заключение совета (1102512)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 501.001.66 НА БАЗЕФГБОУ ВПО «МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТИМЕНИ М.В. ЛОМОНОСОВА» ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕУЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУКаттестационное дело № ______________________решение диссертационного совета от 5 июня 2014 г., № 4О присуждении Неклюдовой Полине Алексеевне, гражданке РФ, ученойстепени кандидата физико-математических наук.Диссертация «Влияние внешних условий на физические процессы ипараметры плазмы индуктивного ВЧ разряда» по специальности 01.04.08 –физика плазмы принята к защите 19 декабря 2013 г., протокол № 12,диссертационным советом Д 501.001.66 на базе Московского государственногоуниверситета имени М.В.Ломоносова (119991, Москва, Ленинские горы, д.1),созданным 19.10.2007, приказ № 2048-1287.Соискатель Неклюдова Полина Алексеевна, 1986 года рождения, в 2010годуокончилафизическийфакультетМосковскогогосударственногоуниверситета имени М.В.Ломоносова, в 2013 году окончила аспирантуруфизического факультета Московского государственного университета имениМ.В.Ломоносова,физическойработаетмладшимэлектроникигосударственногонаучнымфизическогобюджетногосотрудникомфакультетаобразовательногонакафедреФедеральногоучреждениявысшегопрофессионального образования «Московский государственный университетимени М.В.Ломоносова».Диссертация выполнена на кафедре физической электроники физическогофакультетаФедеральногогосударственногоучреждениявысшегопрофессиональногобюджетногообразованияобразовательного«Московскийгосударственный университет имени М.В.Ломоносова».Научный руководитель – доктор физико-математических наук КралькинаЕлена Александровна, ведущий научный сотрудник кафедры физической2электроникифизическогофакультетабюджетногообразовательногообразования«МосковскийФедеральногоучреждениявысшегогосударственныйгосударственногопрофессиональногоуниверситетимениМ.В.Ломоносова».Официальные оппоненты:Руденко Константин Васильевич, доктор физико-математических наук, ведущийнаучный сотрудник Федерального государственного бюджетного учреждениянауки Физико-технологический институт РАН,АрсенинАлексейВладимирович,кандидатфизико-математическихнаук,ведущий научный сотрудник Федерального государственного автономногообразовательногоучреждениявысшегопрофессиональногообразования«Московский физико-технический институт (государственный университет)»дали положительные отзывы на диссертацию.ВедущаяорганизацияФедеральноегосударственноебюджетноеучреждение науки Институт общей физики им.
А.М. Прохорова РАН (Москва) всвоем положительном заключении, подписанном заведующим теоретическимотделом, доктором физико-математических наук, профессором Гусейн-заде Н.Г. иутвержденном директором, доктором физико-математических наук, академикомРАН Щербаковым И.А., указала, что «Диссертация представляет собойзаконченную работу, выполненную на высоком научном уровне. Представленныев работе результаты достоверны, выводы и рекомендации обоснованы.Диссертация отвечает требованиям Положения ВАК о порядке присужденияученых степеней, а ее автор Неклюдова Полина Алексеевна заслуживаетприсуждения ученой степени кандидата физико-математических наук поспециальности 01.04.08 – физика плазмы.»Соискатель имеет 20 опубликованных работ, в том числе по темедиссертации 20 работ, опубликованных в рецензируемых научных изданиях 8.Публикации содержат новые оригинальные результаты по физике ВЧ разряда.Вклад соискателя в подготовку публикаций является определяющим. Наиболеезначимые работы по теме диссертации:31.
Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б. Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмыдиаметром 46 см. Часть I. Параметры плазмы в области скин-слоя //Прикладная физика. — 2013. — № 5. — C. 34–37.2. Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б., Тараканов В.П. Математическое моделирование индуктивного ВЧразряда низкого давления с помощью программы KARAT // Прикладнаяфизика. — 2013. — № 5.
— C. 38 –41.3. Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В., ТаракановВ.П. Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧразряденизкогодавления//Вестник МГУ.Серия3.ФИЗИКА.АСТРОНОМИЯ. — 2014. — №1. — C.79–83.4. Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В. ВлияниеэффектаРамзауэраначастотуупругихстолкновенийвплазмеиндуктивного ВЧ разряда в инертных газах // Вестник МГУ. Серия 3.ФИЗИКА.
АСТРОНОМИЯ. — 2014. — №1. — C. 84–87.5. Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б. Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмыдиаметром 46 см. Часть II. Математическое моделирование параметровплазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов // Прикладная физика. —2014. — № 1.
— С. 9–11.На диссертацию и автореферат поступили 3 отзыва. Отзывы положительные.В отзыве д.т.н. Киреева В.Ю., начальника отдела системных исследований ООО«Перспективные плазменные технологии», в частности указывается:«1. На стр. 11 в подписи к рис. 4(а) указано, что «зависимость эквивалентногосопротивления плазмы для всех рассмотренных инертных газов от концентрацииэлектронов приведена при фиксированной частоте упругих столкновенийэлектронов с атомами 3∙106 с-1».
Тогда как в последнем абзаце текста на стр. 11указывается: «Рис. 4(а) убедительно демонстрирует, что частота столкновенийэлектронов с атомами в диапазоне 3∙106 - 3∙107 с-1 однозначно определяет4эквивалентное сопротивление плазмы». Таким образом, непонятно есть лидиапазон частот на рис. 4(а)? Аналогичная ситуация с рис. 4(б).2. На ряде рисунков, например рис 1(а) и 1(б), не указаны и не показаныпогрешности приведенных экспериментальных результатов.3. В связи с большим объемом комплексных и систематических исследованийзависимости параметров плазмы от внешних факторов, проведенных в работе, дляповышения ее значимости для практических применений целесообразнооформить и привести полученные результаты в виде номограмм, указывающихмаксимальной диаметр зон 95% равномерности параметров плазмы и наборвнешних факторов его обеспечивающий.Однако указанные недостатки не снижают ценности работы, которая содержитрешение актуальной научно-технической задачи по исследованию влияниявнешних параметров (рода инертного газа, давления, частоты, мощности,величины магнитного поля) на механизмы физических процессов и параметрыплазмы индуктивного ВЧ разряда, а также по оптимизации их распределения поплощади технологической обработки диаметром до 300 мм.»В отзыве к.т.н.
Рябого В.А., с.н.с. Лаборатории ВЧИД НИИ ПМЭ МАИ, вчастности указывается:«В качестве замечания отмечу, что в автореферате по экспериментальной работехотелось бы видеть хотя бы краткую характеристику средств диагностики иоценку погрешностей получаемых с их помощью результатов.Сделанное замечание не носит принципиального характера в виду высокойрепутации научной группы, в которой выполнялось данное исследование, однакоего желательно учесть в докладе на диссертационном совете.»В отзыве д.т.н., проф. Абдуллина И.Ш., проректора по научной работе Казанскогонационального исследовательского технологического университета и д.ф.-м.н.,доц.
Желтухина В.С., г.н.с. Казанского национального исследовательскоготехнологического университета, в частности указывается:«По автореферату есть замечания.1) На стр.8 говорится следующее: «Для уменьшения времени счета масса ионоввзята равной 2000 массам электронов». Не вполне понятно, каким образом5отношение масс ионов и электронов может повлиять на время расчета, так какпоследний фактор, на наш взгляд, зависит от количества частиц в ячейках, но неот отношения их масс. Кроме того, отношение масс ионов и электронов – этоконкретная физическая величина, зависящая от рода газа.
Произвольное ееустановление может поставить под сомнение адекватность модели.2) В автореферате часто употребляется термин «частота столкновений электроновс атомами», в том числе в выводах по работе, без уточнения, о какихстолкновениях идет речь – упругих или неупругих. В принципе, понятно, чтоимеются в виду упругие столкновения, поскольку на странице 11 упоминаютсяименно они.
Тем не менее, на наш взгляд, было бы корректнее употребить болееточную терминологию.»Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновываетсятем, что оппоненты являются специалистами в области физики плазмы в целом ифизики ВЧ газового разряда и его технологических приложений в частности,имеют публикации по указанной тематике, а ведущая организация широкоизвестна своими достижениями в области физики плазмы и плазменныхтехнологий.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненныхсоискателем исследований:1. Исследованы основные физические процессы в плазме ВЧ разряда,возбуждаемого в цилиндрической трубке радиусом 23 см с индуктивнымподводом электромагнитной энергии в широком диапазоне изменения давлениярабочего газа (0.001–1 Тор), рода газа (гелий, неон, аргон, криптон), частоты ВЧгенератора (2, 4, 13.56 МГц) и индукции внешнего магнитного поля (0–50 Гс).Показано, что в рассмотренном плазменном реакторе реализуются все возможныемеханизмы поддержания разряда и нагрева электронной компоненты: собственноиндуктивный, паразитный емкостной и резонансный, связанный с раскачкой вмагнитоактивной плазме геликонов и косых ленгмюровских волн.2.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
