ДЗ по Панфилову (953830)
Текст из файла
Метод нанесения тонкой плёнки АСО (Атомнослоевое осаждение) CVD Поток частиц Материал V0 (нм/с или нм/цикл) N0 Al2O3 0,16..0,33 Al2O3 0,03..0,08 Al2O3 0,01..0,3 Al2O3 до 0,1 Al2O3 0.0926 Si Si TaCl5 TiO2 TiCl4 Si SiО2 60..120 70..100 Энергия частиц Eч, эВ Еч дж Подложка Тподл. К 473..873 573..873 473..673 323..773 473..673 600..850 900..1250 28 10..20 250..900 1030 600..650 350..500 Подложка Еп, эВ ЕчN0 Давление, Па 1..10 кПа 0,1..10 кПа 0,1..10 кПа 1..10 кПа 25..150 Па 0,1..100 Па 25..100 Па 133 Па Источник https://ru.wikipedia.org/wiki/Атомно-слоевое_осаждение http://www.beneq.com/ru/atomno-sloevoe-osazhdenie.html http://www.picosun.com/binary/file/-/id/3/fid/269/ https://ru.wikipedia.org/wiki/Химическое_осаждение_из_газовой_фазыт http://www.itp.nsc.ru/articles/Populjarno_o_nanotehnologijah.html http://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=1552 http://onlinelibrary.wiley.com/journal/10.1002/(ISSN)1521-3862 http://www.richterprecision.com/cvd-coatings.html http://www.innovateus.net/science/what-chemical-vapor-deposition http://www-inst.eecs.berkeley.edu/~ee143/fa10/lectures/Lec_13.pdf .
Характеристики
Тип файла таблица Excel
Файлы этого типа подразумевают таблицы Excel. Таблицы нужны не толькод для хранения данных, но и для работы с ними. С их помощью можно проводить любые вычисления. Благодаря их универсальности, они часто используются в качестве баз данных на начальном этапе множества процессов. Здесь также можно строить различные графики и диаграммы, что делает Microsoft Excel, Google таблицы и другие подобные программы мощнейшими инструментами для расчётов.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
