Отзыв официального оппонента (1149291)
Текст из файла
ОТЗЫВ официального оппонента на диссертационную работу Лошаченко Антона Сергеевича «Взаимодействие водорода с дислокационными сетками сращенных пластин кремния», представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.10 — физика полупроводников Исследованию процессов взаимодействия водорода с различными дефектами в кремнии посвящено огромное количество работ, а водородная пассивация„в свою очередь, уже активно используется в технологии производства элементов солнечных батарей. Однако, несмотря на многолетние исследования, для целого ряда процессов„ связанных с взаимодействием водорода с протяженными дефектами, отсутствует достоверная физическая информация. В диссертационной работе А.С.
Лопгаченко был получен ряд абсолютно новых результатов, важных для формирования правильных фундаментальных представлений об этом взаимодействии и сопутствующих ему процессах, Диссертация состоит из введения и шести глав. Первая и вторая главы являются обзором литературы, посвященной, соответственно, дислокациям в кремнии (структуре дислокаций и ее электронным состояниям) и взаимодействию водорода с решеткой и дефектами в кремнии (рассматриваются электронные свойства, диффузия, методы детектирования и т,д.). Третья глава посвяшена описанию методических вопросов: использованных экспериментальных методик, описанию образцов и методам их приготовления для исследований.
Четвертая глава содержит экспериментальные результаты исследований экстракции водорода из приповерхностной области контрольных образцов и образцов с дислокационными сетками. В пятой главе предлагается оригинальная методика для измерения слабых сигналов комбинационного рассеяния света. Благодаря комбинации предложенного подхода, электронной просвечивающей и оптической микроскопий удалось установить положение водорода в окрестности дислокационных сеток. В шестой главе методом РАУТЯ исследуется взаимодействие водорода с электрически активными центрами на дислокационных сетках сращенных пластин кремния. В работе представлены почти энциклопедические сведения о всевозможных вариантах встраивания водорода в решетку кремния„его взаимодействии с примесями и дислокациями, а также о сопутствующих уровнях в запрещенной зоне.
Следует отметить глубокое, в деталях, понимание автором физики дрейфа протонов в электрическом поле кристалла, что позволило ему управлять профилем распределения концентрации комплексов водород-примесь с помощью Й.ВА-процедуры. А,С. Лошаченко получен ряд новых на чных ез льтатов, среди которых следует отметить следующие: 1) выполнено систематическое изучение образцов сращенных пластин кремния, в которых созданы регулярные дислокационные сетки, локализованные параллельно поверхности. Соотношение глубины залегания дислокацнонных сеток и концентрации примеси в кремнии выбрано таким образом, чтобы на подготовленных образцах оказалось возможным реализовать емкостные методы измерений и получить характеристики низкотемпературного взаимодействия водорода с дислокациями. 2) экспериментально подтверждено, что при проведении К.ВА-процедуры водород нз приповерхностной области единым фронтом перемещается вглубь пластины к краю 3) установлено, что дислокацнонная сетка захватывает большую часть водорода при гидрогенизацин и является препятствием для миграции водорода при последующих низкотемпературных отжигах.
Определены энергии связи водорода„ локализованного в окрестности дислокационной сетки. 4) предложена модель потенциального рельефа, объясняющая полученные в работе экспериментальные результаты по миграции водорода в окрестности ядра дислокации. П актическая енность аботы состоит в том, что полученные результаты могут быть использованы для совершенствования технологического процесса водородной пассивации, а также для улучшения свойств полупроводниковых структур на основе срашенных пластин кремния и других материалов. Жд0 р~~~ «р а~* Р у лп~Ржи~ * ~рм димостью на большом числе образцов, совпадением экспериментальных данных для контрольных образцов с литературными данными, хорошим качественным согласием экспериментальных результатов для структур с дислокацнонной сеткой с теоретическими предсказаниями и численным моделированием.
Автореферат диссертации в полной мере отражает ее содержание. Результаты докладывались на восьми российских и международных конференциях. Г ~ аУ~~ ВЯЛЮЗНПй « ~ц П Ж Г~б~* 1. На с. 44 приведены формулы (1), являющиеся развитием дифференциального уравнения Фика. Из текста следует, что система состоит из четырех уравнений. Однако в ней фактически отсутствует четвертое уравнение1 к тому же третье, как и последнее на этой странице, на самом деле являются просто выражениями для функции, а не уравнениями. 2.
На с. 47 автор «исходя из сказанного выше» утверждает, что водород в кремнии является примесью с отрицательной корреляционной энергией. Однако вышеприве- денный текст соответствующего параграфа не подводит к такому выводу, 3. На с. 76-77 при определении отсечки на зависимости 1/С (У) ошибочно используется г 21 мая 2018 г. Профессор кафедры Микро- и наноэлектроники, л« ~« ~.лц ~фф Зубков Василий Иванович Почтовый адрес: 197376, г.
Санкт-Петербург, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) Тел. +79216597464 е-та11: якой~сиз Ь~а)ша)1хп термин «интерполяция», такая процедура называется экстраполяцией. 4, На страницах 89-90 проводится вычитание выражений для кинетнк экстракции водорода, по этим результатам получена энергия активации (0,9 эВ), которая существенно отличается от известных из литературы энергии диссоциации пар ВН и энергий связи Н на дислокации. Разброс полученных экспериментальных точек весьма велик, а обоснование приведенной погрешности полученного значения отсутствует, 5. Формула для Зон — Бвн на странице 89 неверна, хотя следующее из нее выражение для временного положения максимума правильно. 6.
В тексте диссертации имеет место большое количество орфографических ошибок. Указанные недостатки, конечно, не являются принципиальными и не снижают общего хорошего впечатления от диссертационной работы. Диссертационная работа Лошаченко Антона Сергеевича вьшолиена на высоком уровне и является законченным научным исследованием, удовлетворяющим всем требованиям, предъявляемым ВАК к диссертациям на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук, а ее автор — А.С. Лошаченко — заслуживает присуждения ученой степени кандидата физикоматематических наук по специальности 01.04.10 — Физика полупроводников.
.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
