Автореферат (1137254), страница 4
Текст из файла (страница 4)
На основе предложных элементов системы автоматизациипроектирования разработаны технические решения нескольких УИУФЛ длявыполненияпроцессаформированияобъектов,удовлетворяющихтребованиям, предъявляемым к точности и эффективности, соответствующихкритериям патентной чистоты и промышленной применимости.7. Показаноприменениелитографическихтехнологийвбиомедицинских исследованиях на клеточном и молекулярном уровнях,которые обеспечивают ученым и медикам возможность перехода в областькрупномасштабных исследований в сфере биоинженерии и здравоохранения.8.
Предложен метод применения непараметрических решающихправил при моделировании устройств оборудования формирования объектовв ИУФЛ для условий малых выборок, который позволяет увеличить объемисходных данных, не прибегая к реальным технологическим процессам ииспользованиюдорогостоящегоиммерсионноголитографического20оборудования за счет технического моделирования, что в целом повышаетэффективность процесса проектирования.9. В качестве основного результата диссертационной работы следуетрассматривать разработанные алгоритмы выбора устройств оборудованиядля формирования объектов в ИУФЛ и созданную на основе результатовмоделирования и данных алгоритмов систему поддержки принятия решений,что является существенным для систем автоматизации проектирования вприборостроении.
Предложенный подход обеспечивает возможностьпроектировщику выполнять технически обоснованные, технологическицелесообразные и экономически приемлемые решения для последующегосовершенствования известных УИУФЛ.Основное содержание диссертации отражено в следующих работах:Работы, опубликованные автором в ведущих рецензируемых научныхжурналах и изданиях, рекомендованных ВАК:1. Костомаров П. С. Критерий качества в автоматизированномпроектировании устройств оборудования иммерсионной литографии / БаланН.
Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В. //Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3.С. 69-77. – 1,1 п.л. – личный вклад 0,2 п.л.2. Костомаров П. С. Моделирование процессов иммерсионнойультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования / Балан Н. Н.,Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.
//Нелинейный мир. 2012. Т. 10. № 7. С. 454-459. – 0,8 п.л. – личныйвклад 0,2 п.л.3. Костомаров П. С. Применение литографических технологий вбиомедицинских исследованиях на клеточном и молекулярном уровнях /Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. // Биомедицинскаярадиоэлектроника. 2013.
№ 2. С. 59-62. – 0,5 п.л. – личный вклад 0,2 п.л.4. Костомаров П. С. Многокритериальная задача принятия решенияпри проектировании УФ-литографического модульного оборудования /Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. // Автоматизация и современные технологии. 2013. № 4. С. 19-24. –1 п.л. – личный вклад 0,2 п.л.5.
Костомаров П. С. Стратегия технического обслуживания системуправления / Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., ЯговцевВ. О. // Вестник машиностроения. 2015. № 7. С. 3-5. – 0,4 п.л. – личныйвклад 0,1 п.л.В других изданиях:6. Костомаров П. С. Информационная технология моделированияпроцессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии / Ивашов Е. Н.,Костомаров П. С.
// В кн.: Инновации на основе информационных и21коммуникационных технологий: материалы международной научнотехнической конференции (2012) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.:С. У. Увайсов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 394-400. – 0,3 п.л. – личныйвклад 0,2 п.л.7. Костомаров П. С.Обобщенныйкритерийкачествавинформационной технологии проектирования оборудования иммерсионнойультрафиолетовой литографии / Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. // В кн.:Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:материалы международной научно-технической конференции (2012) / Отв.ред.: И. А.
Иванов; под общ. ред.: С. У. Увайсов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ,2012. С. 182-188. – 0,3 п.л. – личный вклад 0,2 п.л.8. Костомаров П. С. Автоматизированное проектирование систем наэтапе предварительной разработки / Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. // В кн.:Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:Материалы международной научно-практической конференции (2013) / Отв.ред.: И. А.
Иванов; под общ. ред.: С. У. Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов.М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 207-210. – 0,2 п.л. – личный вклад 0,1 п.л.9. Костомаров П. С. Выбор варианта управления защищеннойсистемой // В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународнойнаучно-техническойконференции «INTERMATIC – 2013», 2–6 декабря 2013 г., Москва / Отв.ред.: А.
С. Сигов. Ч. 2. М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013. С. 204-208. –0,3 п.л.10. Костомаров П. С. Техническое обслуживание автоматизированныхсистем управления / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // Вкн.: Инновации на основе информационных и коммуникационныхтехнологий: Материалы международной научно-практической конференции(2013) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ.
ред.: С. У. Увайсов; науч. ред.:А. Н. Тихонов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 439-441. – 0,4 п.л. – личныйвклад 0,1 п.л.11. Костомаров П. С.Методикаразработкикомплексныхпроизводственных модулей в современном микроэлектронном производстве /Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // Успехисовременного естествознания.
2014. № 5. С. 137-145. – 1,1 п.л. – личныйвклад 0,3 п.л.12. Костомаров П. С. Автоматизированная подсистема выбораустройства иммерсионной ультрафиолетовой литографии // В кн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународнойнаучно-техническойконференции«INTERMATIC – 2014», 1–5 декабря 2014 г., Москва / Отв. ред.: А. С. Сигов.Ч. 3. М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014. С. 121-124. – 0,5 п.л.2213. Костомаров П.
С. Применение асимптотических методов вавтоматизированном проектировании технических объектов / Ивашов Е. Н.,Князева М. П., Костомаров П. С., Анисимова Н. Т. // Международный журналэкспериментального образования. 2014. Т. 2. № 1. С. 105-108. – 0,5 п.л.
–личный вклад 0,1 п.л.14. Костомаров П. С. Моделирование сложных систем иммерсионнойультрафиолетовой литографии // В кн.: Инновации на основеинформационныхикоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународной научно-практической конференции, 2014 / Отв. ред.:И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У. Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов.М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211-213. – 0,4 п.л.15. Костомаров П. С.
Проектирование технологического оборудованияв случае малых выборок на основе опорных точек / Болнокин В. Е.,Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // Успехи современногоестествознания. 2014. № 5. С. 132-136. – 0,6 п.л. – личный вклад 0,2 п.л.Патенты Российской Федерации на полезные модели и Свидетельства огосударственной регистрации программ для ЭВМ:16. Костомаров П.
С. Патент РФ на полезную модель №97864.Устройство для формирования нанообъектов на подложке / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В. – № 2010119551/07.Заявл. 17.05.2010; опубл. 20.09.2010, Бюл. № 26.17. Костомаров П. С. Патент РФ на полезную модель №104508.Устройство для формирования нанодорожек на подложке / Ивашов Е.
Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В., Якункин М. М. –№ 2010146414/07. Заявл. 15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.18. Костомаров П. С. Патент РФ на полезную модель №104509.Устройство для формирования нанодорожек / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П.
С., Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146415/07. Заявл.15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.19. Костомаров П. С. Патент РФ на полезную модель №106969.Устройство формирования изображения на подложке / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Кузнецов П. С., Лучников П. А. –№ 2010146413/28. Заявл. 15.11.2010; опубл.
27.07.2011 Бюл. № 21.20. Костомаров П. С. Свидетельство РФ 2012615832 об официальнойрегистрации программы для ЭВМ. Расчет параметров иммерсионнойсистемы ультрафиолетовой литографической установки / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. – № 2012613387. Заявл. 26.04.2012;зарег. 26.06.2012.23Лицензия ЛР № 020832 от «15» октября 1993 г.Подписано в печать «__» __________ _____ г. Формат 60х84/16Бумага офсетная. Печать офсетная.Усл.
печ. л. 1.Тираж 100 экз. Заказ №___ Типография издательства НИУ ВШЭ,125319, г. Москва, Кочновский пр-д., д. 3.24.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
