4 ЛР (1244532)
Текст из файла
•московский rосvдаоственный технический университет им.н . э. Бауман~•Кафедра ИУ-4« Проектированиеи технология производства ЭА»Журнал••лабораторных работпо курсу: «Физико-химические основымикро- иVнанотехнологии»..Для студентов приборостроительных специальностей20 м•учебный rод. t1... fJ п.Студент ~/~ ,JJUlvЬ Иf!ttPvГ ()~-Группа(фамилия, и.
о.)Преподаватель ?rottt {(Af Cf /J; ./7. Допуск к экзамену (зачету)_(фамилия, и. о . )...'(число)Подпись.__ __.•, )tfl__·"'••••н/ J.. \Москва2018•.•Отчет по лабораторной работе №«ФОРМИРОВАНИЕ ВАКУУМНОЙ СРЕ [lЪI И ИЗМдатаОценка•4ЕРЕНИЕ ЕЕ ПАРАМЕТРОВ»подпись(max 5)i!.••••п,.1. Краткий конспект теоретической части (отвметодического пособия)еты на контрольные вопросы•••~1i·••5.•6.•(1•••12t1t:~~~ ~лf}ftY~ 1 } ~ ~13..L- - --j() ~••~ rk « ~ tw(.-t,t,{,{-М. uii,9- ·ЖА tцц,,L,хо .'•- - --•1J2. Рисунок или фотография вакуумной установки МANTIS или ВУП-SМ-_-_-_-_-_-_г--.--__ь.:--- _-_-_-_-_-_ -_-_- _-:_-_-_-_-_-_-_- _-_-_-_-_- _-_-_-_- _-_-_-.....,...,._-.
- ,,- _-_--_- _-_-_-_- _- _-_-_-_-_-_--:_-_-_-_-_- _-_-_--:_-_--' -;__-_-_-_-_-_ -_-_' [:].·~,·w..- ~~·, ,"')::1[-~.;.__,_.'411_;;1·•·•.·t· l0-~11__,·-L" -....!!_J•.(i.,.,•·•..'!lt'1..f.l~•------- -~--~-,~·--- ---- ---------- -- --- -..~.1••3. р•~-вoii.: сте8.]а д.ш1 ■сслt.:1овап11 прuцесса по.тучеваява~j1·ма..0k,r-,ruz,11Н><16.,,-,yo,IC,"* '~<;•/:.с.( «,,,~71"•1·~11li---•: ..... ,f~'~•..•••.';.,....ff••.,•1't,•..5. Таблица с экспериментальными и расчетными данными•- ., r /\ТаблицаN°- 1 .
Изменение давления от времени для объема Vl - 1J.№ппВремяt, сДавление Р,tg(A)мм.рт.ст123о';/ Чf19 0;.l._бil..;44567891011l,';1-.2.{'+ч ,f.§)4616f ol4 'Sf 3/,j ? чц ':> 'у10и.r;.3 -?3332•Быстрота откачю1 насосаSн, л/с() or.3~1{5?{:у , 1/ со~рч6 оj1Ч.9112. f, J:z1,(Производительность насосаQ, мм рт.
ст. · л./с••о ()ь/00(!,J5 о39Of 00 О:/ ? .l!.J1.2,о 1?4,;__ ь1tJ, 0 ,(Ч1.? OltY.z. ,;,,rп.О, О -3 §lt ,tl, 0-j fI Ь01 7-rJ,- . Изменение давления от времени для объема V2 ;; 1ЛТаблицаN°2Nопп__ ,Время t, с ..ДавлёниеР,tg(A) --Q,мм.рт. ст12о3456789-Ч~~- i66 +)оI.?Jr{ l._ll9о<. 6101140мм рт. ст.·.;.J;1)r;..
r!U[r~ (,LJJ ч r/о,014 О/ '((,,lj,l_J /,/, 13~ goЦ fоil oр( ч"J5· л./сБыстрота откачки насоса -•tJ.о. I:;'/Р,,!.2fJ б ~о, ои ч'f1), О,(~ц(J,/11.W' г•QI1.( 0о(-·Sн, л/сОlfь3' 1 .,•Производительность насоса••o,2..f'o,rtJ(} 0 1.rТаблица№З- . Изменение давления от времени для объема VЗ№пп'jВремяt, сДавление Р,мм.рт.ст1234567891011tg(A)Производительность насосаБыстрота откачки насосаQ, мм рт. ст. · л./сSн, л/с•••.•.••••r•6. Экспериментальные графики••soo ({ /'fft rr.c,т.11,7SO700650600trssosoo•4S0•fl•400о246810t.,e,800 Р, 1111 f 1'. С7~1{750700бSО600fj550soo•450••-400102040Ю1- ~1~~,_ . _,,1,f'I••••V''"'1/.,,.~••••.,'•1•Контрольные вопросы1.2.3•4.5.Что такое вакуум?6.Что такое производительность насоса? Для чего необходимо знать7.8.9.10.11 .12.13.Назовите типы насосов, применяемых для получения вакуума?В каких единицах измеряется вакуум?Какие средства измерения разряжения?В чём различие схем получения низкого и высокого вакуума?Перечислите свойства вакуума (с позиции реализации в нем технологическихпроцессов) :производительность насоса?Для чего применяется форвакуумный насос?Для чего применяется турбомолекулярный насос?Из каких основных узлов состоит установка МANТIS?Какие технологические операции выполняются на установке МANTIS? ·Из каких основных узлов состоит установка ВУП-SМ?•Для чего используется установка ВУП-SМ?.'••.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.