волнового уравнения в общем виде для U(x,t) к уравнению для фазора U(x)
-
Докажите, что, переходя к приближению Френеля, в фазовом члене уравнения нельзя ограничиться аппроксимацией первого порядка.
-
Проведите переход от формулы 6.58 для амплитуды к формуле 6.59 для интенсивности.
-
Проанализировать, почему привыводе уравнения (6.49) для амплитудного члена выражения провести аппроксимацию первого порядка, а для фазового члена выражения необходимо провести аппроксимацию второго порядка
-
Проанализировать суть параметра , его получение и его влияние на результат расчета.
-
Программное обеспечение
Иллюстрации
-
Расчетная схема
-
Входное распределение интенсивности (на объекте)
-
Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения.
При расчете учитывать точки изображения, лежащие в области геометрической тени на расстоянии, равном +/- 0,5 W.
Отчет оформляется в Word, формулы – в MathType.
Для расчета интегралов Френеля можно использовать соответствующие программные продукты или использовать прилагаемую таблицу этих интегралов.