Отзыв ведущей организации (1091085)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

УТВЕРЖДАЮ Проректор по организации научной и проектно нинов льности 10жн ета д.э,н. енко И.К. ОТЗЫВ ведущей организации - федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Южный федеральный университет» на диссертационную работу Матвеева Егора Владимировича «Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники» по специальности 05.27,06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (технические науки)". Диссертация Матвеева Е,В. посвящена разработке и исследованию многослойных пьезопреобразователей (ПП) для решения задач микроперемещений и термокомпенсации в устройствах оборудования и приборов элеггронной техники (ОПЭТ) в условиях их интенсивной эксплуатации и созданию методик их расчета с применением уравнений теории упругости и численного метода конечных элементов.

Приводы на основе ш езоэффекта способны удовлетворить большинство требований, предъявляемых к устройствам прецизионного перемещения субмикро ни ого и пан ометрового диапазона в ОПЭТ: воспроизводимости перемещений, рабочим усилиям и требованиям к надежности, чистоте технологической среды и малому износу, возможности работы в вакууме, микроминиатюризации и малому энергопотреблению. В этой связи особую актуальность приобретают поисковые работы.

направленные на повышение микроминиатюризации устройств с ПП и развитие инженерных методик, позволяющих создавать современное, надежное и энергоэффективное технологическое и аналитическое оборудовани '. Комплексному решению поставленных проблем как раз и посвящена представленная диссертационная работа, что и определяет ее актуальность и своевременность. Диссертадионнаи работа состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы, включающего 151 наименование.

Общий объем диссертационной работы составляет 170 страниц, включая 50 иллюстраций и 3 таблицы. Основные пололсенин, выносимые на защиту, последовательно обосновываются в главах диссертации. Во введении сформулированы задачи диссертации, приводится обоснование актуальности проводимых исследований и раскрыта научная новизна работы В первой глиае представлен аналитический обзор литературных данных по исследованию ПП в ОПЭТ. В частности„рассмотрены физические основы пьезоэффекта, приведен обзор устройств с ПП в ОПЭТ вЂ” пьезосканеров зондовых микроскопов, пьезогироскопов, пьезокорректоров, микронасосов.

Вторая глава содержит разработанные. методики расчета многослойных Р!П с переменной жесткостью на базе основных уравнений теории упругости с учетом пьезоэффекта и теплового воздействия. В ~лаве приведены математические (аналитические и численные) модели П1'1, записаны основные уравнения теории упругости с учетом действия пьезоэффекта и температуры Приведены алгоритмы их решения. В нгретьей главе представлены практические приложения методик расчета многослойных ПП прямоугольной, трубчатой и дисковой форм.

Представлена методика расчета оптимального по критерию максимальной чувствительности отношения толщин активного и пассивного слоев двухслойного пьезопривода. Представлена методика оптимизации труочатого пьезосканера из нескольких участков для осуществления плоскопараллельного перемещения зонда. относительно исследуемой поверхности. Представлены оптимизированные модели вибрационных пьезогироскопов, обладающих большей чувствительностью за счет выравнивания частот возбуждения и отклика и улучшенные модели перистальтических микронасосов точного дозирования. В чеюнеерюпой главе представлены результаты разработки и исследования по приведенным методикам многослойных ПП для устройств термокомпенсации оптических резонаторов.

Представлена оптимизированная конструкция пьезокорректора, позволяющая обеспечить термокомпенсацию изменения длины оптического периметра в широком диапазоне температур. Научнан новизна диссертициипиой работы определяется совокупностью новых научных результатов изложенных в диссертации: 1.

Разработана методика расчета ПП на основе температурной аналогии обратного пьезоэффекта. Корректность методики подтверждена численными и экспериментальными исследованиями для ряда устройств и расчетами в МКЭ программах (ЛИЗУН), непосредственно учитывающих обратный пьезоэффект. 2. Разработана методика математического моделирования для определения оптимального соотношения толщин слоев ПП в устройствах ОПЭТ с целью получения максимальной чувствительности в квазистатичсском режиме. Мегодика получила апробацию в ходе расчета двухслойных пьезоактюаторов, результаты расчета по методике совпадают в пределах 1-2'Ъ погрешности с результьггами, полученными по МКЭ.

3. Разработана аналитическая модель трубчатых ПП для зондовой микроскопии с произвольным числом слоев, секций электродов и у !астков по длине. Модель была реализована в компьютерной программе, а результаты показали хорошую согласованность с результатами конечно-элементного моделирования. 4. Разработана методика оценки чувствительности многослойных планарных моделей ПП вибрационных гироскопов.

Прпктическил зипчйность работы состоит в следующем: 1. На основе разработанных методик достигнуто увеличение чувствительности многослойных ПП за счет оптимизации их геометрических параметров, выполнена компенсация температурных деформаций узлов ОПЭ1 с помощью ПП. Полученные~ в работе результаты позволяют повысить разрешающую способность устройств и увеличить коэффициент преобразования входных сигналов в полезные перемещения. Результаты показали хорошую согласованность с экспериментальными данными с погрешностью не более 1О'4. 2. Разработана и исследована многослойная модель пьезосканера сканирующей микроскопии с двумя секциями активных элементов, принимающая в процессе работы Б-образную форму с повышенным до б числом степеней свободы.

Определены оптимальные параметры данного устройства, выравнивающие положение ' иглы зонда и стабилизирующие его плоскопараллельное движение Относительно исследуемой поверхности. 3. Проведена разработка и исследование нескольких математических моделей пьезоэлектрических датчиков угловой скорости, обладающих высокими значениями чувствительности, и стабильности рея.има колебаний за счет увеличения амплитуды первичных и вторичных колебаний путем сближения резонансных частот. Увеличение амплитуды первичных и вторичных колебаний производилось за счет оптимизации геометрических параметров чувствительного элемента, размеров и формы ппперечного сечения подвески, сочетания различных мод колебаний. 4.

Разработаны термокомпенсировапные конструкции пьезокорректоров, сохрщгяющих оптический периМетр в заданном интервале температур. Достоверность и обоснпеаниосигь научных положений и полученных результатов исследований определяются высокой согласованностью резулыатов„ полученных различными Методами гчисленными, аналитическими и экспериментальными) и выоокой корреляцией результатов с известными литературными данными. Проведенные аналитические исследования основаны на основных положениях теорИи упругости с учетом температурных и пьезоэлектрических воздействий.

Для проведения численных исследований использовалось лицензионное!и сертифицированное программное обеспечение. Результаты численных исследований проверялись в нескольких различных МКЭ пакетах и на различных расчетных сетках. Натурные эксперименты проводились с применением современного повьренного оборудования. В кпчестве иедистиигнпа и зпнечапий по диссертационной работе укажем следующие; 1. Для расширения области применения использованных методик расчетов за пределами квазистатики необходимо учесть электрическую часть уравнений пьезоэффекта и температурное изменение основных свойств пьезоэлектрических материаво1~ - упругих коэффициентов, диэлектрических проницаемостей, пьезомодулей Н т.п., поскольку их неучет в ряде случаев может привести к серьезным погрешностям.

2. В практике исследований и разработки пьезопреобразователей под многослойной структурой обычно понимают многослойный пьезоэлемент. о котором в разделе о трубчатом пьезоприводе не говорится, В этой связи упоминание в п.б Выводов о разработке оригинальной методики расчета трубчатых пьезопреобразователей многослойной структуры вызывает вопросы. Кроме того, необходимо отметить, что влиянием жесткости тонкостенных вожженных или напыленных серебряных электродов обычно пренебрегают. 3. В работе имеются погрешности в знаках пунктуации и некоторые стилистические погрешности при изложении материалов исследований. Например, словосочетание "в ходе" употребляется дважды на странице 24 (1-й и последний абзац п.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации