Ââåäåíèå

Ñîâðåìåííûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû è èíòåãðàëüíûå ìèêðîñõåìû ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ÷ðåçâû÷àéíî ñëîæíûå óñòðîéñòâà, îòäåëüíûå êîìïîíåíòû êîòîðûõ èìåþò ðàçìåðû íå áîëåå äîëè ìèêðîìåòðà. Èçãîòîâëåíèå òàêèõ óñòðîéñòâ îñóùåñòâëÿåòñÿ íà ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèíàõ ñ èñïîëüçîâàíèåì ôîòîëèòîãðàôèè. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïëàñòèíû, ïðåäíàçíà÷åííûå äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, õàðàêòåðèçóþòñÿ ñoâepøåííîé àòîìíîé ñòðóêòóðîé è âûñîêîé ãåîìåòðè÷åñêîé òî÷íîñòüþ îáåñïå÷åíèÿ ýòèõ êà÷åñòâ ðàçðàáîòàíà îðèãèíàëüíàÿ òåõíîëîãèÿ ìåõàíè÷åñêîé, õèìè÷åñêîé è õèìèêî-ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêè ìîíî-êðèñòàëëè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ, ñîçäàíî ïðåöèçèîííîå îáîðóäîâàíèå, çà÷àñòóþ íå èìåþùåå àíàëîãîâ â äðóãèõ îòðàñëÿõ íàðîäíîãî õîçÿéñòâà. Îáðàáîòêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí òðåáóåò âûñîêîé êâàëèôèêàöèè îïåðàòîðîâ è îáñëóæèâàþùåãî ïåðñîíàëà, íåóêîñíèòåëüíîãî ñîáëþäåíèÿ òåõíîëîãè÷åñêîé äèñöèïëèíû è îáÿçàòåëüíîãî ïîääåðæàíèÿ îñîáîé ÷èñòîòû ïðèìåíÿåìûõ ìàòåðèàëîâ è âàêóóìíîé ãèãèåíû â ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèÿõ.

Ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèå ïðîöåññû - âàæíåéøàÿ ñîñòàâíàÿ ÷àñòü òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ ìèêðîýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ. Èìåííî îíè îáåñïå÷èâàþò ôîðìèðîâàíèå ýëåìåíòîâ ñòðóêòóð ñ ñóáìèêðîííûìè ðàçìåðàìè è õîðîøóþ èõ âîñïðîèçâîäèìîñòü. Íà ñîâðåìåííîì îáî- ðóäîâàíèè äîñòèãàåòñÿ ðàçðåøàþùàÿ ñïîñîáíîñòü, ïîçâîëÿþùàÿ ïîëó÷àòü íåñêîëüêî òûñÿ÷ ëèíèé íà ìèëëèìåòð. Íåîáõîäèìûì óñëîâèåì êà÷åñòâåííîé ôîòîëèòîãðàôèè ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå áåçäåôåêòíûõ âûñîêîòî÷íûõ ôîòîøàáëîíîâ.

§ 1. ÎÑÍÎÂÍÛÅ ÑÂÅÄÅÍÈß Î ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÈÕ ÏÐÎÖÅÑÑÀÕ ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈß ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÕ ÏÐÈÁÎÐÎÐÎÂ È ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ

Îáùàÿ ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà

Âîçíèêíîâåíèå ñîâðåìåííîé òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ îòíîñèòñÿ ê 1957-1958 ãã., êîãäà áûëè îòêðûòû ëîêàëüíàÿ äèôôóçèÿ ïî îêñèäíîé ìàñêå è ôîòîëèòîãðàôèÿ. Ñî÷åòàíèå ýòèõ ìåòîäîâ çàëîæèëî îñíîâó ïëàíàðíîé ( plane - ïëîñêîcòü ) òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ è èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì (ÈÌÑ).  íàñòîÿùåå âðåìÿ îíà ÿâëÿåòñÿ äîìèíèðóþùåé òåõíîëîãèåé ïîëóïðîâîäíèêîâîãî ïðîèçâîäñòâà.

Ïëàíàðíóþ òåõíîëîãèþ ïðèìåíÿþò äëÿ ñîçäàíèÿ òâåðäîòåëüíîé ñòðóêòóðû, ñîäåðæàùåé ïîëóïðîâîäíèêîâûé êðèñòàëë ñ îïðåäåëåíííûì ðàñïðåäåëåíèåì ëåãèðóþùèõ ýëåìåíòîâ ( p-n - ïåðåõîäîâ ), ñèñòåìó âíóòðåííèõ ñîåäèíåíèé ñ äèýëåêòðè÷åñêîé èçîëÿöèåé, à òàêæå äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ âíåøíèõ âûâîäîâ ýòîé ñòðóêòóðû è åå çàùèòû.

Îáùàÿ òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà ïðîöåññîâ ïðîèçâîäñòâà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ ïîêàçàíà íà ðèñ. 1. Îíà âêëþ÷àåò êîìï ëåêñû ïîäãîòîâèòåëüíûõ ïðîöåññîâ, ïðîöåññîâ ãðóïïîâîé è èíäèâèäóàëüíîé îáðàáîòêè.

 êîìïëåêñ ïîäãîòîâèòåëüíûõ ïðîöåññîâ âõîäÿò: èíæåíåðíîå ïðîåêòèðîâàíèå ñõåìû, ðàçðàáîòêà åå òîïîëîãèè è ñîîòâåòñòâóþùåãî êîìïëåêòà ôîòîøàáëîíîâ, à òàêæå ðÿä çàãîòîâèòåëüíûõ îïåðàöèé - ïîäãîòîâêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïîäëîæåê, êîðïóñîâ ïðèáîðîâ è äð.

Ôîðìèðîâàíèå ñàìîé ñòðóêòóðû ïðèáîðà ïðîèñõîäèò ïðè ãðóïïîâîé îáðàáîòêå, êîòîðàÿ ñîñòîèò èç ïðîöåññîâ îêèñëåíèÿ, äèôôóçèè ïðèìåñåé, ýïèòàêñèè, âàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ, ôîòîëèòîãðàôèè è òåõíîõèìè÷åñêîé îáðàáîòêè. Ðàçâåðíóòàÿ ñõåìà ãðóïïîâîé îáðàáîòêè ïëàñòèíû ïðè ôîðìèðîâàíèè ïðèáîðà íà ïðèìåðå ýïèòàêñèàëüíî-ïëàíàðíîé ñòðóêòóðû ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 2. Ïîêàçàííàÿ íà ñõåìå ÷àñòü òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ ñâÿçàíà ñ îäíîâðåìåííûì ïîëó÷åíèåì ìíîæåñòâà èäåíòè÷íûõ ñòðóêòóð (êðèñòàëëîâ) íà îäíîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé ïëàñòèíå. Öèêë ãðóïïîâîé îáðàáîòêè çàêàí÷èâàåòñÿ ïîëó÷åíèåì ìåæñîåäèíåíèé íà ïîâåðõíîñòè êðèñòàëëîâ ïëàñòèíû.

 èíäèâèäóàëüíóþ îáðàáîòêó âõîäÿò ñáîðî÷íî-êîíòðîëüíûå ïðîöåññû (ðàçäåëåíèå ãðóïïîâîé ïëàñòèíû íà îòäåëüíûå êðèñòàëëû, ìîíòàæ êðèñòàëëîâ â êîðïóñàõ, ïðèâàðêà âûâîäîâ, ãåðìåòèçàöèÿ, êîíòðîëü, ìåõàíè÷åñêèå è êëèìàòè÷åñêèå èñïûòàíèÿ,îêðàñêà, ìàðêèðîâêà è óïàêîâêà). Îòäåëüíûå ýòàïû òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà ãðóïïîâîé îáðà

áîòêè - ôîòîëèòîãðàôèÿ, äèôôóçèÿ, êîíòðîëü è äð. - âêëþ÷àþò äî

Ð èñ. 1 Îáùàÿ ñõåìà ïðîöåññîâ ïðîèçâîäñòâà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ

ä åñÿòè îïåðàöèè, âûïîëíÿåìûõ ïî òèïîâûì îïåðàöèîííûì êàðòàì è òåõíîëîãè÷åñêèì èíñòðóêöèÿì. Îáùåå ÷èñëî îïåðàöèé èçãîòîâëå- íèÿ ÈÌÑ (áåç ó÷åòà ïîäãîòîâèòåëüíûõ îïåðàöèé) ìîæåò äîñòèãàòü 150 ,à ïðîäîëæèòåëüíîñòü ïîëíîãî öèêëà îáðàáîòêè ñîñòàâëÿåò îêîëî 100 ÷.

Îñîáåííîñòüþ êîíñòðóêöèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ ÿâëÿåòñÿ ñâåðõìèíèàòþðíîñòü èõ ýëåìåíòîâ. Òîëùèíà äèýëåêòðè÷åñêèõ è ìåòàëëè÷åñêèõ ïîêðûòèé ýòèõ ïðèáîðîâ îáû÷íî íå ïðåâûøàåò 1 ìêì, à òîëùèíà àêòèâíûõ îáëàñòåé ñòðóêòóð ñîñòàâëÿåò äåñÿòûå äîëè ìèêðîìåòðà. Òàê, òîëùèíà áàçû ÑÂ×-òðàíçèñòîðà ìîæåò ñîñòàâëÿòü 0,1 , à ýìèòòåðà - Î,15 ìêì .

Ð èñ.2 Ñõåìà òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ ýïèòàêñèàëüíî-ïëàíàðíîé ñòðóêòóðû ÈÌÑ (ãðóïïîâàÿ îáðàáîòêà) ñ òðàíçèñòîðàìè n-ð-n -òèïà

Ñëåäóåò òàêæå ó÷èòûâàòü, ÷òî ïðè èçãîòîâëåíèè ýòèõ ïðèáîðîâ ïðîèçâîäÿò áîëüøîå ÷èñëî ñëîæíûõ ïîñëåäîâàòåëüíûõ îïåðàöèé íàä îäíèì è òåì æå êðèñòàëëîì, ÷òî ñêàçûâàåòñÿ íà ïðîöåíòå âûõîäà ãîäíûõ ïðèáîðîâ.  ïîëóïðîâîäíèêîâîì ïðîèçâîäñòâå ñóììàðíûé ïðîöåíò âûõîäà ãîäíûõ ïðèáîðîâ çàâèñèò îò ïðîöåíòà èõ âûõîäà íà îòäåëüíûõ ýòàïàõ òåõíîëîãè÷åñêîãî öèêëà: N_ñóìì= (N₀/100)_n*100, ãäå N_o - ñðåäíèé ïðîöåíò âûõîäà ãîäíûõ ñòðóêòóð íà åäèíè÷íîé îïåðàöèè òåõíîëîãè÷åñêîãî öèêëà, n - ÷èñëî oïåðàöèé öèêëà.

Òàêèì îáðàçîì, åñëè òåõíîëîãè÷åñêèé öèêë èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðà ñîäåðæèò 100 îïåðàöèé,òî äàæå ïðè N₀=95 % N_ñóìì=1,6 %. Ïîýòîìó ñëåäóåò ïîìíèòü , ÷òî ïðîöåíò âûõîäà ãîäíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ è èõ êà÷åñòâî â çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè çàâèñÿò íå òîëüêî îò ñîâåðøåíñòâà òåõíîëîãèè, íî è îò ìàñòåðñòâà ðàáî÷åãî, âûïîëíÿþùåãî òó èëè èíóþ òåõíîëîãè÷åñêóþ îïåðàöèþ.

§ 2. Õàðàêòåðèñòèêà òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé

Ïîäãîòîâêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïîäëîæåê.

Ýòà îïåðàöèÿ îòíîñèòñÿ ê çàãîòîâèòåëüíûì ïðîöåññàì èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ, Ñëèòêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ äèàìåòðîì 100 ìì è áîëåå ðåæóò ïåðïåíäèêóëÿðíî èõ ïðîäîëüíîé îñè íà ïëàñòèíû òîëùèíîé äî 1 ìì. Ïîñëå ýòîãî ïëàñòèíû øëèôóþò äî óñòðàíåíèÿ íåðîâíîñòåé è íàðóøåííîãî ñëîÿ. Ïðè øëèôîâêå ïîñëåäîâàòåëüíî ïðèìåíÿþò áîëåå òîíêèå øëèôîâàëüíûå ñîñòàâû, ÷òîáû ñâåñòè ê ìèíèìóìó íàðóøåíèÿ êðèñòàëëè÷åñêîé ñòðóêòóðû ïëàñòèíû.  ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè âñå ýëåìåíòû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ ñîçäàþòcÿ â ïðèïîâåðõíîñòíîé îáëàñòè ïîäëîæêè, ïîýòîìó êà÷åñòâî è ñîñòîÿíèå ïîâåðõíîñòè ïëàñòèíû èìåþò âàæíîå çíà÷åíèå. Ïîâåðõнîñòü ïëàñòèíû ïîëèðóþò äëÿ îêîí÷àòåëüíîãî ñíÿòèÿ ñ íåå äåôåêòîâ è äîâåäåíèÿ åå äî íåîáõîäèìîé ÷èñòîòû. Äëÿ ýòîãî ïðèìåíÿþò ðàçëè÷íûå ñïîñîáû ïîëèðîâàíèÿ: ìåõàíè÷åñêèé, õèìè÷åñêèé, õèìèêî-ìåõàíè÷åñêèé, ýëåêòðîõèìè÷åñêèé è ïëàçìî-õèìè÷åñêèé. Äëÿ îêîí÷àòåëüíîé ïîäãîòîâêè ðàáî÷åé ïîâåðõíîñòè ïëàñòèíû ñëóæèò õèìè÷åñêàÿ îáðàáîòêà, íàçíà÷åíèå êîòîðîé çàêëþ÷àåòñÿ â óäàëåíèè çàãðÿçíåíèé, î ñòàòêîâ îêñèäîâ è â îáåçæèðèâàíèè.  òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ ïðèáîðîâ õèìè÷åñêóþ îáðàáîòêó ïîäëîæåê èñïîëüçóþò ìíîãîêðàòíî. Ïîäãîòîâêà ïîäëîæåê, êàê ïðàâèëî, íå ñâÿçàíà ñ âûïóñêîì êîíêðåòíûõ ïðèáîðîâ è ïðàêòè÷åñêè íå âëèÿåò íà äëèòåëüíîñòü ïåðèîäà çàïóñêà ïðèáîðà â ïðîèçâîäñòâî, îäíàêî âî ìíîãîì îïðåäåëÿåò âîçìîæíîñòè òåõíîëîãèè. Îñîáåííîñòüþ ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè ÿâëÿåòñÿ ïîâòîðåíèå îäíî-òèïíûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé, êîòîðûå ìîæíî ïðîñëåäèòü ïî òåõíîëîãè÷åñêîé ñõåìå ïðîöåññà, ïðèâåäåííîãî íà ðèñ. 2. Èçìåíåíèå êîëè÷åñòâà òàêèõ ïîñëåäîâàòåëüíîñòåé äàåò âîçìîæíîñòü ïðîèçâîäèòü ëþáûå ïëàíàðíûå ïðèáîðû (îò ïðîñòûõ äèîäîâ äî ñëîæíûõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì). Ïðè ýòîì îñíîâà îïåðàöèé ÷àñòî îñòàåòñÿ íåèçìåííîé, à èçìåíÿþòñÿ òîëüêî òåõíîëîãè÷åñêèå ðåæèìû è ôîòî-øàáëîíû, èñïîëüçóåìûå äëÿ ôîòîëèòîãðàôèè. Êàæäàÿ ïîñëåäîâàòåëüíîñòü ôîðìèðóåò îïðåäåëåííóþ ÷àñòü ñòðóêòóðû: áàçîâóþ èëè ýìèòòåðíóþ îáëàñòü, êîíòàêòû è ò. ä. Ïîñëåäîâàòåëüíîñòü èçìåíåíèÿ ñòðóêòóðû ïîëóïðîâîäíèêîâîãî êðèñòàëëà ïðè ôîðìèðîâàíèè ýíèòàêñèàëüíî-ïëàíàðíîãî n-ð-n - êðåìíèåâîãî òðàíçèñòîðà ïîêàçàíà íà ðèñ. 3. Èñõîäíàÿ ýïèòàêñèàëüíàÿ ñòðóêòóðà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé êðåìíèåâóþ ïëàñòèíó 2, íà ïîâåðõíîñòè êîòîðîé âûðàùåí ýïèòàêñèàëüíûé ñëîé êðåìíèÿ 1

Ð èñ. 3. Òåõíîëîãè÷åñêàÿ ñõåìà èçãîòîâëåíèÿ n-ð-n-ýïèòàêñèàëüíî-ïëàíàðíîãî êðåìíèåâîãî òðàíçèñòîðà: à - èñõîäíàÿ ýïèòàêñèàëüàÿ ñòðóêòóðà, á - ñòðóêòóðà ñ çàùèòíîé îêñèäíîé ïëåíêîé, â - ôîòîëèòîãðàôèÿ è äèôôóçèÿ áàçû, ã - îêèñëåíèå, ôîòîëèòîãðàôèÿ è äèôôóçèÿ ýìèòòåðà, ä - ôîðìèðîâàíèå ìåòàëëè÷åñêèõ êîíòàêòîâ; 1 - ýïèòàêñèàëüíûé ñëîé, 2 - êðåìíèåâàÿ ïëàñòèíà, 3 - çàùèòíàÿ ïëåíêà îêñèäà êðåìíèÿ, 4 - ð-îáëàñòü áàçû. 5 - n -îáëàñòü ýìèòòåðà, 6 - ìåòàëëè÷åñêèå êîíòàêòû

ò îëùèíîé íåñêîëüêî ìèêðîìåòðîâ. Ïîâåðõíîñòü ýïèòàêñèàëüíîé ñòðóêòóðû ïîêðûâàþò çàùèòíîé ïëåíêîé îêñèäà êðåìíèÿ 3 è ñ ïîìîùüþ ôîòîëè òîãðàôèè â íåé âûòðàâëÿþò îêíî. Äèôôóçèåé àêöåïòîðíîé ïðèìåñè â ýïèòàêñèàëüíîì ñëîå ôîðìèðóþò áàçîâóþ ð-îáëàñòü 4. Çàòåì îêíî ñíîâà ïîêðûâàþò ïëåíêîé îêñèäà è â íåé âíîâü âûòðàâëÿþò îêíî äëÿ ñîçäàíèÿ ýìèòòåðíîé n -îáëàñòè 5 äèôôóçèåé äîíîðíîé ïðèìåñè. Çàêëþ÷èòåëüíûì ýòàïîì ÿâëÿåòñÿ ôîðìèðîâàíèå ìåòàëëè÷åñêèõ êîíòàêòîâ 6 êî âñåì îáëàñòÿì òðàíçèñòîðíîé ñòðóêòóðû. Ïîëó÷åíèå äèýëåêòðè÷åñêèõ ïëåíîê. Äèýëåêòðè÷åñêèå ïëåíêè èñïîëüçóþò â êà÷åñòâå ìàñêèðóþùèõ ïîêðûòèé ïðè äèôôóçèè, à â ãîòîâûõ ïðèáîðàõ è ñõåìàõ - â êà÷åñòâå çàùèòû è èçîëÿ- öèè ýëåìåíòîâ è ëèíèé ìåòàëëèçàöèè. Äèýëåêòðè÷åñêèå ïëåíêè ÿâëÿþòñÿ îäíèì èç íàèáîëåå îòâåòñòâåííûõ ýëåìåíòîâ ñòðóêòóðû ïðèáîðîâ è âî ìíîãèõ ñëó÷àÿõ îïðåäåëÿþò ìåõàíèçì îòêàçîâ è, ñëåäîâàòåëüíî, íàäåæíîñòü ïðèáîðîâ. Ëþáûå íåîäíîðîäíîñòè äèýëåêòðè÷åñêèõ ïëåíîê êàê ïðè ìàñêèðîâàíèè, òàê è ïðè çàùèòå ïî÷òè íåèçáåæíî ïðèâîäÿò ê äåôåêòàì è îòêàçàì ïðèáîðîâ. Ýêñïëóàòàöèîííûì òðåáîâàíèÿì äîñòàòî÷íî ïîëíî îòâå÷àåò äèîêñèäèë êðåìíèÿ (Si0₂), ïîëó÷àåìûé ïðè íàãðåâàíèè ïîâåðõíîñòè ðåìíèÿ â ïðèñóòñòâèè êèñëîðîäà (òåðìè÷åñêîå îêèñëåíèå). Ïëåíêà SiO₂ îáëàäàåò íàèëó÷øèìè ìàñêèðóþùèìè ñâîéñòâàìè è âûñîêèìè ýëåêòðè÷åñêèìè ïàðàìåòðàìè. Õîðîøî ðàñòâîðÿÿñü â ïëàâèêîâîé êèñëîòå. SiO₂ â òî æå âðåìÿ ïðàêòè÷åñêè ñòàáèëåí ïî îòíîøåíèþ ê ñìåñÿì HF+HNO₃, ÷òî ïîçâîëÿåò ýôôåêòèâíî èñïîëüçîâàòü åãî â êà÷åñòâå ìàñêè ïðè ñåëåêòèâíîì òðàâëåíèè êðåìíèÿ. Òåðìè÷åñêîå îêèñëåíèå ïðèìåíèìî òîëüêî ê êðåìíèþ. Îêèñëåíèå êðåìíèÿ ïðîâîäÿò â îäíîçîííûõ äèôôóçèîííûõ ïå÷àõ ñî ñïåöèàëüíûìè ãàçîðàñïðåäåëèòåëüíûìè óñòðîéñòâàìè ïðè 50-1200° Ñ. Ðîñò îêñèäà ïðîèñõîäèò íà ãðàíèöå ðàçäåëà îêñèä-êðåìíèé, ñëåäîâàòåëüíî, îêèñëèòåëü (êèñëîðîä èëè ìîëåêóëû âîäû) äèôôóíäèðóåò ñêâîçü ðàñòóùóþ îêñèäíóþ ïëåíêó ê åãî ãðàíèöå, ãäå âñòóïàåò â ðåàêöèþ ñ êðåìíèåì.  ñâÿçè ñ ýòèì ñêîðîñòü ðîñòà îêñèäíîé ïëåíêè ñî âðåìåíåì ïàäàåò, êàê ýòî ïîêàçàíî íà ðèñ. 4..

Ð èñ 4. Çàâèñèìîñòü òîëùèíû x₀ îêñèäà îò âðåìåíè îêèñëåíèÿ t ïðè ïîñòîÿííûõ òåìïåðàòóðå è äàâëåíèè ãàçîîáðàçíîãî îêèñëèòåëÿ.

 çàâèñèìîñòè îò îêèñëèòåëüíîé ñðåäû ðàçëè÷àþò òåðìè÷åñêîå îêèñëåíèå â ñóõîì êèñëîðîäå, â àòìîñôåðå âîäÿíîãî ïàðà è êîìáèíèðîâàííîå. Òåðìè÷åñêîå îêèñëåíèå êðåìíèÿ â ñóõîì êèñëîðîäå õàðàêòåðèçóåòñÿ íàèáîëüøåé ïðîäîëæèòåëüíîñòüþ è áîëåå âûñîêèì êà÷åñòâîì ïëåíêè ïî ñðàâíåíèþ ñ îêèñëåíèåì â àòìîñôåðå âîäÿíîãî ïàðà, î ÷åì ñâèäåòåëüñòâóåò åå âûñîêàÿ ïëîòíîñòü (2.27 ã/ñì³).  ýòîì ñëó÷àå äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíêè SiO₂ òîëùèíîé 1 ìêì ïðè 1300°Ñ òðåáóåòñÿ 15 ÷. Ïðîöåññ îêèñëåíèÿ êðåìíèÿ â àòìîñôåðå âîäÿíîãî ïàðà ( ãèäðîòåðìàëüíîå îêèñëåíèå) õàðàê- òåðèçóåòñÿ áîëüøèìè ñêîðîñòÿìè ðîñòà è âîçìîæíîñòüþ ïîëó÷åíèÿ òîëñòûõ (2-3 ìêì) ïëåíîê SiO₂. Îñíîâíûì íåäîñòàòêîì ïðîöåññà îêèñëåíèÿ â àòìîñôåðå âîäÿíîãî ïàðà ÿâëÿåòñÿ íèçêîå êà÷åñòâî ïîëó÷àåìûõ ïëåíîê è, êàê ñëåäñòâèå, óõóäøåíèå èõ çàùèòíûõ ñâîéñòâ. Íèçêàÿ ïëîòíîñòü ïëåíîê (îêîëî 2 ã/ñì³) ñâÿçàíà ñ èõ ïîðèñòîñòüþ èç-çà íàëè÷èÿ âîäîðîäà è ãèäðîêñèëüíûõ ãðóïï ÎÍ. Ïîýòîìó òåðìè÷åñêèé îêñèä îáû÷íî ñîçäàþò ïðè êîìáèíèðîâàííûõ ðåæèìàõ îêèñëåíèÿ, ÷åðåäóÿ ýòàïû âûðàùèâàíèÿ ïëåíîê â ñóõîì è âëàæíîì êèñëîðîäå. Íàèáîëåå ÷àñòî îêèñëåíèå ïðîâîäÿò â òðè ñòàäèè: â ñóõîì êèñëîðîäå, óâëàæíåííîì -äëÿ óñêîðåíèÿ ïðîöåññà è íàðàùèâàíèÿ äîñòàòî÷íî òîëñòîé ïëåíêè è âíîâü - â ñóõîì. Òåðìè÷åñêîå îêèñëåíèå ñâÿçàíî ñ âîçäåéñòâèåì âûñîêîé òåìïåðàòóðû, ÷òî ïðèâîäèò ê äèôôóçèîííîìó ðàçìûâàíèþ (èçìåíåíèþ ãåîìåòðèè) ôîðìèðóåìîé ñòðóêòóðû ïðèáîðà. Äëÿ ñíèæåíèÿ òåì ïåðàòóðû ïðèìåíÿþò ñïîñîáû îñàæäåíèÿ ïëåíîê SiO₂ èç ëåòó÷èõ êðåìíèéîðãàíè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé ïðè 700°Ñ, ïðè÷åì îíè óíè âåðñàëüíû ïî÷òè äëÿ âñåõ ïîëóïðîâîäíèêîâ. Áîëüøîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èë ñïîñîá ïèðîëèòè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ äèîêñèäà êðåìíèÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì òåòðàýòîêñèñèëàíà, ïèðîëèç (ò. å. òåðìè÷åñêîå ðàçëîæåíèå) êîòîðîãî ïðîòåêàåò ñîãëàñíî ðåàêöèè

Si (ÎÑ₂Í₅)₄ Si0₂ +4C₂H₄ + 2Í₂0

Ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ïëåíêè ïðè 750°Ñ ñîñòàâëÿåò 0,03 ìêì/ìèí. Êðîìå SiO₂ â ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè â êà÷åñòâå çàùèòíîãî è ìàñ êèðóþùåãî ïîêðûòèÿ èñïîëüçóþò ïëåíêè íèòðèäà êðåìíèÿ Si₃N₄, ÿâëÿþùèåñÿ áîëåå ïëîòíûìè è íåïðîíèöàåìûìè ïî îòíîøåíèþ ê äèôôóçèàíòàì, ÷åì ïëåíêè SiO₂. Îñíîâíûì ñïîñîáîì ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê íèòðèäà êðåìíèÿ ÿâëÿåòñÿ ïèðîëèòè÷åñêîå îñàæäåíèå, ðåàêöèÿ êîòîðîãî ïðîòåêàåò ïðè âçàèìîäåéñòâèè ñèëàíà è àììèàêà:

3SiH₄ + 4NH₃=Si₃N₄+ 12Í₂

Îñàæäåíèå Si₃N₄ ïðîèñõîäèò ïðè 900°Ñ. Âîçìîæíî òàêæå èñïîëü- çîâàíèå ðåàêöèè âçàèìîäåéñòâèÿ ÷åòûðåõõëîðèñòîãî êðåìíèÿ ñ àììèàêîì