титул-и-техпроцесс (1088523)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

«МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ

РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ И АВТОМАТИКИ

(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)»

Кафедра конструирования и производства радиоэлектронных средств (КПРЭС)

Учебная дисциплина

«Физико-химические основы технологии РЭС»

Курсовой проект

на тему «Проектирование кремниевого резонатора с пьезовозбуждением».

Выполнил: Катков Л.В.

Группа: ВК-1-04

Факультет: ВРТ

Специальность: 210201

Преподаватель: Куренков В.В.

Москва 2007

в самом конце надо вставить это:

Технологический процесс изготовления (без перечня операций)

1. Исходные материалы:

- Пластины кремния КЭФ-0,5

- Толщина: 500 мкм

- Диаметр: 150 мм

- Ориентация пластины (100)

- Ориентация направления <110>

- Допуск к плоскостности: 1 мкм

- Допуск к параллельности: 1 мкм

- Шероховатость поверхностей: Ra = 0,05

2. Двустороннее совмещение фотошаблонов 1 и 2

3. Нанесение фоторезиста на обе стороны пластины

4. Экспонирование

5. Проявление

6. Травление SiO₂

7. Снятие фоторезиста

8. Травление диафрагмы на глубину (H-h) в 30 % растворе KOH при
t = 130 ºC

9. Травление сквозных пазов

10. Нанесение пьезопленки ZnO

11. Фотолитография пьезопленки по фотошаблону №3

12. Металлизация (Al, 1 мкм)

13. Фотолитография по металлизации по фотошаблону №4

14. Скрайбирование пластины

15. Посадка кристаллов на основание

16. Ультразвуковая сварка контактных площадок с выводами основания

17. Контроль центральной частоты резонатора

18. Герметизация

19. Маркировка

20. Упаковка

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов курсовой работы