2-338-1399894303-19.-kakim-obrazom-formiruyutsya-puchki-ionov-tipy-ionnyh-pushek (782352)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

19. Каким образом формируются ионные пучки, типы источников ионов?Формирование пучков ионов осуществляется с помощью источников ионов,которые состоят из разрядной (ионизационной) камеры, источника электронов(нагреваемого термокатода, холодного или полого катода), анода, магнитной системы (дляповышения эффективности ионизации), экстрагирующего электрода и электродапервичной фокусировки, системы подачи рабочего газа или пара. Ионные источникидолжны генерировать однородные высокоинтенсивные пучки со стабильными вовремени параметрами и многозарядные ионные пучки, обеспечивать предельнуюплотность ионного тока при максимально низких экстагирующих напряжениях,ионизировать газообразные (Ar, N2, O2, BF3, PCl3, AsF3, AlCl3 и т.п.) и твердые (B, As, Sb,Al, Ti и т.п.) вещества, формировать ионный пучок заданного сечения, быть простыми вуправлении и обладать большим временем наработки на отказ катода и всего источника.Т.к. обеспечить в одном источнике все перечисленные требования невозможно,применяют различные его типы, основными из которых являются автономные источникиионов с горячим, холодным или полым катодом, дуоплазмотроны, источники с ВЧ- иСВЧ-возбуждением, источники с поверхностной ионизацией и др.В источниках ионов с горячим катодом в качестве источника электроновиспользуются катоды прямого накала или с косвенным подогревом.

Эти источникибывают с экстракцией ионов вдоль оси разрядной камеры и коническим пучком илиперпендикулярно оси разрядной камеры через отверстие прямоугольной формы и пучкомионов в виде узкой ленты. Основным достоинством таких источников являетсявозможность получения высокоинтенсивных пучков ионов, а главным недостатком –быстрое разрушение термокатода при использовании химически активных рабочих газов.Автономные источники ионов с холодным катодом и разрядом Пеннинга содержатцилиндрический кольцевой анод, размещенный между параллельно расположеннымикатодом и антикатодом.

Ионы вытягиваются из плазмы самостоятельного газовогоразряда через отверстие в антикатоде и ускоряются системой экстракции. Благодаряналичию соленоида источник обладает высокой эффективностью ионизации (до 1014ион/см3), срок службы катода превышает 1000 часов. Недостатком такой конструкцииявляется низкая сила тока пучка ионов (до 100 мкА), большая пульсация тока ивозможность использования только газообразных рабочих веществ.Типовой жидкометаллический источник ионов состоит из двух электродов: острияанода и заземленного экстрактора, между которыми приложено напряжение порядка 4 –10 кВ. Острие выполнено в виде тонкой вольфрамовой трубки с капиллярным отверстиемдиаметром 50 мкм, через которое поступает жидкий металл.

При давлении внутри иглыпорядка 1 МПа и наличии электрического поля высокой напряженности (порядка 1010В/м) на конце капилляра образуется выступ жидкого металла в виде конуса, с вершиныкоторого эмиттируется расходящийся пучок положительных ионов..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи