Диссертация (1102520), страница 24
Текст из файла (страница 24)
— С.519–540.38. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.К., Кондранин С.Г.,Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А. Самосогласованнаямодель ВЧ индуктивного источника плазмы, помещенного во внешнее магнитноеполе // Физика плазмы. — 2004. — Т.30. — №5. — С.434-449.39. Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Рухадзе А.АОсобенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. I (эксперимент). //Физика плазмы. — 2007.
— Т 33. — №9. — С.802–815.16040. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф., Кралькина Е.А.,Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А.. Исследование индуктивного ВЧ разряда,как самосогласованной системы. IV. Результаты исследования эквивалентногосопротивления индуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. //Прикладная физика. — 2006. — №2. — С.41 – 46.41. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., И.Ф.Керимова, Кралькина Е.А.,Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А., Савинов В.П.. Исследованиеиндуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы.
III. Исследованиевлияния емкостной составляющей на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряданизкого давления. // Прикладная физика. — 2006. — №1. — С.36 – 42.42. Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф., Кралькина Е.А.,Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А., Савинов В.П.. Исследованиеиндуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. VII. МатематическоемоделированиеиндуктивногоВЧразрядасемкостнойкомпонентой(самосогласованная модель).
// Прикладная физика. — 2006. — №5. — С.39 – 46.43. Вавилин К.В., Рухадзе А.А., Ри М.Х., Плаксин В.Ю. Радиочастотные индуктивныеисточники плазмы малой мощности для технологических приложений // Физикаплазмы. — 2004. — Т.30. — №8. — C.739―749.44. Вавилин К.В., Рухадзе А.А., Ри М.Х., Плаксин В.Ю. Радиочастотные источникиплазмы малой мощности для технологических приложений. I. Источники плазмы вотсутствие магнитного поля // Журнал технической физики.
— 2004. — Т.74. —вып.5. — С.44-49.45. Райзер Ю. П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992. 536 c.46. Lieberman M. A. and Godyak V. From Fermi Acceleration to Collisionless DischargeHeating // IEEE Transactions on plasma physics. — 1998. — V.26. — N.3. — P.955986.47. Александров А.Ф., Богданкевич Л.С., Рухадзе А.А. Основы электродинамикиплазмы. — М.: Высшая школа, 1978.
— 411 c.48. Godyak V.A. Plasma Phenomena in Inductive Discharges // Plasma Phys. Control.Fusion. — 2003. — V.45. — P.A399–A424.49. Godyak V.A., Piejak R.B., and Alexandrovich B.M. Experimental Evidence ofCollisionless Power Absorption in Inductively Coupled Plasmas // Phys. Rev. Lett. —1998. — V.80. — N.15. — P.3264 –3267.50. Godyak V.A. Hot plasma effects in gas discharge plasma // Physics of plasma. — 2005.— V.12. — P.055501.16151. Кралькина Е.А. Особенности энерговклада в пространственно ограниченныеиндуктивные источники плазмы низкого давления: диссертация на соисканиеученой степени доктора физ.-мат.
наук: 01.04.08. — М. 2008. — 301 с.52. Godyak V.A., Kolobov V.I. Effect of Collisionless Heating on Electron EnergyDistribution in an Inductively Coupled Plasma// Phys. Rev. Lett. — 1998. — V.81. —N.2. — P.369.53. Godyak V.A., Piejak R.B., and Alexandrovich B.M. Electron energy distribution functionmeasurements and plasma parameters in inductively coupled argon plasma // PlasmaSources Sci.
Tech. — 2002. — V.11. — P.525-543.54. Godyak V.A. Electron energy distribution function control in gas discharge plasmas //Physics of plasmas. — 2013. — V.20. — P.101611.55. Godyak and Alexandrovich B.M. Lorentz force effects on the electron energy distributionin inductively coupled plasmas // Phys.
Rev. E. — 2001. — V.64. — P.026406-1––10.56. Godyak V.A., Piejak R.B., Alexandrovich B.M and Smolyakov A. Observation of theponderomotive effect in an inductive plasma // Plasma Sources Sci. Technolog. — 2001.— V.10. — P.459-462.57. Godyak V.A., Alexandrovich B.M., Piejak R.B., and Smolyakov A.I. Nonlinear radiofrequency potential in an inductive plasma // Plasma Sources Sci. Technol. — 2000. —V.9. — P.541-544.58. Godyak V.A. Nonequilibrium EEDF in Gas Discharge Plasmas // IEEE Transactions onplasma sci. — 2006. — V.34. — N.3. — P.755—766.59.
Godyak V. A., Piekaj R. B. and Alexandrovich B. M. Observation of Second HarmonicCurrents in Inductively Coupled Plasmas // Phys.Rev. Lett. — 1999. — V.83. — N.8. —P.1610―1612.60. Smolyakov A.I., Godyak V.A., and Tyshetskiy Y.O. Nonlinear effects in inductivelycoupled plasmas // Phys. Plasmas. — 2003. — V.10. — N.5.61. Sydorenko D.
Y., Smolyakov A. I., Tyshetskiy Y. O., Godyak V. A. Simulations ofponderomotive effects in inductively coupled plasmas // Phys. Plasmas. — 2005. —V.12. — P.033503-1–7.62. Smolyakov A., Godyak V., and Duffy A. On nonlinear effects in inductively coupledplasmas// Phys. Plasmas. — 2000. — V.7.
— N.11.63. Kushner M. J. and Vasenkov A.V. Electron Velocity Distributions in an InductivelyCoupled Plasma // IEEE transactions on plasma science. — 2005. — V.33. — N.2.16264. Sang-Hun Seo, Chin-Wook Chung, Jung-In Hong, and Hong-Young Chang. Nonlocalelectron kinetics in a planar inductive helium discharge // Phys. Rev.
E. — 2000. —V.62, — N 5. — P.7155―7167.65. Schwabedissen A., Benck E. C., and Roberts J. R. Langmuir probe measurements in aninductively coupled plasma source //Phys. Rev. E. — 1997. — V.55. —P.3450―3459.66. Schwabedissen A., Benck E. C., and Roberts J. R. Comparison of electron densitymeasurements in planar inductively coupled plasmas by means of the plasma oscillationmethod and Langmuir probes // Plasma Sources Sci.
Technol. — 1998. — V.7. —P.119–129.67. Lee H.-C. and Chung C-W. Effect of antenna size on electron kinetics in inductivelycoupled plasmas // Phys. Plasmas. — 2013. — V.20. — P.101607-1—6.68. Lee H.-C. and Chung C.-W. Experimental measurements of spatial plasma potentialsand electron energy distributions in inductively coupled plasma under weakly collisionaland nonlocal electron kinetic regimes // Phys. Plasmas. — 2012.
— V.19. — P.0335141—6.69. Lee H.-C., Lee M.-H. and Chung C.-W. Experimental observation of the transitionfrom nonlocal to local electron kinetics in inductively coupled plasmas // Appl. Phys.Lett. — 2010. — V.96. — P.041503-1—4.70. Chung C.-W. and Chang H.-Y. The nonlocal and local property of the electron energydistribution function in a low-pressure inductively coupled plasma // Phys. Plasmas. —2000. — V.7. — P.3826-3828.71. Mahoney L.J., Wendt A.E., Barrios E., Carolyn J. Richards C.J. and Shohet J.L.Electron‐density and energy distributions in a planar inductively coupled discharge // J.Appl.
Phys. — 1994. — V.76. — P.2041-2047.72. Mümken G . Spatial profiles of a planar inductively coupled discharge in argon // J. Phys.D: Appl. Phys. — 1999. — V.32. — P.804–814.73. Kim Y.-D., Lee H.-C., Chung C.-W. A study on the maximum power transfer conditionin an inductively coupled plasma using transformer circuit model // Phys. Plasmas. —2013. — V.20. — P.093508-1–093508-5.74. Kim S.S., Chung Chin Wook, Chang H.Y.
Theoretical investigation of the evolution ofelectron energy distribution functions in inductively coupled discharges // Thin SolidFilms. — 2003. — V.435. — P.72–77.16375. Seo S.-H., Hong J.-I., and Chang H.-Y. Electron energy distribution function and plasmapotential in a planar inductive argon discharge without electrostatic screen // Appl. Phys.Lett. — 1999.
— V.74. — N.19. — P.2776-2778.76. Chung C. W.and Chang H.-Y. Heating-mode transition in the capacitive mode ofinductively coupled plasmas // Appl. Phys. Lett. — 2002. — V.80. — P.1725―1727.77. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М.:Атомиздат, 1977. — 384 c.78. Bernstein I. B. and Holstein T. Electron Energy Distributions in Stationary Discharges//Phys. Rev.
— 1954. — V.94. — N.6. — P.1475―1482.79. Tsendin L. D. Energy distribution of electrons in a weakly ionized current-carryingplasma with a transverse inhomogeneity // Sov. Phys. JETP. — 1974. — V.39. — N.5.— P.805―810.80. Tsendin L. D. Electron kinetics in glows—from Langmuir to the present // PlasmaSources Sci. Technol. — 2009. — V.18.
— P.014020.81. Цендин Л.Д. Нелокальная кинетика электронов в газоразрядной плазме // УФН. —2010. — Т.180. — №2. — С.139.82. Tsendin L. D. Analytical approaches to glow discharge problems // Plasma Sources Sci.Technol. — 2011. — V.20. P.055011.83. Кудрявцев А.А., Смирнов А.С., Цендин Л.Д. Физика тлеющего разряда. —СПб.:«Лань», 2010.— 512 c.84. Kolobov V.I. Advances in electron kinetics and theory of gas discharges // Phys.Plasmas. — 2013. — V.20.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
