«Установка Реактивно-ионного травления МВУ РИТ150»

Москва, 2011 г.

Реферат

В курсе разработка системы автоматического управления была разработана система автоматического управления установки реактивно ионного травления.

Графическую часть проекта составляют 5 листов формата A1, выполненных в среде 2D/3D компьютерного моделирования AutodeskAutoCad 2010 и AdobeIllustratorCS5.

Расчетно-пояснительная записка выполнена в среде MicrosoftWord 2007 и содержит 30 страниц, 4 таблиц и 13 рисунков.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Введение

В курсовом проекте была проведена автоматизация установки МВУ РИТ. В ходе работы была разработана комплексная принципиальная схема, процессная модель установки, а так же была разработана схема соединений.

Установки предназначена для травления тонких диэлектрических (SiO₂, Si₃N₄) и металлических слоев (Мо, Ta, W и др.), а также Si, для проведения научных исследований, отработки технологических процессов и мелкосерийного производства.

Рис. 1. МВУ РИТ

1 –– газовый блок; 2 –– рабочая камера; 3 –– шкаф управления; 4 –– крепление газового блока; 5 ––рама; 6 –– монитор; 7 –– насос пластинчато-роторный; 8 –– плита.

Технические характеристики:

·Диаметр пластин - 60÷150 мм

·Количество одновременно загружаемых пластин: Ø 150 – 1шт;Ø 100 – 1шт;Ø 75 – 2шт;Ø 60 – 4шт.

·Технологические газы – SF₆, СF₄, C₃F₈, O₂, Ar.

·Остаточное давление в камере реактора, не хуже, 5*10^{-3 мм.рт.ст.}

·Регулируемое натекание рабочих газов в объем реактора в диапазоне расходов, 0,36÷9л/час.

·Рабочее давление в реакторе поддерживается в диапазоне, 2·10^-2÷8·10^-2 мм.рт.ст.

·Мощность ВЧ генератора в диапазоне, от 30 до 200 Вт (±5%).