В. И. Смирнов (987304), страница 27
Текст из файла (страница 27)
Ю. Готра. − М.:Радио и связь, 1991. − 528 с.4. Ефимов, И. Е. Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность / И. Е. Ефимов, Ю. И. Горбунов, И. Я. Козырь. − М.: Высш.шк., 1986. − 463 с.5. Иванов − Есипович, Н. К. Физико-химические основы производстварадиоэлектронной аппаратуры / Н. К. Иванов − Есипович. − М.: Высш. шк.,1979. − 328 с.6. Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем / А. И.
Курносов, В. В. Юдин. − М.: Высш. шк.,1986. − 368 с.7. Парфенов, О. Д. Технология микросхем / О. Д. Парфенов. − М.: Высш.шк., 1986. − 320 с.8. Пичугин, И. Г. Технология полупроводниковых приборов / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров . − М.: Высш. шк., 1984. − 288 с.9. Сугано, Т. Введение в микроэлектронику / Т. Сугано, Т.
Икома,Е. Такэиси. − М.: Мир, 1988. − 320 с.10. Таруи, Я. Основы технологии СБИС / Я. Таруи. − М.:Радио и связь,1985.− 480 с.11. Тилл, У. Интегральные схемы: материалы, приборы, изготовление /У. Тилл. Дж. Лаксон. − М.: Мир, 1985. − 501 с.12. Черняев, В.
Н. Технология производства интегральных микросхем имикропроцессоров / В. Н. Черняев. − М.: Радио и связь, 1987. – 463 с.13. Черняев, В. Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА /В. Н. Черняев. − М.: Высш. шк., 1987. − 376 с.111Учебное изданиеСМИРНОВ Виталий ИвановичФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХСРЕДСТВУчебное пособиеКорректор ………………..Подписано в печать …………...Формат 60×84/16.
Бумага писчая. Печать трафаретная.Усл. печ. л. 6,3. Уч. изд. л. 6,0.Тираж 150 экз. Заказ …..Ульяновский государственный технический университет432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.Типография УлГТУ, 432027, Ульяновск, Северный Венец, 32.112.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
