ИПР - Определение параметров вакуумной установки и получение тонких пленок ионно-плазменными методами (991020), страница 4
Текст из файла (страница 4)
Для получения большей контрастности полос поворотом кольца 6 можно несколько уменьшить отверстие апертурой диафрагмы.4. Вращением винта 10 вокруг оси установить необходимый для работы интервалмежду полосами. Поворотом винта 10 вокруг оси интерференционной головки установить интерференционные полосы перпендикулярно границе раздела пленкина доследуемой поверхности.5. При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны бытьодновременно видны исследуемая поверхность и интерференционные полосы;изогнутые в местах, где проходят канавки, царапины, неровности, граница плевкина подложке, причем, интерференционные полосы необходимо ориентироватьперпендикулярно к направлению царапин или границы.
Для определения неровности необходимо измерить интервал между полосами N1 и N2, изгиб полос N3 иN4 и вычислить высоту неровности. Интервал между полосами определяется числом делений шкалы барабанчика окулярного микрометра 3 (MOB-1-15). На рис.2показан вид узкой полоски зрения прибора в увеличенном масштабе я указаноправильное расположение горизонтального штриха перекрестия винтового окулярного микрометра при измерении. Первый отсчет N1 производится по шкаламМОВ-1-15 при совмещении одной из нитей перекрестия подвижной сетки с серединой полосы. Затем совмещают эту же нить перекрестия о серединой следующейполосы (либо с серединой любой другой полосы в этом случае необходимо зафиксировать число интервалов n); таким образом, получают второй отсчет N2. Изгиб полос также выражают в делениях шкалы барабанчика MOB-1-15.
Одну изнитей перекрестия сетки микрометра совмещают с серединой полосы и по шкалеMOB-1-15 отсчитывают значение изгиба. Затем нить перекрестия совмещают осерединой той же полосы в месте изгиба и получают второй отсчет N4.Рис.2. Изображение поля зрения в МИИ-4 и пример измерения отсчетов при n=2При работе в белом свете искривление в одну интерференционную полосу соответствует высоте неровности на исследуемой поверхности, равной 0.27 мкм. Высотанеровности Н (в мкм) вычисляется по формуле:15http://ftemk.mpei.ac.ru/ncsподготовлено В.А. Воронцовым 2003 e-mail: vlad@ftemk.mpei.ac.ruH = 0.27N3 − N 4nN1 − N 2где N1 - первый отсчет при измерении интервала между полосами; N2 - второй отсчет при измерении интервала между полосами; N3 - первый отсчет при измерениивеличины изгиба полосы; N4 - второй отсчет при измерении величины изгиба полосы; n - число интервалов между полосами.16.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
