К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 231
Текст из файла (страница 231)
Мера; Измерительные нрибарыг Измерительные нрваараэаватвви Измервтельваа цеаь 530 Измерительные вреебразователв 530 Иэмервтвльвые арвборм - Понятие 530— Классификация 530 - Условнме обозначения схем 531 - прямого преобразования 530 - косэенного преобразования 532, 533 Ившлавтацтэ ванная - см. Ионная имнвантаьмя Ивюашторм таавевлевочвые элевтрааюмавасцевпмм - Особенности 596, 597 - Конструкция 597 - Изпповление 593, 599 - Применение 599 Ивдуктер 687 Иатегральвые ныкросхемы - Этапы технологического маршрута изготоююния 490- Особенности формирования микросгруктур 490 - гибриднопленочные 490 - 492 - полупРоводниковые 493 - 497 Иафарманношю-взмервтельвме саегемыназначение 448 Итшаа имплантация - Понятие 29 Сущность 121 - 124 - Преимущества'122- Недостатки 122 - Дефекты и способы нх устранения 124, 125 - Применение 125 - 133- Оборудование - см.
Оборудование двя ионной имнватнаяии - Методы измерения характеристик 136, 137 Ионное леп~ровавве - см. Ионная нинвантаяия Иошюе раеаышвне 29 Иешю-лучевая обработка - Сущность 101 - Характерные процессы мэссопереноса вещества при различных энергиях частиц 101 Ионы 102, 103 - Схемы 103, 417, 418 - Очист- ш щмдтный уклзлтбль кэ, актиэщия и полироаание поверхности 104 - Травление маериэлоа 104 - 106 - Нанесение пленок 106 - Технологические источники ионов - см. Такнологичихмив ианочаню ионввОборудоээнне - см. Оборудование дгл ионнолучввой обрибоани Иовоаамваащевцва 29 Истечвиаг авва техаенепгюсаме - см.
Технологи чгошв ианочааа ионов Истечвааа ревпаювсщмо вэлучеваа 403, 404 - мягкого с элешронно-лучеамм эозбужденнсм 141, 142 - см. Оборудовиагв блн рвнагвнолитографии мяпсого с имюнсихно охапэдаемны анодом 142 - мягкого плазменные с лазерной накачкой 143 - мягкого электрорюрядные 143 - синхротронного 142 - 143 - харэхтеристического и тормозного точечныс 141, 142 - из высокотемпературной плазмы 142, 143 К Кавалвроаааие 123 Карбив - Особенности стругауры 222 Катоявое расвыневае - см. Иоюни распыление Катоделюаввесцеиция - см.
Излучение глвюнронов рвкоибинакионнов Катоды аэкуумэаэх враберов оксиднысОбсзгэжиэаннс н ахтиаироэаиие 702 - 704 мстэллопорнстые - Обезгажюание и актиэироэание 704 - хсльфрэмоаые карбидно-ториеэые 704 Качеепю ИЭТ - Понатие 42 Керамика 350, 351 Керамвчесяве слав ЭВП - Формообразоэаннс 614, 615 Клаээвы - Назначение 318 - углоэые с ручным приводом 319 - цельнометаллическис с ручным приводом 320 - угловые с энектромэхнитным приводом 320 - 322 - мэхнитнме проходные напускные 322 - пневматические условные 323 - 325 с злекгромеханическим приходом и системой автоматики 325 - с элекгромехэническим приводом 326 - аэарийно-напускные с электромеханическим приводом 326 - с управлением от пнеамопрнэода 357 Классафикатер вредуацвв маиюаестроеиая — Содержание 18 - Применение 18, 19- Группы пролукции 19 - Выбор сисюмы классификационных признаюа 19, 20 - Код 20, 24 - Струхтура укрупненных отраслевых группировок 21 - 23 Кластер - Понятие 244 - Состав 248 Кевгролаерм - Типы 422 - 424 - программируемые 438, 439 Контроль аэдааэй - Пошггие 43 - Рззиовилности 46, 47 Крааввеаэю мааредатчваи 500, 501 Кремниевый ааселерематр 50 1, 502 Креэашюмй лвгчак вагана 502, 503 Кравшй - Кристаллическая решетка э двухмерном виде с незаполненными уламивасансалми 195 - Двухмерная решетка с дырочиой и злекгроиной'проходимостью 196- Харагюристики растворимости примесей а кремнии 196 - Способы эаедения примесей 196, 197 - Свойства 498 - Изотропное травление 506, 507 - Аиизотропное траэлсиие 507- 509 - монокристаллический - Свойства 499, 500 Кристалл (чаи) 511 Крессевер 75 Л Лазерное азлучевве - Сущность 152, 153- Свойства 153 - Харааарные значения плотностей амока 156 - Процессы, происходацие прл его воздействии 155, 157 - 159 Лазерное скэаареаавве 32 Лазерные техвеампи - Классифихалмя 159, 160 - Принципы рюрэботки технологической базы 160 - Возможности 160 - 164 - Лазерная диапюстика ИС и технологических процессов 164, 165 - Сгрукгурэ лазерного процесса 164 - безрезистная 161, 163, 164 Люегвэ техаалепнескаа - см.
Оборудоэание лазерное - на утлекислом газе 166, 167 - твердотельные 167, 168 - на азоте 169 Левгмара урааиеаве 67 Лавдхарда, Шауфа в Шаигга теория 122, 123 Лавам элеатреввые - Назначение 76 - обьскпюные 76, 77 Латеграфил электронно-лучевая 137, 138 - ионне-хтвгеэая 137 Левував ваауунвые - Назначение 317 - механические эодооааскдэемые 317 - жаяюзийные ниаютемпературные 317 - эдсорбционные фораэгуумные 317, 318 Леаальве частме ебьектм 377 М Маски защитные 572 - рсзистианые 89 Масс-свапроскоиаг вторачвык иаюа 32, 136 Мерв 530 Метаааеаераевчеаав сваи ЭВП - Изплоаление 615, 618, 619 - Тшюаме конструкции 618 Метаааоегевюввме сван ЭВП - Разновидности 615, 616 - Изготовление 6 16 - 618 ПРРДМВТНЫй УКДЗДТВЛЬ 735 Металлургвчесавй переход 197 Мсталлм туголлазкие 347, 348 — легкоплавкие 353 Мехатроюша 17, 714, 718 Мехатроаиаа система оборуловаввя 717 Мехат1ювпаа технология 717, 718 Мехатровпзя функция 720 Мтштроввые модула 722 - 724 Мехатроввме устройства 717, 719 - 721 Мехатроввый аомповеат 720 Меюпроввмй модуль 722 Маароаисперевме частюгм - Теория формирования и распределения я вакууме 297, 298 Микролвтографва - Понятие 472 - Стадии 472 - Методы 472 - 474 - Требования к качеству микроструктур 474 Микроароцессораме блока увраалевва с УСО 439 - 444 Микроскоша - Разновидности 32 Маяросгруатурм 25 Микросхемы ватегральаме - см.
Янтеуальние микросхема Микросковвг растроила туивельааа - см. раапроеая туннельная микроскопия Макротювология 17 Модпфаяацпя 87 Молекулярные матервалы 221 Мовтаы ИЗТ - Меиконтзкгная коммутация 523, 524 - Микроконтзктироаание 523, 524 - Классификация методов 525 Ф - знугриузлозой 524 - меиузлозой 524 - пояерхностный 578 Маяте-Карло исток 342 Мультввлицироааиве 141 Н Надемвость изделия 47 - технологической системы 44 — 46 Навессале взвосостойзмх в аатвфрикцвоввых покрытий а вакууме - Элементы Периодической системы с высокой тзердостьт 213, 214 - Элементы Периодической системы с высокими антифрикционными саойстаами 214 Способы улучшения характеристик 216 Материалы покрытий 217 - 219 - закуумнымн ионна-плазменными методами 214 — 216, 218 - 221 - осзлгденнем из гюозой среды 214 - электронно-лучевой обработкой 215 - закуумно-дуговыми методами 216, 217 Ыавесевве авюгосзойиых товюшлевочвых струатур а вакууме - Методы расчета н выбора параметров основных элементов оборудования 237 - 242 Нанесение товаих легированных плевок а аолуароаодвакоаом материале 198 - 201 Нанесение тонких плевок а аааууме Требования к покрытиям 208 — Маторизлы рабочей камеры 208 - Откачные средства 208- Методы 208, 232 — 236 - Подготовка пластин 212 - Параметры осепдения и харакгеристнки наносимых слоев 212, 213 - термическим испарением 208, 209 - ионна-плазменным распылением 209- 212 Навесевве танюш юмвок диоксида кремния метелям терпмческого оквглеивг 192 - 194 Невы паве углеродных алмазоподобвмх плевок - Перспективы применении пленок 222 - Свойства пленок 222, 229 - 232 - Применение пленок 222, 223 - Методы 223, 227 - термоионным осткденнем 223 - 225 - нонна-плазменным распылением 225- 227 - комбинированными методами 226 - 228 осаждением из углеродистой плазмы 228, 231 Навотеююлопш 25 Напыление лазерное 419 - лазерно-термическое 420 Насосм вакуумные - Назначение 308 Оснозные парамегры 309 - Разновидности 308 - 317 Натеюпелв - Назначение 329 - Разнозидностн 329 - 331 Нейгроюв-аатваациоввый авалпз 136 Ноосбтра 716 О Оборудование впзуумвое дня произзодстаа тзердотельных лазеров 251 - 253, 259 - 261 - для произзодстза полупрозодникояых лазеров 253, 254, 262, 263 для пронэаодстза кольцевых лазеров 254 - 257, 264 - дла ионна~о траапения и напыления 261, 262 - дня диффузионной сварки 262 — для эпнтаксни 263 264 — дня осткдення тонких пленок 264 Оборудоаааае вавуумвое техволопгмское - Воздейстзугопше факторы 242, 243 - Классификация 244 — 247 - Структура 244 - Уровни автоматизации 244, 247 - 251 - Способы уменьшения генерации микродисперсных частиц 299, 300 - Рекомендации по конструирозанюо и эксплуатации 300 - 302 — Методы расчета числа и размеров микрочастнц износа 303, 304 Оборудование дла авалвэа аристалличесвой струатуры 406, 407 Оборудоаавве дла бмстрой термической обработав 172 - 174 Оберулоаавве лла вакуумного пзоалазмеввого траалевшз 96 - 100 Оборудоатше для аторвчво-ионной масеспеатросвовви 408 - 411 Оборудоаапве дла возной амплаатации 133- 136 Оборудование для вовао-лучевой обработюг 115 - 121 736 ПРРДМВТНЫй УКАЗАТВЛЬ Оборудовапие для ковтроля воверхвоегв твердого тела методами спеатроскопвп электронной и ионной 400 - 402 - ренттеноэлсктронной 402 — 404 - опс-спектроскопии 405 Оборудование дла моле вулярве-лучевой эпвтаксвв 412 — 415 Оборулевавве дзя ощюдслепия крпсталлогеометрвв поаерхвости твердого тела 402, 406 Оборудование для освящения гласа - см.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
