Справочник по электротехническим материалам. Под ред. Ю.В.Корицкого и др. Том 3 (3-е изд., 1988) (1152098), страница 96
Текст из файла (страница 96)
Из металлических плетенок изготовляют токоведу- Материалы для полупроводниковых приборов )2 13.3) таблица 13.!Б. Коэффициент теплопйоводности и температуршвй коэффициент линейного расширении некоторых сплавов в питом состоянии к, Вт.м '.К ', при температуре, 'С ап 10г, К Химический состав, Ж Наименование 100 150 25 28 32 37 22 23 40 ЗЗ 40 Таблица И.15.
Основные двииме медных плетенок не менее !О м, толшина 90 мкм, ширина 270 мм; прогиб фольги в отнерсгиях перфорации не более 50 кмк; стрела прогиба ленты в поперечном направлении не превышает 3 мм. Прочность сцепления фольги с диэлектриком 0,4 МПа. Стойкость к пайке при 300 'С равна 1О с. Упадка диэлектрика после стравливания фольги не превышает 0,5 %. Никель. Легко протягивается и механически. обрабатывается.
В атмосфере водорода поддается пайке твердыми (обычно серебряными) и мягкими припоями, хорошо сваривается. Механические свойства никеля зависят от чистоты его химического состава и пред- щие верхние выводы сильноточных полупрозодниновых приборов. Соединяют плетеные выводы с корпусом прибора пайкой или механическим способом. Лента ФЛП-П, изготовляемая нз полиэмидной перфорированной пленки с нанесенныи слоем адгезива и облицованная с одной стороны электролитической медью (медной фольгой).
применяется при механизированной сборке интегральных микросхем для выполнения рамочных выводов. Лента имеет ровную без посторонних включений и загрязнений поверхность. Наплыв адгезива в отверстиях перфорации не превышает 20 мкм. Ллииаленты РЬ вЂ” Ьт РЬ вЂ” 1п РЬ вЂ” 1п РЬ вЂ” 1п РЬ вЂ” 1п — В! РЬ вЂ” 1п — В1 1и — Аб '1п — Сб РЬ вЂ” 5Ь РЬ вЂ” 5Ь РЬ вЂ” 5Ь 5п — 5Ь 5п — 5Ь 5п — 5Ь 5п — !и РЬ вЂ” Ай— 5Ь вЂ” Сш РО 1п 20 1п 40 1п 60 1п 20 1п; !О 81 40 1п; !О ЬВ 3 Аб !О Сд 5 5Ь !О 5Ь 15 5Ь 5 5Ь !О 5Ь 15 5Ь 30 1п 3 А83 3 5Ь; 1 Па 29 20 22 22 16 !б 76 70 26 25 37 29 35 32 ЗЗ 21 23 24 ЗО 18 17 72 67 27 26 36 32 37 36 29 23 27 29 35 22 22 70 60 29 27 40 33 40 28 2,32 2,54 3,07 2,95 3,06 2,82 3,08 2,41 2,65 2,19 2,62 2,34 2,06 2,26 2,87 Материалы для электронных приборов )разд.
13) шествующих технологических операций обработки. Йля изготовления деталей корпусов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем используют никель марки НП2 в виде холодиокатаной ленты толщиной 0,1...2 мм и шириной до 300 мм, а также проволоки. Понерхиость лент и проволоки лолжна быть чистой. гладкой, без трещин, пузырей, расслоений, забоин, окалины и раковин. Из никелевой проволоки изготовляют плющенку, из которой выполняют наружные и внутренние выводы.
Никелевая проволока диаметром 0,03...12 мм изготовляется из никеля марок НП2, НПЗ и НП4, может быть отожженной !мягкой) или иеотожженной !твердой). Проволока имеет относительное удливение 25 об. Каждый тип проволоки имеет свое обозначение. Так, проволока мягкая из никеля марки НП2 диаметром 0,5 мм имеет обозначение МО, *НП2, а проволока твердая из крем нистого никеля марки НК2 ' диаметром О,! мм — ТО, 1НК2. Никелевые мелкоструктуриыс сетки— сеточные полотна размером 1ООХ!00 мм и толщиной !3 мкм с шагом сетки 100 мкм применяются для изготовления внутренних токоведуших соединений корпусов с кристаллами и омическими контактами.
Лента никелевая с полоской золота, получаемая методом прокатки, используется для изготоиления леталей корпусов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и обозначашся НЗ-0,2!Х35, где первая буква обозначает никель, вторая — золото; первая цифра соответствует толщине, а вторая — ширине ленты в мм. Толщина золотой полосы 6,0~2 мкм, а ширина 5 мкм. Расстояние золотой полосы от кромки ленты до центра полосы может быть 14,!6 и 17 мм. Блина ленты 20 и.
Изготовляется из никелевой ленты НПОЭ или НП!Э и золотой фольги Зл 999,9. Кривизна ленты при длине 0,5 и не превышает 0,5 мм. Из ленты можно вырубать детали и термически обрабатывать их при температуре 550 'С в течение 30 мнн. Лента никель-медь-никель НМН из мели и никеля вакуумной плавни используется для изготовления элементов корпусов полупроводниковых приборов и интегральных микроскем и выпускается толщиной 0,1...0,5 мм, шириной до 80 мм и длиной не менее 5 м.
Толщина никелевых слоев зависит от толщины медной ленты: при толщине медной ленты 0,1; 0,15; 0,2; О,З; 0,4 и 0,5 мм толщина никелевых слоев соответственно равна 15, 20, 30, 45, 60 и 75 мкм. Лента выдерживаег термообработку при 700...800'С в течение 3...5 мин. Серповидность ленты 3 мм на 1 и. Лента никелевая, плакированная полоской алюминия НА-0,25Х28, используется для изготовления деталей корпусов полупроводниковых приборов и выпускается длиной не менее 5 м, толщиной 0,2! и 0,25 мм и шириной 28, 32 и 36 мм, при этом в зависимости от ширины расстояние от центра полосы до кромки ленты соответственно равно !4, 16 и 18 мм. Толщина покрытия РЗ и 20 мкм, а ширина 7 мм.
Вольфрам. Механические свойства вольфрама зависят от его состава, кристаллической структуры, предыдущей механической и термической обработки и рабочей температуры (см. 4 !3.1). В производстве полупроводниковых приборов в качестве нагревателей для напылительных вакуумных установок используют вольфрамовые спирали.
Из вольфрама изготовляют также иглы для точечных диодов и зонды установок для измерения параметров полупроводниковых материалов. Для компенсации механичесних напряжений, возникающих в полупроводниковом материале при резких изменениях температуры вследствие разности термических коэффициентов линейного расширения кремния и крнсталлодержателя, с успехом используют напайку пластин кремния на кристаллодержатель через вольфрамовые диски. Сплав «элькоиайт» получают методом порошковой металлургии, пропитывая спрессованные вольфрамовые заготовки расплавленной медью, и выпускают в виде слитков цилиндрической формы диаметром 8, 28, 36 и высотой 16, 20 и 30 мм. Содержание меци 20...30 Зю Плотность 14 Мг.м .Молибден.
По своим свойствам похож на вольфрам, яо гораздо пластичнее вольфрама, легко п1тампуется и режется. Молибден образует теплостойкие спаи с некоторыми сортами стекол. Выпускается молибден в виде ленты, проволоки, прутков, стержней, фольги, листов, труб и применяется для изготовления компенсирующих колец, манжет, гравере, штырьковых вводов. Летали из молибдена служзт переходными элементами между медными и керамическими деталями в металлокерамических спаях.
Молибден используют в вакуумаом технологическом оборудовании, из него также часто изготовляют нагреватели и вводы для термопар. Как и вольфрам, молибден можно применять для изготовления компенсаторов механического напряжения, возникающего в пластине полупроводника при резком изменении температуры. Молибденово-медиые сплавы применяют для создания ненапряженкых соединений (Ф !3.3) Материалы для полулроводниковых приборов (спаев) с керамикой.
Для улучшения структуры, повышения прочности и корректировки термического коэффициента линейного расширения в эти сплавы вводят никель, который взаимодействуег с медью и молибденом, способствует повышению рабочей температуры сплава и его коррозионной стойкости. Наиболее часто используют сплавы марок МД)5МП и МД32НП, хорошо обрабатываемые резанием, шлифованием и злектроэрозией. В диапазоне температуры 20...1000 С сплав МД15НП имеет а,=80.10 К ', а сплав НД32НП вЂ” 120. 1О ' К '. Коэффициент теплопроводности сплавов почти одинаков: МД)5НП вЂ” 2,8. 104 Вт ° м ' . К ' и МД32МП вЂ” - 3,2. 10' Вт. м ' ° К '.
Удельное сопротивление не превышает 0,1 мкОм м. Допустимая рабочая температура 1000 'С. Детали из молибденово-медных сплавов обычно обезжиривают в кипящих растворителях, например в трихлорэтилене, промывают в ультразвуковой ванне и отжигают в атмосфере водорода при температуре 900...950 'С. Химическую обработку деталей проводить не рекомендуется, так как изменяются их поверхностные свойства ввиду избирательного характера травления входящих в сплав компонентов.
Изделия из этих сплавов хорошо поддаются пайке с металлизированной керамикой медными, серебряными, медно-золотыми и медиа-серебряяыми припоями. Ввиду сильного взаимодействия золотых и серебряных припоев с медно-никелевой фааой сплавов детали перед пайкой этими припоями необходимо покрывать слоем никеля толщиной 10...15 мкм.
Между собой детали из сплавов можно паязь также медно-никелевыми припоями с содержанием никеля до 10 %. Сплав МД)5НП хорошо согласуется по и~ с высокоглиноземистыми керамическими материалами 22ХС и М-7. Из этого сплава изготовляют детали сложной геометрической формы. Тантал. В полупроводниковом производстве используется для тех же целей, что и вольфрам и молибден. Химически он менее активен, чем вольфрам.
Нвэкоуглеродистые стали (сталь 1О и НЖ) используются в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем для изготовления корпусов и крепежных деталей. Сталь 1О содержит 0,1 % углерода. С повышением содержания углерода возрастают твердость стали и предел прочности при растяжении, но ухудшаются ее пластические свойства. Эта сталь обладает способностью к глубокой вытяжке, хорошо обрабатывается резанием и сваривается; при горячей штам- павке, ковке и прокатке она упрочняется, однако при повторном нагреве до температуры 500...600 'С упрочнение может быть снято.
Недостатком стали является ее низкая химическая и коррозионная стойкость. Для изготовления корпусов полупроводниковых приборов используют низкоуглеродистую сталь в виде лент толщиной от 0.05 до 2,5 мм н шириной до 400 мм. По качеству ленту из ннзкоуглеродистой стали выпускают трех классов — ), П и П1, а по инду обработки поверхности — полированной (и) и яеполированной (нп). На поверхности стальной ленты П класса допускаются мелкие царапины, риски, вмятины, бугорки размером менее половины допустимого отклонения по толщине ленты. расслоения, окалина и ржавчина на стальной ленте не допускаются. На поверхности стальной ленты 1 класса указанные дефекты допускаются в меньшем количестве.
Ленту П! класса для изготовления корпусов полупроводниковых приборов не применяют. Сталь НЖ вакуумной плавки выпускается в виде листов, прутков и ленты, широко применяется для изготовления металлокерамических конструкций корпусов полупроводниковых приборов, давая вакуум-плотные спаи с форстеритовымн, сгеатитовыми и высокоглиноземистыми керамическими материалами. Пайка с керамикой в основном производится серебряным или медно-серебряным припоями. Нержавеющие хромонияелеиые стали (Х)8Н!ОТ н Х)8Н12-ВИ) в виде прутков диаметром до 15 мм, лент толщиной от 0,1 до 1,2 мм, листов и ~рубок широко применяют в металлокерамических конструкциях корпусов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем в паре с медью или канарам. Паяют стальные детали медными твердыми припоямн; перед пайкой стальные детали покрывают ~онким слоем никели (20...25 мкм).
Некоторые физические свойства конструкционных сталей приводятся в табл. !3.17 Жалезоникелевые сплавы Н42 и Н46 содержат 42 и 46 % никеля соответственно (остальное — железо), выпускаются в виде лент, проволоки, листов и прутков и применяются для изготовления металлокерамических конструкций корпусов полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. По сравнению с коваром зти сплавы более пластичны и менее подвержены эрозионному растрескиванию под действием серебряных припоев.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
