Для студентов СПбГЭТУ им. Ульянова (Ленина) по предмету Методы исследования структуры в микроэлектроникеИзучение эффективных методов увеличения контраста в оптической микроскопии для исследования структурных дефектов монокристаллических прозрачных подложИзучение эффективных методов увеличения контраста в оптической микроскопии для исследования структурных дефектов монокристаллических прозрачных подлож
2023-04-082023-04-08СтудИзба
Изучение эффективных методов увеличения контраста в оптической микроскопии для исследования структурных дефектов монокристаллических прозрачных подложек
Описание
Цель Работы: Изучить устройство микроскопа; Определить поле зрения оптической системы прибора; Изучить различные методы формирования оптимального дифракционного контраста изображения элементов объемной структуры образца прозрачной в видимом диапазоне длин волн полированной плоскопараллельной монокристаллической пластины широкозонного полупроводника; Описать типичную конфигурацию, цветовую палитру и форму регистрируемых посредством лабораторной установки критических дефектов; Подсчитать количество (на единицу площади) и определить размеры регистрируемых «критических» дефектов.
Характеристики лабораторной работы
Учебное заведение
Семестр
Номер задания
Просмотров
1
Скачиваний
0
Размер
1,92 Mb
Список файлов
- ЛР№3.docx 1,92 Mb