Отзыв официального оппонента 2 (1149290)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВофициального оппонента на диссертационную работу ЛошаченкоАнтона Сергеевича «Взаимодействие водорода с дислокационнымисеткамисращенныхпластинкремния»,представленнойнасоискание ученой степени кандидата физико-математических наукпо специальности 01.04.10 – физика полупроводников.Исследования взаимодействия водорода с точечными и протяженными дефектамипроводятся уже в течение нескольких десятков лет в связи с возможностьюпассивированияэлектрическойактивностидефектов.Пассивацияводородомнежелательных дефектов уже используется в технологии, например, в солнечныхэлементах на основе кремния. Несмотря на это, целый ряд вопросов, в частности,касающихся взаимодействия водорода с протяженными дефектами, а также стабильностипассивации при повышении температуры и/или электрического поля, окончательно невыяснены.ПоэтомуактуальностьдиссертационнойработыЛошаченкоАнтонаСергеевича, посвященной исследованию закономерностей взаимодействия водорода сдислокациями в диапазоне температур 300-400 K, не вызывает сомнений.Диссертация включает введение и шесть глав, в первой из которых представленобзор литературы, в котором приведены основные сведения о структуре и электронныхсостояниях дислокаций в кремнии.

Во второй главе представлен обзор данных посвойствам водорода в кремнии, его электронным свойствам, диффузии и методамдетектирования. Третья глава посвящена описанию методических вопросов: описаниюиспользованных методик, описанию образцов и методик их приготовления длядальнейших исследований. В четвертой главе приведены экспериментальные результатыпо введению водорода в кремний и его экстракции из приповерхностной областиконтрольных образцов и образцов с дислокационными сетками. Основные данныеполучены при анализе ВФХ-профилей концентрации носителей заряда. Пятая главапосвященаприменениюметодаспектроскопиикомбинационногорассеяниядляисследования положения водорода в дислокационных сетках.

Предложена методикаинтерференционного усиления сигнала комбинационного рассеяния. В шестой главепредставлены результаты исследования взаимодействия водорода с электрическиактивными центрами дислокационных сеток сращенных пластин кремния методом DLTS.В работе получен ряд новых научных результатов, среди которых можно отметитьследующие:Обнаружено, что дислокационные сетки на интерфейсах сращенных пластин кремнияявляются эффективным ловушками для водорода. Показано, что для высвобожденияводорода, захваченного на дислокационную сетку, необходимо внешнее электрическоеполе.Проведены оценки энергии связи водорода с дислокациями в дислокационных сеткахпри низких температурах и показано, что эта энергия имеет широкий набор значений от0,9 до 1,7 эВ.

Обнаружено наличие слабосвязанного водорода в окрестностидислокации, характеризующегося энергией активации процесса его экстракции менее 1эВ.Предложена методика измерения слабых сигналов комбинационного рассеяния отзахороненных в объѐме материала слоѐв, основанная на использовании оптическогоинтерференционного усиления в комбинации с применением методов просвечивающейоптической и электронной микроскопии.Практическая ценность работы определяется тем, что полученные результаты могутбыть использованы при усовершенствовании технологических процессов, в частности,при формировании структур на основе сращенных структур кремния и других материалов.Достоверностьэкспериментальныхрезультатовподтверждаетсяихвоспроизводимостью для большого числа образцов, совпадением экспериментальныхданных для контрольных образцов с литературными данными, хорошим качественнымсогласием экспериментальных результатов для структур с дислокационной сеткой стеоретическими предсказаниями и численным моделированием.

Основные выводы работыв достаточной степени обоснованы.Содержаниедиссертациидостаточнополноотраженовавторефератеиопубликованных работах. Результаты докладывались на большом количестве российскихи международных конференций.В то же время следует высказать ряд замечаний к рецензируемой работе:1.

На Рис. 25 на контрольном образце до введения водорода наблюдается значительныйсдвиг зависимости 1/С2, что свидетельствует о сильнодефектном слое на поверхности.При обработке в растворе кислот часть смещения может быть обусловленатрансформацией этого слоя, а не только введением водорода. В этой связи возникаетвопрос о надежности вывода о нейтральном заряде водорода на дислокационной сетке.2.Приоценкеэнергиисвязиводороданадислокационнойсеткеучасткинеэкспоненциальной зависимости аппроксимируется касательными, из которых иоценивается энергия активации.

Корректность значений, полученных таким способом,вызывает сомнения.3. Количество входящего в кремний водорода оценивается на основе измерений ВФХ.Поэтому два использованных подхода вряд ли можно считать независимыми.4. При использованных полях и уровнях легирования влияние электрического поля на.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации