Диссертация (1143799), страница 17
Текст из файла (страница 17)
Мембрана притягивалась кпроводнику при напряжении смещения Uсм.=28 – 30 В. Результаты измерениясопротивления мембрана – разрывной электрод регистрировались компьютером(5) и представлены в таблице П.2.1. Измерения сопротивления «мембрана –электроды» в импульсном режиме на низкой частоте показали, что времясрабатывания МЭМС – переключателя составляет 20 мкс.В ходе выполнения работы проводилось исследование емкостнойзависимости МЭМС-переключателя от напряжения смещения.
С этой цельюбыли проведены серии экспериментов на тестовых образцах. РезультатыизмеренийпредставленывтаблицеП.2.2инарисункеП.2.2.Изпредставленных данных отчетливо видно, что с увеличением напряжениясмещения наблюдалось изменение емкости МЭМС – переключателя, чтосвидетельствовало об изменении зазора между мембраной и электродамисмещения.129Рисунок П.2.1. - Схема измерительного стенда для низкочастотнойметрики МЭМС-переключателяТаблица П.2.1Электрофизические параметры МЭМС – переключателя на низкойчастоте измеренияНапряжение смещения Uсм., ВСопротивление «мембрана – разрывнойэлектрод» R, Ом011×106511×10 6102×106157×105202×104255×1032750302130Рисунок П.2.2.
- Зависимость емкости МЭМС – переключателя отнапряжения смещенияТаблица П2.2.Зависимость емкости МЭМС – переключателя от напряжения смещенияНапряжение смещения Uсм., В Емкость МЭМС – переключателя С, пФ00.0250.02100.031150.044200.038250.056270.074300.098Емкость тестовых образцов при подаче напряжения смещения изменяласьв 5-6 раз, это позволяет в дальнейшем рассчитывать на изготовлениемикромеханических аналогов полупроводниковых варакторов.131ПРИЛОЖЕНИЕ 2.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
