074f-1-opreview (1143776)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

позиоляют дать Обосноааиные рекомеидапии для Выоора, В зааисимости от реп~аемой задачи, пром~|й~еииых технолопий траиления Б~нрок<йо КЛВССВ фоторезистоа. Доказательстаом практической пенности рез~льтатоВ проаеденных исследоааний яаляе*ся их тспепзное исполь юиание для нз~отоалеиия зле~~ростатических МЭМС переключателей резистниио- емкостнОГО типа В услоаиях промыпиенноео предприятия.

Рез~льтаты, полтченнь|е В работе, могтт быть примеиены и исследоВательских лабораториЯх, занимайипихсЯ разработкой изделии микросистемнОЙ техники, а так~ке на Бром ьппленных предприятиях Вып~'екающих различиые микрозлектрониые изделия. Достоиерность Выаодои, соде~~каптихсЯ В диссертапиоиной работе. Об~слоалена применением соаременноЙ методоло~.ии научных нсследоааний и кОмплекса использоаанных зкспериментальиых метОдик и подтиер)кдается соиок~пиостью при Веденных зкспериментальных данных. Результаты диссертапионнОИ рабОты про$пли надежн~ю апробйпию и Оп~бликоааны В ряде жяйалоа„предстаалены на конференпнях и симпозиумах, Диссертапиониай работа хоропю ОфОрмлена, материал Бзлыкеп Ясно„ Бто ПОЗВОЛЯе~ ~тие~~кдать„что работа ВЫполнена на достатоино Вььсоком на~чпом троане. ВМе~те с тем. сиитаю необходимым по диссертапионной работе сделать след~ющне замечания; 1.

В работе приаодятся некоторые результаты по плазмохимическочу трааленню при атмОсферном даВленйй фоторезистиииых слОСВ. (".". мОей ТОЧКН зрения, ннзкотемперат урные плазмохимическне технолопии, реализтемые при атмосферном даалеиии предстаиллют оеобЫЙ интерес, ОДИВК~ В работе им «делено ЯВИО недостаточно~о Вн~~а~и~. Опе~~а п~фохоаатости поиерхности Остп~есталялась МС~~ДОМ атомно- .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации