Прозрачные пленки полупроводниковых оксидов n-типа проводимости (1268216)
Текст из файла
Прозрачные пленки полупроводниковых оксидов n – типа проводимостиМартынова Наталья АлександровнаНаучный руководитель: к.х.н., доц. Григорьева А.В.Рецензент: к.х.н., доц. Васильев Р.Б.Прозрачные проводящие оксиды, такие как оксид индия-олова (ITO), ZnO, SnO2 (в англ.литературе - transparent conductive oxides – далее TCO), имеют высокий коэффициент пропусканияв видимой области в сочетании с хорошей проводимостью, чем привлекают внимание ученых ужена протяжении 50 лет, и в последнее время актуальными задачами являются применение пленокданных оксидов для использования в энергосберегающих отраслях промышленности, а именно всолнечных элементах, а также в качестве электродов в плоскопанельных дисплеях, экранах сэлектромагнитной защитой, сенсорных панелях управления, окнах с низким коэффициентомизлучения и т.д.
В настоящее время в качестве материалов для прозрачных электродов используютITO, однако в связи с высокой стоимостью индия поиск альтернативных прозрачных проводящихпокрытий является актуальной задачей. Материалы на основе допированных ZnO и SnO2 являютсяизвестной альтернативой ITO.
Также актуальными задачами является совершенствованиепромышленных технологий и лабораторных методов получения таких допированных пленок,повышение эффективности имеющегося оборудования для нанесения пленок на подложкибольшой площади и детали со сложной развитой поврехностью с хорошей воспроизводимостью, свысокой степенью однородности.Наиболее распространенными методами получения пленочных ТСО являются: пиролизраспылением, металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы (MOCVD),металлоорганическое молекулярно-лучевое осаждение (MOMBD), импульсное лазерноеосаждение (PLD), магнетронное распыление, ионно-лучевое распыление, термоэлектроннаяэмиссия, плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (PECVD) и другие.
Процесснапыления очень неэффективен, и только около 30% материала мишени доступны для осажденияна подложке.Среди методов получения следует выделить электрохимическое осаждение. Данныйподход обладает рядом преимуществ, а именно: возможностью достижения приближающейся к100 % степени заполнения пустот требуемым веществом, проведением синтеза при комнатнойтемпературе, что исключает растрескивание образцов вследствие термической усадки, а такжевозможностью мониторинга процесса электроосаждения методом хроноамперо/кулонометрии.При этом толщину формируемой структуры можно прецизионно контролировать путемварьирования заряда осаждения, так как рост осаждаемого материала происходит снизу вверх.В докладе будут рассмотрены свойства прозрачных проводящих пленок оксидов ZnO,SnO2, ITO, их методы получения, представлен обзор по новым устройствам, в которыхприменяются данные пленки.
Кроме того, будет уделено внимание схеме работыфотовольтаических ячеек, рассмотрены требования к их функциональным слоям, представленыновые направления по оптимизации состава и геометрии прозрачных полупроводящих контактов сточки зрения повышения эффективности устройств.
Отдельное внимание будет уделенорельефным и периодическим прозрачным электродам и инвертированным структурам на ихоснове, показаны преимущества структурированных материалов при использовании в общейконструкции солнечной ячейки, рассмотрены их оптические и электрические свойства, а такжепредложены новые подходы для создания новых функциональных слоев в фотовольтаическихустройствах с периодической структурой и развитой площадью поверхности с целью повышенияэффективности солнечных ячеек..
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.