К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 121
Текст из файла (страница 121)
Промежутки мюклу волокнами занимают около 95 % всего объема фнльтрующей ткани. Азрозольные частицы, попадающие в эти промежутки, в результате броуновского движения сталкиваются с молекулами воздуха, прилипают к поверхности волокон и таким образом задерживаются. Наличие значительных промежутков между волокнами снижает пщравлическое сопротивление фильтра и увеличивает срок его службы. Основные характеристики отечественных и зарубежных фильтровальных материалов представлены в табл. 3.3.8.
После сборки фильтров производится контроль их внешнего вида и размеров, а также проверяхпся эффективность и пгдравлическое сопротивление. Концентрация частиц до (Сг) и после фильтра (С~ регистрируется фотоэлектрическим анализатором, что позволяет опредешпь эффективно си фильтрации по формуле Ч = (СГ - Ст)/Ср Одновременно с этим производится измерение гидравлического сопротивления. Для измерения эффективности фильтрация частиц размером 0,1 мкм применяется лазерный тест.
Концентрация частиц ло и после фильтра измеряется с помощью ла- зерного анализатора, а эффективность определяется по приведенной выше формуле. Иногда в качестве критерия эффективности фильтра используется коэффициент прозаика К - Ст/СГ = 1 - Ч, определяемый методом сканирования обратной поверхности фильтра зоцдовой головкой анализатора аэрозольных частиц. Доминирующим источником различньп загрязнений является персонал ЧПП, на долю которого по данным разных исследований приходится до 50% оседающих на пластину мнкрочаспщ.
Для защиты изделий от микрочаопщ, генерируемых человеком, служит технологическая одежда, выполненная в виде комбинезона, костюма нли халата и вхлючающая головные уборы, бахилы, маски, перчатки. Назначение технологической одежды состоит тюоке в защите человека от вредных воздействий. Ткань лля технологической одежды должна быть легкой, эластичной, удобной для кройки и шитья, злато- и пыленепроницаемой, химически и термостойкой, не мнущейся, пьглаотилкивающей и антистатической. В одежде не допускаются петли, искривлеюи строчки, обрывы нитей, выходы наружу срезанньзх краев ткани. Эксплуатация технологической одежды вюпочает контроль-приемку новой одежды и после чистки, раздачу ее персоналу, копгроль за правильным ношением и хранением, ремонтом н стиркой.
Контроль состояния технологической одежды осуществляеюя с помощью микрооконии нли счетчиками аэрозольных частиц по специедьным методикам. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ МИКРОКЛИМАТ ЧПП И ЕГО ОБЕСПЕЧЕНИЕ 387 3.3.9. Карактарнсчикв Епетсм Доведви Сисимв пенсралвнппшой подачи сглаидпсщей веды К1мтерлй Суазнбнвя Сцгугпурная схема системы чнсгю авме1ш с тариостагнров меам Точность контроля температуры ВО,1 С. Возможно управление производительностью охлаждения в ссотаежтвии г изменением Д1.
Размеры охлалщающего змеевика больше. При малых шбарнтах Н2 можно снизить потребление энергии. Возможно снижение пентралиэованного потребления энергии, требуемого для охлапдения. Можно уменьпппь шбариты камерм с термостатированием. Существует ограничение температурных условий подаваемой холодной воды Зксплуаш- ционные характерис- тики Установка, ОбслужнВВ- ние Разнообразие способов установки.
Сложность обспухпшания компрессора Метод установки позволжт сэкономить рабочее пространство. Сравнительно простое обслуживание охлюадающих устройств Примене- ние Эффективна в случае ма- лого числа установок Эффективна при большом чис- ЛЕ УОШНОВОК злл. Тпхполоппчксквй ыикгоквиыьт чиспях ПВОВЗВОДСГПВВВЫХ ПОЫКЩКВИЙ И КТО ОККСПВЧВВИВ Процесс суЪпскронной технологии зависит не только от чистоты воздуха в рабочей зоне, ио и от целого ряда друзы характеристик внутрипроизводспюнной сРеды. Необходимость термо- и влагостабилюацви среды связана, в первую очередь, с неаозмоиностаю обеспечеиюг требуемой точности нпкрокшчмапшескнх характеристик во всем объеме ЧПП и на ощельных операциях только эа счет центрального кондиционироваюш.
Для Точность контроля температуры ВО,1 С. Независимо ОТ КОВИЧЕОПМ ТЕПЛОТЫ, выделяемого на рабочем участке Дг, нагрузка охлаждающего устройспа остаегш постоянной. Охлаждающий змеевик 03 может имен минимальные габаРиты, но емкость вторичного нагревателя Н2 должна бюъ большой. Бсльшое потребление энерпги компрессором и вторичным нагревателем. Увеличение габаритных размеров камеры с термосппированием.
Мало нодаержена впиянюо внешних условий подпповкн и раздачи воздуха с харщсгеристиками, предусмотренными технологией интегральных схем, применяют кондиционерыдОВОдчнки ВВтОИОмногс и неаВгономногО типов (табл. 3.3.9). Автономные кондиционеры встраиваются в чистые объемы и используются при необходимости создания различных температурных режимов на срюпппельно небольшом числе рабочих мест в производственной линии, а неавтономные более эффекпшны при значительном числе обслуживаемых чистых Д1 - тепловая нагрузка ра- бочего участ- ка; Дг - теп- ломш нырузка подаваемого воздуха; 03- охлаждающий змеевик; Н2- 1НОричный нагреватель; ФФ - фи- нишный фильтр; УКТ - устрой- стаО контроля температуры; УРН - устрой- ство регули- ровки мощно- сти нагревате- ля; 1)г - дат-.
чюг темпера- туры; ТО теплообмен- ник; УРВ устройство контроля ох- люкдвющей воды; ОУ охлюгдающее устройство; В- Вентюштор; Н2 - шцрева- 388 Глава 3.3. ЧИСТЫЕ ПРИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ оооороово ° оооошо аэе ооаооо ооэатэе то оэ о» оо тоэеоаогооооаоо оаортаоеоево Вмоооооо оооорогое о ооэу Рве. 3.3.12.
Пример фортшроваюш вемнвмотв ветеаа е ЧПП ке1еселвеме эвам В качестве датчиков температуры находят применение термопары, термометры сопротивления, терм исторы, полупроводниковые приборы. Контроль влажности осуществляется психрометрами, гигрометрами, полупроводниковыми датчиками. Вюкнейшим фактором, определяющим уровень чистоты, а также термо- и влатостабилизации среды чистого помещения, явлжтся формирование воздушного потока. Необходимо при температурной однородности потока минимизировать время удаления эюрязнений из рабочей зоны (РЗ), что обеспачшмстся соблюдением следующих условий (рис.
3.3. 12): коэффициент эаполнентш финишного фильтра о = тчф/эч в 0,8, где тчф — площадь фильтра, для очиспти зоны; Ррэ - площшть рабочей зоны; коэффициент затухания Х = 1 - у(ус < я 0,15, где уо и У - скорость воздуха соответственно в 100 - 150 мм от поверхности фильтра и в точке измерения на расстоянии 2/3 й, где Н'- высота рабочей зоны; неравномерносп скорости воздуха под фильтром Ьу = 215 %; высота направляющих стенок лт = 300 ... 500 мм; высота расположения вытюкного окна в задней панели Ь2 = (1/4 ...
1/б) тт; поток воздуха через вьпижное окно в задней стенке Я> = (0,75 ... 0,8)9 поток воздуха через пол Я, = (0,15 ... 0,25)(2, где (г'- лоток воздуха через фильтр; расстояние между оборудованием и задней панелью г(1 в 1/10А, ще А - ширина технологической зоньг, расстояние между рабочей зоной и проходом т(2 о 150 мм. Для определения характера воздушных потоков в ЧПП широко применяется метод визуализации с помощью пучка волокон малого диаметра, в которме введен люминофор. Ориентация люминесцнрующето волокна в потоке отражает характер последнего, на основании чего можно строить двух- или трехмерные модели, позволяющие оптимизировать расположение оборудования и приточных и вьпяжных отверстий. Отклонение скорости ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ МИКРОКЛИМАТ ЧПП И ЕГО ОБЕСПЕЧЕНИЕ 389 а) Рве.
3.3.13. Вввы эврвввруввлвх стевэв ЧПП: а - одномерный грехсвсйный экран; р — двойной экран; 1- пинк; 2- железе; 3 - медь; 4- каркас; 5- ывтавввчесхвй эхрвн; 6- заземление потока в различных точках простражтва не должно превышать 20 % среднего значеши. При изменении скорости возвушных потоков в ЧПП международными стандартами рекомендуется использовать тепловые анемометры с точностью измерения э2 % максимальной скорости потока, что состаюиет примерно 3 см/с. Вибрации, возникающие в ЧПП, в значительной степени определяют точносп работы оптико-механического и контрольноизмерительного оборудовюпи и в конечном счете отражаются на качестве ИС. Основными источниками вибраций в ЧПП являются внешние нсточникы (транспорт, другие предпрюпзи), вспомогательное оборудование, кондиционеры, вентиляторы, лифты, электродвигатели и другое технологическое оборудование, перемещения в процессе работы (ходьба людей, транспортировка деталей и т.л.).
Внешние источники исследуются в основном при решении задачи союпния производственной среды с низким уровнем вибраций (при строительстве новых производственных зданий). В этом случае следует опредюппь фоновью вибрации, оценить харюсгер грутпа, динамическое воздействие фоновых вибраций на здание, и, если его харюсгеристики при вибрации нахоюпся в допустимых пределах, проект принимается. В противном случае изменяется расчетная схема здания и производится перерасчет. В случае реконструкции здюпи юичале игследуетса вибрация основания реконструируемого участка с целью определения его пригодности по этому параметру и далее выбирается способ виброзащиты. Снижение влияния вспомогательного и технологического оборудования на уровень вибраций в ЧПП достигается за счет его виброизоляции и рационального размещения, балансировки неуравновешенных масс, а также ряда специальных мероприятий по проекгированию и сооруженшо полов.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
