14-04-2020-СОВР-ТЕХНОЛОГИИ-ПРОИЗВ-РЭА-ТРЕТЬЯКОВ (1171921), страница 17
Текст из файла (страница 17)
Такое положение дел обусловлено только тем, что в технологии«ложе гвоздей» подпружиненные зонды размещаются неподвижно, а втехнологии «подвижные зонды» они находятся в движении как сверху платы,так и снизу.Контроль с адаптером более производительный, чем контрольподвижными зондами, однако недостатком "адаптерного" контроля является то,что для каждой платы требуется свой адаптер. Этот отрицательный аспектликвидируется путём создания универсальных адаптеров, на которомрегулярно просверлены отверстия с определённым шагом.Сетчатые тестеры.Также для контроля печатных плат применяются универсальныесетчатые тестеры. Они способны производить электрический контрольодиночной или двойной плотности контрольной точки. Сетчатые тестерыобладают высокими скоростью и производительностью вплоть до 1000 плат вчас. Они подходят для контроля плат больших серий.
Характернойотличительной чертой большинства сетчатых тестеров является ихэксплуатационная гибкость и универсальность, достигаемые посредствомварьирования зон контроля и свободой выбора адаптера. Наиболее интереснойдеталью, улучшающей их работу с высокой точностью,- это свободный доступк верхней и нижней сторонам зоны контроля с вариантом поворота рабочей(верхней) стороны зоны контроля и автоматический самоконтроль.Подвижные зонды.Технология контроля печатных плат подвижными зондами облегчаетпроведение контроля и ликвидирует необходимость в контроле с адаптером.Помимо сохранения времени и стоимости в контроле печатных плат, онапредусматривает единственный метод проведения контроля точностигеометрической схемы платы с контактными площадками в 2 мил и шагом в 3мил.93Фирмы, занимающиеся проведением электрического контроля, достиглизаметных успехов в совершенствовании этой технологии.
Фирма ECT, котораязанимается разработкой оборудования для подвижного контроля с 1981 года,выпускает в настоящее время целый ряд установок зондового контроля. Внастоящее время широко распространено производство систем контролялинейными зондами, которые способны работать с промышленнойпроизводительностью.Фирмой ECT разработана полностью автоматическая установка проверкипечатных плат. Эта система специально предназначена для поиска труднонаходимых ошибок и опасных участков.9410. Современное оборудование для изготовления радиоэлектроннойаппаратурыВ качестве примера рассмотрим Вакуумный Универсальный Пост (ВУП4).
Будут рассмотрены основные его узлы, назначение и принцип действия.Вакуумный универсальный пост ВУП-4 предназначен для осуществленияопераций электронно-микроскопического препарирования, связанных сраспылением в вакууме. Прибор может быть использован для металлизацииматериалов в вакууме, нагрева и охлаждения исследуемых образцов, очисткиобразцов и распыления материалов с помощью ионной бомбардировки.Установка за один прием позволяет напылять несколько слоев различныхметаллов (до пяти) различной толщины каждый. Внешний вид установкипоказан на рисунке 10.1.Рис. 10.1.
Внешний вид установкиВУП-4 состоит из правой вакуумной (1) и левой электрической (2) стоек.В вакуумной стойке в верхней части установлен столик 5 для вакуумногопрепарирования. Справа и слева от столика расположены наклонные 6,4 игоризонтальные 7,3 пульты управления.На рисунке 10.2. показано основание установки.Рис.
10.2. Основание установки95Все операции по приготовлению образцов производятся в рабочемобъеме, образуемом основанием и колпаком.Основание с установленными на нее образцами, на которые необходимонапылить никель. Два кронштейна (анод и катод) удерживают вольфрамовуюпроволоку, на которую наматывают необходимое количество металла.
Припропускании тока вольфрам нагревается и никель под действием внутреннегодавления равномерно распыляется.Маятниковое устройство (рис. 10.3) предназначено для получения вовремя напыления равномерного по толщине слоя по всей площади объекта. Сэтой целью столик с объектами совершает одновременно равномерноевращательное и поступательное движение.Рис. 10.3. Маятниковое устройствоУстройство для ионного травления (рис.
10.4) устанавливается в гнездо.Устройство представляет собой разрядную камеру, состоящую из основания 5,стеклянного цилиндра 4, с анодом 2 и штуцера 6. Столик 3, являющийсякатодом, охлаждается с помощью жидкого азота. Температура охлажденияможет регулироваться путем нагрева спирали 7 и измеряется термопарой 8.Термопара выполнена из пары медь - константан.Напуск газа в разрядную камеру производится через систему напуска потрубке 12.Сопрягаемые детали разрядной камеры притерты между собой и приработе давление в ней будет поддерживаться более высокое, чем в рабочемобъеме. Поэтому газовый разряд происходит только в разрядной камере.Для откачки газа из разрядной камеры перед ионным травлениемпредусмотрен клапан 9, с помощью которого производится тонкая регулировкадавления в разрядной камере.96Анод соединен с высоковольтным вводом проводом 1.Рис.
10.4. Устройство для ионного травленияДатчик толщины (рис. 10.5) устанавливается в рабочем объеме и являетсяиндикатором толщины напыляемого слоя. Датчик состоит из корпуса 6, вкотором расположены источник света 1, светопроницаемая пластина ифоторезистор 5. Диафрагмы 4 и полости 3 образуют световую ловушку, котораяулавливает отраженные лучи от испарителя и таким образом уничтожаетвлияние засветки.Вакуумная блокировка (рис. 8.82) предназначена для автоматическогоотключения напряжения высоковольтного выпрямителя при напуске газа врабочий объем до давления, равного атмосферному.Штуцер 1 блокировки вставляется в грибковое соединение столика.
Приатмосферном давлении в рабочем объеме сильфон 3 находится в нормальном(разжатом) состоянии и размыкает контакты микропереключателя 6. Приоткачкерабочегообъемасильфон3сжимаетсяиконтактымикропереключателя 6 замыкаются.97Рис. 10.5. Датчик толщиныРис. 10.6. Вакуумная блокировка98Вакуумная система состоит из следующих элементов: 1-рабочий объем;2-манометрически термопарный преобразователь; 3-вентиль откачки рабочегообъема на предварительный вакуум МВ2; 4-отсекающий вентиль МВ1; 5вакуумный механический насос; 6-вентиль откачки баллона МВ3; 7-баллон; 8высоковакуумный паромасляный насос; 9-манометрический ионизационныйпреобразователь; 10-высоковакуумный клапан; 11-винт напуска воздуха врабочий объем.Вакуумная система (рис. 10.7) предназначена для создания необходимоговакуума в рабочем объеме.
Создание вакуума происходит в два этапа. Вначалесоздается предварительный вакуум при открытом вентиле 3 и закрытомвентиле 6. После создания предварительного вакуума закрывается вентиль 3 иоткрывается вентиль 6. В результате работы высоковакуумного паромасляногонасоса достигается необходимое давление под колпаком.Рис. 10.7. Вакуумная системаУправление и контроль за работой прибора производится с пультовуправления (рис.
10.7 а, б).В правом пульте размещена схема блока измерения вакуума и схемаблока управления вакуумной системой.Блок измерения вакуума предназначен для измерения остаточногодавления в рабочем объеме прибора.При измерении остаточного давления выше 0,133 Па (1*10-3 мм рт. ст.)используется манометрический термопарный преобразователь ПМТ-4М, наоснове которого строится термопарный манометр. Давление ниже 0,133 Паизмеряется с помощью ионизационного манометра, построенного на основепреобразователя ПМИ-2.99В левом пульте управления размещена схема блока управленияустройства для поворота и наклона объектов. Скорость и период вращенияустройства устанавливаются с помощью резисторов.Рис.
10.7. Пульты управления.Данная установка обладает достаточно обширными возможностями,однако не лишена и минусов, например, таких как:-невозможность напыления металлов на не термоустойчивые материалы;-невозможность напыления металлов на пористые материалы (из-завысокого вакуума).100Список литературы1.
Ахаганян Т.М., Интегральные микросхемы. Учебное пособие для вузов. -М.:Энергоатомиздат, 1983.2. Билибин К.И., Власов А.И., Журавлева Л.В. и др. «Конструкторскотехнологическое проектирование электронной аппаратуры». Учебник длявузов, под ред. Шахнова В.А. -М.:Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002.3. Коваленко А.А., Петропавловский М.Д., Тонкоплёночные элементы вмикроэлектронике. Основы проектирования и изготовления. - М.:Радиотехника, 2011.4. Медведев А., «Печатные платы. Конструкции и материалы». М.: Техносфера,2005.5. Медведев А., «Технология производства печатных плат».
- М.: Техносфера,2005.6. Пирогова Е.В., «Проектирование и технология печатных плат». Учебник. М.: ФОРУМ: ИНФА - М, 2005.7. Ханке Х, Фабиан Х., «Технология производства радиоэлектроннойаппаратуры». - М.: Энергия, 1980.8. Ярочкина Г.В., Радиоэлектронная аппаратура и приборы. Монтаж ирегулировка. - М.: Академия, 2011.101Миссия университета – генерация передовых знаний, внедрениеинновационных разработок и подготовка элитных кадров, способныхдействовать в условиях быстро меняющегося мира и обеспечиватьопережающее развитие науки, технологий и других областей для содействиярешению актуальных задач.КАФЕДРА ТЕХНОЛОГИИ ПРИБОРОСТРОЕНИЯКафедра технологии приборостроения относится к числу ведущихкафедр Университета ИТМО со дня его основания в 1931 году.