Отзыв ведущей организации (1105251)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

~ I O , I J K ~ T H O p~pOe > K A e H H R H a y K H@ ~ ~ J $ K o - T ~ x H I I Y ~ c KIIHCTHTYT~IIM.--&A H c c ~ ~ T ~ I ~ IXI R~ H K H HM.B.~IIOCBHIIJeHa~ B J % @ ~ ~ H IIJIeHOK~ I XrIIApOreHH3HPOBZiHHO~OrIInpOreHH3HpOBaHHOrO(a-Si:H)KpeMHHRA U C C ~ ~ T ~ ~ U O Hp aH6 O0 T~b ~l OIIpeneJIReTCRTOHKOIIJIeHOYHbIX OIIT03JIeKTPOHHbIX3 K C I I e p H M e H T a J l b H O M y HCCJIeAOBaHIIIOKPeMHIIR,HCOCTOHIIJHXHaHOKpHCTaJlJIOBIIIIIPOKIIMnp116opax, BA.

@. Mo@@eaH3MaTPIIqbI~MO~@HO~OAICT~~J~HOCTKpeMHIIR.IIpHMeHeHIIeMCBO~~CTBI I O ~ O ~ H ~ IMXa T e p H a J l O BBYaCTHOCTII, B COJIHeYHbIX 3JIeMeHTaX. C O J I H ~ Y H ~ I ~3JIeMeHTbI H a OCHOBe TOHKHX KpeMHHeBbIX IIJIeHOK IIOSBOJLSIIOT A O ~ I I T ~ C HR H ~ K OCTONMOCTH~ ~BaTTa~ b l p a 6 0 T Z i H ~ 0 f iMOIIJHOCTII,60nb11111x IIJIoIIJwefi3JIeMeHTOBHaaTeXHOJIOrIIR IIX IIpOII3BOnCTBa COBMeCTHMa C O C a X n e H H e MII T O J I e p a H T H a IIO OTHOIIIeHHIo KOCHOBea-Si:H@ o T o I I H ~ ~ ~ H ~ o B ~ HAerpaAi3UkiI.iHo~~OAHIIMH 3OTHOCIITeJIbHOIIapaMeTpOBIIOAXOAOB, IIO3BOJIRIOUIIX3 a M e H a CJIORa-Si:HnneHoKH~CMOTPRHaHH30K,a-Si:HBIIOnJIOXeK.YaCTHOCTH,KmO~HZNOH3-3a3@@e~TaIIOA A ~ ~ ~ c T B AJIHTeJIbHOrOII~MOCBeUeHHH.YJIYYIIIHTb C T ~ ~ I I J I ~ H OOIINCaHHbIXCT~3JIeMeHTOB, HBJIReTCRH a IIJIeHKII, C O C T O 5 I ~ I I e113 a M o p @ ~ o f iK ~ ~ M H M ~MBa TOP I I~U~b I C BKJIIOYeHHeM~ W I 0 f AOJIHiKpeMHIIeBbIX HaHOKpHCTaJlJIOB.nonyseHm~b160pyM a T e p I I a J l O Bnp1160po~a-Si:H, n e x mB OCHOBe IIOJIyYeHHR3TOrO MaTepIIWIa, TaKMeTon n n m M o x m m e c K o r o~ @ @ ~ K T H B H O C TA~ a H H O r Oo c a m e H mA B J % @ Z ~ H OM~aOTepHaJlaAJIR113Xe KaK HIIpIIra3o~oiiOIITO3JIeKTpOHHbIXI I p ~ n o X e H H f i , O C O ~ ~ H H O C T Her03JIeKTpHYeCKHX,@OTO~~~KT~H~~HC KOI n?TXHreCKHXCBO~~CTB,CBR32LHHbIe C HaTIHYHeM HaHOKPHCTaTIJIOB KPeMHHR B a h l o p @ H o f i K ~ ~ M H H ~MBa TOp H~s e~, OcTCiIOTcRK O H s a HeRCHbIMH H ~ p e 6 y I OnaJIbHefiUIer0~ABa THIIanono6ab1x IIJIeHOK:B pa60~eX ~ H K HM.B.H~H3yYeHHR.PaCCMaTpHBCiIOTCR~ ~ o T o K ~ H c T ~ J I J I H ~K~ cP K~ HM ~H~H(PC-Si:H),~~B KOTOPOM HaHOKPHCTaTIJIbI@OPMHP~WTCII H a n o B e p x H o c T HH n o n H ~ o p @ a b ~ fKi P ~ M H H (pm-Si:H),~~npHpac~yuefin n e H K H ,ra30~0fi@a3e,HO C m e H H H KOTOpOrO HaHOKPHCTaTIJIbI @OPMHPYIOTCH BpacnpenenRmTcRnoKaK CJIenCTBHe, O n H O p O n H Ono T o n u m e pac~yuefinneam.O ~ H H M H3IIepCneKTHBHbIX~ H ~ ~ O ~ ~ H H ~ H ~K pOe MBH~mH RHB nOR eIT -c xo~ B Y X @ ~ ~ H ~ InJIeHOKX@OPMHPOB~HHHMeTOnOBna3epHma-Si:H.

h ~ n oK ~ H C T ~ J I J I H ~ ~ n~nHe HRoKn O K a 3 a H O , 9 T O I I p H J I a 3 e p H O M O T X H r e n p O H C X O n H T H e TOJIbKO YaCTHgHSLII KPHCTaTIJIH3aLIHR M a T e p H a J I a ,HOTaKXeH3MeHeHHeysenmeHumM O ~ @ O J I O ~ H EnOBepXHOCTH~nwamueronornoueHuRHaH ~ ~ J I I O ~ ~H~HTT eCp eRC K HCnOJIb30BaHHIOnJIR KpHCTaJIJIH3asHHTOIIJIeHOK.nosepxHocTbIIpHBOnHTnneHoKKPHCTaTIJIH3aUHIOBa-Si:H, n p H B o n R u e eOnHOPOAHOnpaKTHreCKHHeBTOXeH3JIyYeHHeM, I I p O B e A e H H b I eHTeKCTa,K H M.B.H~BpeMRa-SkH,COCTOHTMeTOnHKHTOJIuHHeTOnJIeHOK,MaTepHaTIa.H e TOJIbKO n 0 3 B O J M e THOBTaKXeIIPHBOnHTK~ O J I ~ L I I H H C T B pa60~,~H3yYaeTCRCTpyKTypa@ H ~ H Y ~ C K HC ~B O ~ ~ C T BM~a T e p H a J I aOCTCiIOTCRH C C J I ~ ~ O B ~ H3JIeKTpHreCKHXH~~HM O ~ H @ H U H P O B ~ H H ~ I@X ~ M T O C ~ K Y H ~ H J~I Ia 3Me p H b I MBKJIIOYmH3BBeneHHR,3KCnePHMeHTa,no pa6o~e.BbIBOnOBMaLUHHOIIHCHOrOHMnyJIbCOBX ~ H K H HM.B.,~ I M RBJIRIOTCR HOBbIMU AJIR A a H H O r O M a T e p H a J I a .~ H C C ~ ~ T ~ UX H~ HHOIIHCaHHeBcefi~ O ~ T O M Ype3yJIbTaTbIHCCJIenOBaHHbIMH.@ O T O ~ J I ~ K T ~ H Y ~ C KCHBXO ~ ~ C T BnJIeHOKJIHTepaTypbI,ronbIK BOSHHKHOB~HHIOB n o n y n p o B o n H H K e0 6 p a 6 0 ~ ~ nJIeHOKea-Si:H,@ ~ M T O C ~ K Y H ~ HJIa3epHofiO~~M O ~ H @ H U U P O B ~ H H ~ I IIneHOK.Xpe3ynbTaTOBnoM O ~ H @ H K ~ U H HCTPYKTyPbIMeXaHH3MOBIIOCBRmeHHbIXnocnenHueC B ~ P X ~ ~ I C( T@P~M~ TI oXc ~ K Y H ~ H ~ IJXI a)3 e p H b I Xs p e 3 B b I Y a f i ~ o H e p a B H O B e C H O r O COCTORHHR ~ J I ~ K T ~ o H HnOnCHCTeMb1.o~~H3MeHeHHIOBcseTa.CyLIJeCTBeHHOMJ'a-Si:H.

n p H @ ~ M T O C ~ K Y H ~JIa3epHofiHO~~06pa60~~BO3MOXHOeMHO~O@OTOHHO~~ e n ~ ~ e fo in T~moe ceK o e nornomemenPOBOnHTbK1IIRTHPaCCMOTpeHHemaB,COnepXamHXOCHOBHbIX~ H C C ~ ~ T ~ ~ H O H H pa60~aSLIICOnepXHTT ~ ~ J I H ~ 81Y , PHCYHOKHCnHCOK0630~IIOJIyYeHHbIX159JIHTepaTypbICTPaHHsH3178H~HM~HOB~HH~~.BOBBeneHHH@ o p ~ y J I E i p y e ~ c RnOCTaHOBKaaKTYaTIbH0CTI.I.nep~asl r J I a B aPaCCMOTpeHbIHMeIOmHeCR3JIeKTpHYeCKHX,KpeMHHR.H H C C e p T a u H H HOCHTJIHTepaTypHbIeHnonpo6soe0630p~b1fi X a p a K T e p ,AaHHbIe$OTO~JI~KT~H~~CKH H OnTHYeCKHXXB ~ o p mr J I a B a lTOCBRUJeHa3warH0cnoco6axO ~ O C H O B ~ H Hee~B K O T O P O ~ ~110np06~0IIOnyreHHR,CTpyKType,C B O ~ ~ C T B ~IIJIeHOKXrHnpOreHH3HpOBaHHOrOOlTHCaHHIO HCIIOJIb3OBaHHbIX MeTOnHK HCCJIenOBaHHR CTPJXTyPbIH C B O ~ ~ C T BA B Y X @ X ~ H ~ I XnJIeHOKB~ H A P O ~ e H H 3 H P O B a H H O I WKPeMHHII.T p e T b e f i r J I a B e OrIHCaHbIHCCJIenOBaHHbIe B ~ N C C ~ P T ~ ~ H O Hpa6o~eH O ~ ~C B O ~ ~ C TnBn e~ H 0 K l T p O T O K p H C T ~ J I H r e C K O r 0KpeMHHX,CBX3aHHbIeCIIpHCyTCTBkIeMHaHOKpHCTWIJIHreCKHXO C O ~ ~ H H O C T I I MC T P y K T y P b I Hs n H a H m o H a HHXY ~ T B ~ Pr J ITa B~a@ O T O ~ J I ~ K T P I ? ~ ~ C KCHBXO ~ ~ C T BnJIeHOKy c n o ~ ~ nf io n p e a mnOCBXUeHa~TOJIHMOP@HO~OKpeMHHIIB n a ~ o i i rnaseMaTepHana.p a 3 J I H r H b I X CTPYKTYPHbIX M O ~ I ? @ ~ I K ~ ~ nJIeHOK~IIIXo 6 p a 6 o ~ ~ ea, TaK xe 06BKJIIOreHEifi.npencTasneHb1 naHHbreHoa-Si:H, I I O A B e P r H y T b I X @ ~ M T O C ~ K Y H A HJIX3epHofiO~~O n T H r e c K H x , 3 n e K T p H r e c K H x ki @ O T O ~ J I ~ K T P H S ~ C K ~ XapaKTepHCTHKaXIXn o n y r e H H b I x MaTepHanoB.C p e n ~OCHOBH~IX nonoxeawii,B ~ I H O C H M ~ I XH a ~ ~ U H T Y c, n e A y e T B b I n e n H T b c n e A y I o w H e HoabIeHayYHble pe3yJbTaTb1, l T O J I y r e H H b I e1) BM.B.

X ~ H K I I H ~ I M :r ~ n p o r e ~ ~ 3 ~ p o s Kap~e M~HoH ar o0 6 ~ a p y x e3~@ @ e ~ ~nneHKax npoToKpwmimHrecKoroTeMnepaTypHororarueam @ o ~ o n p o ~ o nn ~p H~ko~ cxo ~c s ~e u e H m ~ s n y r e c~s ~ eep ~r~eiiKBaHTa, M e H b I J I e f i UIHPHHbI meJIH IIOABHXHOCTH~ T M O C @ ~ B~ 0~3 AI y X aHaa-Si:H.

O T M ~ ~O C~O H~ ~ H~H IO C T BJIHIIHHIIHPC-Si:H. O ~ H ~ ~ Y X ~C B O ~ ~ C T BnJIeHOK~3JIeKTpHreCKHeY M e H b I I I e H H e IIOrJIOmeHHX, H 3 M e p e H H O r O MeTOAOM nOCT05IHHOrO @OTOTOK~, B n J I e H K a X PC-Si:HBo 6 n a c ~3~H e p r H f iM O H O X P O M a T H ~ e C K H MCBeTOM.MaKCHMYMOMOKOJIO1,2KBaHTOBBHJIeHKaX1,5 3B nocne-Ha6JIIOnaeMb1e@ o T o J I I O M H H ~ C ~ ~ H ~C~IEI3@@eKTb1 C H W I H r H e Ma-Si:H.HaHOKpHCTWInHreCKkIX BKJIIOreHHfi B M a T P H u eycnosk~iir ~ n p o r e ~ ~ 3 ~ p o ~Kap e~M~H Hoa1H-a0HXOCBemeHHX MeX30HHbIMPC-Si:H 0 6 H a p y ~ e Hn H K1,52 3B. A B T O CBII3bIBaeT~2) I I p o a ~ a n ~ 3 ~ p o ~ san~H aoH H eHXnonyremaCTPYKTYPY,C B O ~ ~ C T B ~YCT~HOBJI~HO,.9 T O YMeHbUIeHHenon~~op@aoronneHoK3neKTpHrecKHe H @ o ~ o s n e ~ ~ p ~ r e c ~ knaBJIeHkI5ITX3OBBP ~ ~ K ~ H O H HK aOM~e p~ eIIPHBOAHT K YBeJIHreHkIIO A O n H HaHOKpHCTWIJIHreCKHX B K J I I O ~ e H H f i .

n0~~3aH0,r T 0 POCTAOJIkIHaHOKPHCTWIJIHreCKkIXrHApOreHH3HpOBaHHOrOB K J I I O ~ ~ H H B~ ~ aMOp@HOfiKpeMHHXBbI3bIBaeTYBeJIHseHHeH 3 M e p e H H O r O MeTOAOM nOCTO5IHHOrO @OTOTOK~, B0 6 ~ a p y x e ~YMeHbLLIeHkIeoIIOJIHMO~@HO~OK O ~ @ @ H ~ H ~ lHI OTm~O m e H H I I ,0 6 n a c ~3 H~e p ~ k I f iKBaHTOB 1,2-1,5 3B.3 @ @ e K T a @ O T O H H ~ J J I J H ~ O B ~ H H O ~H3MeHeHHRO3JIeKTPH9eCKHX H@OTO~JI~KT~H~~CKn aHp aXM e T p O BnonnoxKH,MaTpHue~ c n o n b s y e ~ o fnpaiHJIeHOKHXpm-Si:HnonpeHm.lTpHYBeJIHreHHHI I o ~ m a ~ oYTO,TeMnepaTypbI3neKTpHrecKHeH@ o ~ o s n e ~ ~ p c~~r oei ci c~~~nsnaee H o K pm-Si:H cna6o s a s ~ c OTa ~HX T o n m H H b I .3)~ o K X ~ ~ H 9OT O,o 6 n p e ~ ~nJIeHOKea-Si:H@ ~ M T O C ~ K Y H ~ H ~ IJIX3ePHbIMHMHHMlTyJIbCaMHn03BOJIHeT KOHTPOJIHPYeMbIM 0 6 p X 3 0 ~lTPOBOnHTb HX KPHCTUIJIH3auHIO.

Y C T ~ H O B J I ~ H Or, T 0o 6 a e ~ ~ anonax~ p ~ c ~ a n n k ~ s e c ~ o f ni o n p e H H o r o M a - r e p u a n a Hee pacnpeneneme noBOAOpOAaH3CTPYKTYPbIMaTepHaJIa,~ ~ K O M ~ W H ~ U H O Hq eHH ~q o~ B~.nneHoKYTOIIPHBOAHTnpennoxe~aKYBeJIHqeHHIOnpoqenypanoc~-r~~pore~~3aqa-Si:H non n e i i c ~ ~na3ep~ofi~ e ~ 06pa60~O~~G.~ a p y x e ~ or T, o~ ~ ~ I C T E I ~ ~3HasEiMOCTbC K ~ R1.IIOnTBepXneHHRIIpOTOKpHCTUJIHYeCKOrOA H C C ~ P T ~ ~ W O H H pa60~b1O~~COCTOHTHUHYHRKpeMHHR,HaHOKpHCTaJIJIOBXeJIaTeJIbHO6b1noKOHqeHTpmHHBKPeMHHR6b1HC~OJI~~OB~HH~BO3MOXHOCTHBlTpeACTaBHTbIIJIeHKaXCHHMKHl T p 0 c ~ e Y ~ ~ ~ r r~ IJ eI ~f Ki T P O H H MHKPOCKOIIHH.O~~2.k I 3 ~ e ~ e ~C TH ~e~ H J I ~ H O C TIIJIeHOKHIIOJIWMOP@HOTO THAPOTeHH3HPOBaHHOrO KPeMHkISl,IIOJIyYeHHbIX I I p H Pa3JIHYHbIX T e M I I e p a T y p a X OCaXAeHHR, a B T O p CBR3bIBaeT C H 3 M e H e H H e MKOHUeHTPaUHH BOAOPOAa B M a T e p H U e .

~ O ~ T O MX eYJ I a T e J I b H O6b1no 6b1 IIpOBeCTH H 3 M e p e H H RK O H q e H T P a U H H B O n O P O A a B AaHHbIX nJIeHKaX.3. B pa3nene pa60~b1,n o c s R u e H H o MnneHKaMn o n w ~ o p @ ~ o~r oH~ ~ O ~ ~ H H ~ H ~ O B ~KpeMHHR, IIOJIyYeHHbIM I I p H p a 3 J I O X e H H H CMeCH CHJIaHa, B O n O p O n a H @ T O P H ~KPeMHEIFI,~OTMeYaeTCR,YTOBBeAeHHe@ T O P H ~ ~KpeMHHRMOXeTIIpHBeCTHKyMeHbIIIeHHIOK O H s e H T P a s H H H ~ K O H T ~ O J I H ~ npkIMeCH~ ~ M O ~ KHCJIOpOAa~B IIJIeHKaX.B T O X e BpeMR,B pa60TeH e IIPOBOAHTCR a H m H 3 @ ~ K T H ~ ~ C KCOO A~ eOp X a H H R KHCJIOpOAa B HCCJIeAOBaHHbIX B A m H O Mpa3~enen n e s K a x .n p e ~ c ~ a ~ n e s~ a~~ be ~r ae ~k Hi e~A H C C ~ P T ~ ~ H O H Hpa6o~b1O~~BUeJIOMB ~ I ~ O J I H ~ HXH~OH~K~H H ~ IM.B.Mpa60~b1.H, @ i c c e p ~ wX~ ~~ H K H M.H ~ B.3HaYHMOCTb,BnmIoTHeHaCHHXWTB n0JIH0fi06uy10Hayz1~0fi HnonoxsTenbHymoseHKyl l p a ~ ~ k i s e ~3HaZIHMOCTH~ ~ f iM e p e OTpaXaeT aKTymbHOCTb,IIpaKTHseCKyIoHaYgHYIO HOBH3HY H OCHOBHbIe p e 3 y J I b T a T b I P ~ ~ O T Mno.TeMe AHCCepTa~HOHHOrOHCCJIeAOBaHHRaBTOPOMI I ~ o B ~ AO~~HL U H P H ~ KI ~P~H T H ~ ~ C K Ha .~H~U H 3JIHTepaTypHbIXAaHHbIX.~ ~ ~ A c T ~ B J I ~p eH3 yHJ I~b TI a~T b I A H C C e p T a ~ H H H e I I p O T H B O p e r a T H3BeCTHbIM n y 6 J I H K a q H R M A p Y r H XaBTOPOB.O C H O B HPe3YJIbTaTbI~I~15 -P ~ ~ O ToM~ ~ ~ J I H K o B aBTOPOM~ H ~ IBB H3AaHHXX, BXOARWHX Bn e p e ~ e ~BAK.banpo6aqsro H a H a Y r H b I X C e M H H a p a X ,38 n e r a T H b I X p a 6 0 T a x ,H 3 KOTOPbIXP e 3 y J I b T a T b l IIpOBeAeHHbIX H c c J I ~ A o B Z ~ H H ~IIpOLUJIH~HaqHOHaTIbHbIX H M e m Y H a P O A H b I X K O H @ ~ ~ ~ H ~ HBI ITOMX , gHCJIe3a py6eX0~.ABTope@epa~Hn y 6 n ~ ~ aaB sT O~p a~ noT e M e AHCCepTaIJHHIIOJIHOCTbIoOTpaXWTeecoAepxmHe.T~KHMo6pa30~,AHCCepTaqHOHHlMpa60TaX ~ H K HM.B.H~O T B e r a e T BCeM T ~ ~ ~ o B ~ H H R M ,IlpeAaRBJIReMbIM K KaHAHAaTCKHM AHCCePTaqHRM, YCTaHOBJIeHHbIM II.lTpHCyXAeHHR YYeHbIX ~ T e n e H e f i ) ) OT24C ~ H T I I ~ P I2013I9( ( ~ o J I o X ~ H H R0 IIOpRAKer.

N2 842, a X ~ H K H map^HBWHMOBH~3 a C J I y X H B a e T I I p H C y X A e H H R e M y H C K O M O ~y ~r e H 0 f i C T e n e H H K a H A H A a T a @ H ~ H K O - M ~ T ~ M ~ T H Y ~ HC aKy~KI Xno CnesHaJlbHOCTkI 0 1.04.10- ( ( @ H ~ H KllOJIYIIPOBOAHHKOB)).~P e 3 y J I b T a T b 1 A H C C ~ ~ T ~ ~ H O pHa 6H0 TOb ~1 ~Xono6pe~b1H aCeMHHape~ H K HMHa~p ~ aB ~ . @ ~ M o ~E,IJIHB H ~ PaCCMOTpeHbI~Hn a 6 0 p a ~ o p@~H~~ H K O - X H M H ~ ~ C K ~CIBXO ~ ~ C T BIIOJIYIIPOBOAHHKOB @ E y H@TI4 HM. A.

@. Ho@@ePAH ( n p o ~ o ~ Nocn31 1 1 OT 20 HORGPR 2015 r o ~ a ) .Eo6b1nb A.A.Tpane3HHK0BaH.H..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации