2-348-1399895553-29.-ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnese nnoy (782370)
Текст из файла
29. От чего зависит величина дозы привнесенной дефектности поверхностиполупроводниковой пластины, находящейся в чистом производственном помещении?Таким образом, дозу привнесенной дефектности можно рассчитать по следующейформулеDj= 7 , 8 2 9 • 1 0 −4 • 1 0 m γос. jVламd− 2 ,1 7jt,где dj, мкм; Vлам, м/с; Dj, шт/см2.эмпирический коэффициент γос.j, зависящий от диаметра микрочастиц и равныйотношениюγос.
j= VjV ламVлам – скорость ламинарного потока воздухаdj - размер осаждающихся на подложку микрочастицt – время нахождения изделия в ЧППm – класс чистоты помещения.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.