2-328-1399893629-9.-klassifikacmya-i-suschnost-travleniya (782337)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

9. Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травлениямикроструктур.Ионно-плазменное травление (ИПТ)Ионное травление —удалениевещества с поверхности твёрдого телаАтомно-лучевое травление (АЛТ)поддействиемионнойбомбардировки (инертным газом).Реактивное ионно-плазменное+Процессионного травления зависиттравление (РИПТ)от интенсивности пучка,вида,Ионнохимическое Реактивное ионно-лучевоеэнергии и угла падения ионов, атравлениетравление (РИЛТ)также от материала и состояния(ИХТ)Реактивное атомно-лучевоемишени.В процессе ионноготравление (РАЛТ)травления вследствие распыления,дефектообразования,имплантацииГазовое травление (ГТ)ионов и атомов отдачи меняютсяХимическоетравлениеРадикальное травление (РТ)элементный состав и структура(ХТ)2поверхности:1происходитПлазмо-химическоетравление (ПХТ)обогащение поверхности отдельнымэлементом, кристаллизация или аморфизация поверхностного слоя.Ионноетравление(ИТ)Ионно-лучевое травление (ИЛТ)Химическое травление – процесс взаимодействия химических реагентов споверхностью обрабатываемого материала.Ионно-химическое травление — совместное воздействие распыления ихимической реакции.

ИХТ осуществляют в тех же установках, что и ионноетравление, только в качестве рабочего используют не инертный, а химическиактивный газ.Наименьшей селективностью травления и наименьшей погрешностьюразмеров обработки обладает ионное травление ("ИТ"); наибольшуюскорость травления и наименьший нарушенный слой обрабатываемойповерхности можно получить при химическом травлении ("ХТ"); наилучшимсочетанием точности обработки и производительности оборудованияобладает ионно-химическое травление ("ИХТ")..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи