Литература (1072637)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Литература к разделу «Электронные, ионные и плазменные технологии» дисциплины «Микро и нанотехнологии»

1. Вакуумная техника: справочник / К.Е.Демихов, Ю.В.Панфилов, Н.К.Никулин и др.; под общ. ред. К.Е.Демихова, Ю.В.Панфилова. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Машиностроение, 2009, 590 с.

2. Киреев В.Ю. Введение в технологии микроэлектроники и нанотехнологии. М.: ЦНИИ Химии и Механики, 2008, 430 с.

3. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении / Ю.В.Панфилов, Л.К.Ковалев, В.Г.Блохин и др.; под ред. Ю.В.Панфилова. Т.III-8 Энциклопедии «Машиностроение».- М.: Машиностроение. – 2000, 744 с.

4. Технология тонких пленок (справочник). Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970. Пер. с англ. Под ред. М.И. Елинсона, г,г, Смолко. Т.1. М., «Сов. радио», 1977, 664 с.

5. Технология тонких пленок (справочник). Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк, 1970. Пер. с англ. Под ред. М.И. Елинсона, г,г, Смолко. Т.2. М., «Сов. радио», 1977, 768 с.

6. Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи.- М.: Мир, 1986.- 404 с.

7. Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 2. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи.- М.: Мир, 1986.- 453 с.

8. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы: Учеб. для техникумов.- М.: Радио и связь, 1988.- 320 с.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов учебной работы