Ответы к экзамену: Ответы на вопросы к экзамену по вакуумной технике

1 Определение вакуума и абсолютного давления. Применение вакуума в науке и технике. Размерность давления.
2 Понятие идеального газа и основные положения молекулярно-кинетической теории.
3 Давление газа на стенку камеры. Вывод формулы давления.
4 Законы идеального газа. Уравнение газового состояния.
5 Зависимость давления от высоты (формула Больцмана).
6 Частота соударений молекул газа с поверхностью.
7 Распределение молекул газа по скоростям. Среднеквадратичная и среднеарифметическая скорость молекул газа.
8 Средняя длина свободного пути (пробега) молекул газа. Приближенное и точное выражение для длины пробега молекул газа.
9 Понятие о степенях вакуума. Постоянная Кнудсена. Определение высокого, среднего и низкого вакуума.
10 Понятие адсорбции и десорбции газа. Индукционный, ориентационный и дисперсионный эффект. Химическая адсорбция.
11 Конденсация и испарение. Давление насыщенных паров. Закон Рауля.
12 Адсорбция газов и паров. Уравнение БЭТ. Определение изотермы, изостеры, изобары адсорбции.
13 Растворимость газов в твердых телах. Зависимость растворимости от температуры и давления.
14 Степень покрытия поверхности. Определение. Зависимость степени покрытия поверхности и скорости десорбции газа от времени.
15 Вязкость газов в низком вакууме. Коэффициент динамической и кинематической вязкости.
16 Вязкость газов в высоком вакууме. Зависимость силы трения в вакууме от давления.
17 Диффузия газа в высоком и низком вакууме. Зависимость коэффициента диффузии от температуры и давления.
18 Понятие газового потока. Размерность газового потока. Понятие проводимости элемента вакуумной системы. Правила сложения проводимости элементов вакуумной системы. Зависимость проводимости от давления.
19 Перенос теплоты в вакууме. Теплообмен конвекцией, излучением, теплопроводностью.
20 Электрические явления в вакууме. Кривая Пашена
21 Быстрота откачки вакуумным насосом. Основное уравнение вакуумной техники. Коэффициент использования насоса. Себестоимость вакуумных систем.
22 Уравнение скорости откачки камеры.​​​​
23 Основные параметры вакуумных насосов. Классификация методов получения вакуума по физическому принципу.
24 Объемные насосы. Принцип действия, скорость откачки и конструкция объемных насосов.
25 Молекулярные насосы. Принцип действия, скорость откачки и конструкция молекулярных насосов. Ионные и турбомолекулярные насосы.
26 Пароструйная откачка. Диффузионные и эжекторные насосы. Конденсирующие ловушки, назначение и их конструкция.
27 Хемосорбционная откачка. Конструкция испарительных и ионно-гетерных насосов. Характеристики ионно-гетерных насосов.
28 Криогенные насосы. Криосорбционная и криоконденсационная откачка. Условие криоконденсации. Скорость откачки в зависимости от температуры криоповерхности.
29 Магниторазрядные насосы. Принцип действия, быстрота откачки магниторазрядным насосом различных (в том числе и инертных) газов. Конструкция магниторазрядных насосов по диодной и триодной схеме.
30 Методы измерения общего давления газов.
31 Деформационные преобразователи, их виды, конструкция, принцип работы.
32 Гидростатические преобразователи, их виды, конструкция, принцип работы.
33 Тепловые преобразователи, их виды, конструкция, принцип работы.
34 Электронные, магнитные и радиоизотопные преобразователи, их виды, конструкция, принцип работы.
35 Методы градуировки вакуумных преобразователей общих давлений газов.
36 Методы измерение парциальных давлений газов, чувствительность, разрешающая способность газоанализаторов.
37 Магнитные и панорамные газоанализаторы, конструкция, принцип работы.
38 Циклотронные, времяпролетные газоанализаторы, конструкция, принцип работы.
39 Квадроупольные масс спектрометры, конструкция, принцип работы. Калибровка и градуировка газоанализаторов.
40 Сорбционные методы анализ парциального давления газа – термодесорбционный метод и метод оже-спектроскопии.
41 Методы измерения газовых потоков, метод постоянного объема и постоянного давления.
42 Методы течеискания.
43 Стационарный режим работы вакуумной системы, распределение давления в вакуумной системе при вязкостном и молекулярном режиме течения газа.
44 Параллельное и последовательное соединения насосов.
45 Критерий совместимости двух последовательно соединенных насосов.
46 Газовые нагрузки в стационарном и квазистационарном режиме работы вакуумных систем, виды газовых нагрузок.
47 Материалы поглотители, их виды, применение.
48 Количественная оценка натекания, причины натекания, методы диагностики натекания.
49 Технологическое натекание, примеры технологического натекания в различных вакуумных системах.