Курсовая работа: САУ установки контактного размножения металлизированных фотошаблонов ЭМ-583

Этот курсовой проект сдавался в 1999-м году

Оглавление.

1.Задание…………………………………………………………..стр.1

2.Аннотация……………………………………………………... стр.1

3.Описание процессной модели……………………………….. стр.1

4.Описание комплексной принципиальной схемы………….. стр.1

5.Выбор сервисных процессов……………………………….… стр.1

6.Выбор процессов коррекции цели…………………………… стр.1

7.Технические задания на элементы и узлы машин………… стр.1

8.Описание контроллера. (Описание работы

предложенных к проработке элементов САУ)……………… стр.1

9.Заключение……………………………………………………. стр.1

10.Список литературы………………………………………… стр.1

1. Аннотация.

В данном курсовом проекте рассматривается автоматизация установки контактного размножения металлизированных и эмульсионных фотошаблонов ЭМ-583. Была разработана система автоматического управления, которая позволяет:

• Автоматически осуществлять процессы связанные с включением установки и выходом ее на режим;
• Контролировать необходимый прижим эталонного и рабочего фотошаблонов;
• Выдерживать заданное время экспонирования и осуществлять автоматическую разгерметизацию механизма прижима после экспонирования;
• Вмешаться оператору в любой момент рабочего цикла и вернуть установку в исходное положение (Закрытые шторки осветителя, разгерметезированный средний объем камеры механизма прижима)

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены циклограмма работы установки, алгоритм рабочего цикла установки и таблица операций. На втором листе приведена механическая комплексная принципиальная схема (КПС) установки и таблица привязки потоков энергии. На третьем листе приведена комплексная принципиальная схема (КПС) установки на уровне управляющих сигналов и соответствующая ей таблица привязки. На четвертом листе приведена принципиальная схема микроконтроллера.

В расчетно-пояснительной записке описано назначение установки. Технология разделена на процессы. Описана комплексная принципиальная схема (КПС) установки. Описана принципиальная электрическая схема и работа установки. Произведены необходимые расчеты.

Описание процессной модели.

Установка предназначена для изготовления рабочих фотошаблонов методом копирования с эталонного фотошаблона. Помимо основного назначения ее можно использовать для экспонирования пластин с нанесенным на них фоторезистом с целью получения скрытого изображения.

Работу установки можно разделить на следующие основные процессы:

• Включение установки в сеть. Включение блока питания и блока управления.
• Поджиг лампы.
• Выход на режим (15мин).
• Установка оператором эталонного и рабочего фотошаблонов.
• Прижим рабочего фотошаблона к эталонному.
• Процесс экспонированния.
• Разгерметизация.

При использовании автоматизированной системы управления Включение в сеть а также включение блоков питания и управления осуществляется при нажатии оператором кнопки ПУСК. После включения производится в автоматическом режиме поджиг лампы путем подачи на нее кратковременно высокого напряжения. Затем

установка в течение 15 мин выходит на режим и по окончании этого времени дает сигнал оператору о готовности. Оператор устанавливает сначала эталонный фотошаблон в приспособление для прижима (рис.1).

Рис.1 Механизм прижима

При нажатии кнопки ПРИЖИМ ЭТАЛОННОГО Ф/Ш происходит откачка верхнего объема механизма прижима и эталонный фотошаблон фиксируется. Точно также происходит фиксация рабочего фотошаблона. Если оператор решит что фотошаблон закреплен неровно то он может расфиксировать его нажав кнопку НАПУСК, и затем произвести фиксацию повторно. После фиксации ф/ш оператор закрывает верхнюю часть механизма прижима. При этом срабатывает конечный выключатель и начинается откачка среднего объема. Вследствие разницы давлений рабочий ф/ш прижимается к эталонному и тем самым обеспечивается требуемая сила прижима, устраняющая зазор между ф/ш. Как только в средней камере давление достигает 0.2*Р_А начинается экспонирование в течение времени, заданного на пульте управления. После окончания времени экспонирования подается сигнал закрывающий шторки осветителя и производится напуск в среднюю и нижнюю камеру. В результате этого появляется возможность открыть механизм прижима и вынуть готовый рабочий фотошаблон. На первом листе показана циклограмма работы установки.

Критерии начала и окончания рабочих процессов следующие:

• Поджиг лампы: критерий начала - включение установки в сеть, включение блока питания и блока управления; критерий окончания – включение лампы ДРШ-350, при этом амперметр показывает некоторую силу тока , протекающего через лампу (в выключенном состоянии сила тока равна нулю)
• Выход на режим: критерий начала – поджиг лампы ДРШ-350; критерий окончания – по истечении 15 мин с момента поджига лампы
• Установка фотошаблонов: критерий начала – нажатие оператором кнопки ПРИЖИМ; критерий окончания – давление в верхней или нижней камере равно 0.2*Р_А
• Прижим фотошаблонов друг к другу: критерий начала – замыкание конечного выключателя вызванное плотным закрытием верхней половины механизма прижима; критерий окончания – давление в средней камере 0.5*Р_А
• Экспонирование: критерий начала - давление в средней камере 0.5*Р_А; критерий окончания – по истечении времени экспонирования, заданного на пульте управления
• Разгерметизация: критерий начала – окончание времени экспонирования

1. Описание комплексной принципиальной схемы.

Установка совмещения и экспонирования состоит из следующих функциональных блоков:

• Блок управления
• Блок питания
• Механизм прижима фотошаблонов
• Осветитель
• Система охлаждения
• Панель пневмооборудования
• Система подсветки
• Механизм подъема
• Насос

В механизме прижима откачивается 3 камеры. К каждой из них подсоединен датчик давления (Р1,Р2,Р3) который при достижении заданного давления подает сигнал на микроконтроллер. Значение давления для каждого датчика устанавливается в процессе наладки. К каждой из камер подводится магистраль откачки и напуска. Управление откачкой осуществляется клапанами VA1..3.