2-340-1399895046-21.-vidy-elektronno-luchevoy-obrabotki (782356)
Текст из файла
21. Виды электронно-лучевой обработки материалов и области применения.3. Параметры электронных пучковДиаметрПлотностьВид электронно-лучевой Энергияобработкиэлектронов Ee,пучка dл, мм мощностикэВpe, Вт/см2-5-2Нетермическое20 – 25010 - 1010-2 - 105воздействиеХимическоевоздействие20 – 500010 - 30010 - 3.103ПлавкаИспарение15 – 4010 – 4010 - 502 - 30103 - 1042.103 - 2.104СваркаРезание15 – 17520 – 15010-1 - 65.10-3 - 10-18.104 -107105 - 1010Физические эффекты в объеме твердого тела, возникающие в результате проникновенияэлектронного пучка вглубь материала, делятся нанетермические и термические. К первымотносятся ионизация атомов мишени, возбуждение фононных колебаний, образованиедислокаций и радиационных дефектов, активация химических реакций и увеличениепроводимости полупроводников и диэлектриков; ко вторым - плавка, испарение, сварка иразмерная обработка (прошивка отверстий, пазов, профилирование и т.п.).Из нетермических эффектов наибольшее применение нашло изменение структуры исвойств материала электронорезиста при облучении его остросфокусированным электроннымпучком с энергией 20 – 30 кэВ.
В электронно-лучевой литографии в качестве резистаиспользуются органические материалы, которые при взаимодействии с ускореннымиэлектронами либо полимеризуются (образуются более крупные молекулы), либо в нихпроисходит деструкция материала (распадение на более мелкие молекулы).Применение:•••••Электронно-лучевая сварка в вакууме;Нанесение тонких пленок;Резание;Плавка.Использование в электронных микроскопах(возможно не стоит писать, т.к.
это неотносится к обработке изделия)Основные достоинства электронно-лучевой обработки:•••Универсальность (обработка, измерение);Экологическая чистота (высокий вакуум);Управляемость (энергия, фокусировка, модуляция, отклонение луча, малаяинерционность, высокая скорость обработки и локальность воздействия ..
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.














