3 (779655)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Варианты технологии TSVVia-first approach1) Формирование отверстийи заполнение их проводником2) Формированиефункциональных элементови разводкиVia-middle approach1) Формированиефункциональных элементовVia-last approachAfter bondingBefore bonding2) Формирование отверстийи заполнение их проводником1) Формированиефункциональных элементови разводки1) Формированиефункциональныхэлементов и разводки2) Формирование отверстийи заполнение их проводником2) Соединение кристалловв пакет3) Травление подложкии вскрытие контактов3) Травление подложки3) Формирование разводки3) Травление подложкии вскрытие контактов4) Травление подложкии вскрытие контактов4) Соединение кристалловв пакет5) Соединение кристалловв пакет4) Соединение кристалловв пакетФормирование отверстийBosch процесс(Реактивное ионное изотропное травление)а) Нанесение маскирующего слояи травление на небольшую глубинуb) Нанесение промежуточного SiO2c) Травление на небольшую глубинуd) После некоторого числа повторенийполучается подобная структураТехнологияСкорость: вплоть до 10 мкм/минНеравномерность: < +/- 2/ 3 % (4/ 6“)Аспектное соотношение вплоть до 30 : 1Контролируемый профиль стенокВысокая селективность к резисту (> 75:1) и SiO2 (> 150:1)4) Формированиеотверстий и заполнениеих проводникомСхема установки.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы