К.В. Фролов - Технологии, оборудование и системы (1062200), страница 117
Текст из файла (страница 117)
36К64 и табл. 3.2.41), предназначенные дяя размещения в них дисковых фильтрую щих элементов, в комплекте с которыми используются для фильтрации газов и их смесей; присоединигельные злементьс тройники (рис. 3.2.65 и табл. 3.2.42), крестовины, угольники, разъемы, ниппели и прокладки, используемые при монтаже шзовых н вакуумных систем. ЕЛЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ٠— — з Рве.
3.2.43. Снема сеаремеымй тазевей системы техвамнвчесвеа установив З е1 ° .еы о о о О о о о о а) Рис. 3.2.50. Вентиле с ручным уиравыввем (а) в нанаев с уираваением ет аиеемевриаева (б) В 70 2 сса н4 Т се азе -! г ге ) Рае. 3.2.51. Элеииаимпииимя выели Рис. 3.2.52. Ааериааыа илаиав 3.2.26. Техввчееаие хараат врастили запорвмх элементов с ручным управлением Венпсвс Характеристика Крен» Диаметр условного прохода, мм Рабочее давление, МПа Расход газа, дмз/ч 4;8 2;4 0,6 1800-3600 0,6 1800 16,0 3600 4,0 1800 16,0 18 000 1,310з 1,310з 1„310 и 1,3 10.Р 1,3 1О з 1,3 10.а 1,3 10Р 1 3 10 Р 1,3 10 н 1,3 10 Р 1,3.10 Р 1,310 и 1,310 и 1,310 и 1,310Р 30000 Сталь 12Х18Н10Т Фтора- пласт Ф-4 300 000 Сталь 12Х18Н10Т, ропласт Ф-40 300 000 Сталь 12Х1 8Н10Т, фторопласт Ф-4 200 000 Сталь 12Х18Н1ОТ, фторо- Ф-40 300 000 Сталь ОЗХ17Н14МЗЗ фторо пласт Ф-40 0,2 енин.
0,820 0,35 1,3 0,2 " Имеет несколько типов соедин Поток натекания че- рез затвор, мз Па с г Поток натекаиия в окружающую среду, мз Па.с ~ Поток натехания из окружающей среды ро внутреннюю полость при ее иакуумирова- нии, мз.Па с' Наработка на отказ, ч Материал, контакгн- руюпгий с рабочей средой Глава 3.2 ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ 4; 6; 8; 12; 16; 20 0,4 1800, 3600, 9000, 18 000, 36 000 1,3 10 Р 25 000 Сталь 12Х18Н10Т, фтора пл Ф-4, резиновые смеси ИРП-1345, 51-1481 0,860 359 Ц 3ИЗ$3- Я ~ Ссоасс б~„ХОД М М 'О Сс" О О о О о" Сс о о о М О О" Р О о" о Ь О" о О Сс" Ь о О - О о о" ЧЪ о о о М о М О о м о о о Ь о М 'О ОС сс Ь О,:,- Я О М сО О Ь о о М М 3 о Д $ ФЪ 13= а3 СО Ю сс" о о О М Ь Ь о о о о О С'С„О о" О О О Сс о М„Д о" О М о сс ссс СЧМ О О",'3 о" О ЭЛЕМЕНТНАЯ ЕАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ Ф 00 $ И сО Д Х М о О Ф сс 3 и 3 Еа о-О о~' 3 Глава ЗД.
ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ 360 3.2.28. Тюаюаесаве караатервспвю клавююв с увравлсвием от алсатроматвипюсо нрююда ' Имеет несколько типов соединений. Примечания: 1. Рабочее давление 0,6 МПа. 2. Напряжение питании 24т2,4 В. 3. Относительная продолжительность вюпочения 100%. 3.2.20. Теквююскве зрактервсзюю аварийамк юзаваиов Примечания: 1. Поток натекания в окружающую ореду 1,310 З мзПас з. 2. Мнериал, контактирующий с рабочей средой, - сталь ОЗХ17Н14МЗ, ре- зиновая смесь 51-1481 или ИРП-1345. 3.
Наработка на отказ 300 000 ч. Рас. 3.2.53. Оааатвма касаев ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ 361 О о с~ О о о" \ 1 3 о о о $ О а ~О„~ О о" о О о" в а О о4 О~'~ 4 о о М х О о о о О Ж Я о о ~ В Ф~~Ь о о~Д ~„> ~! со ..4., о ~доцоо ~,, гч а йф$ ф о 3 о О О о о о" с~ о о ц 8 О О о~ О о 4 1$ м 3 х 8 О а„о 3 Ж в В~~ П и ВФ й13$ Я а Йа о о В Глана 3.2.
ВАЕУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ Рве. 3.2.54. Регуппар раелвдв газа тала РРГ (а) в алектрвпвпиппвй ватеавтелв (4) а) Рве. 3.2.55. Регулвгер уведена реагппа тала РРР Рве. 3.2.56. РегУлатеР давлеава тана РДМ ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ З.А31. Техивчеелие характеристики регулаторев расхода газа Регулятор РРГ-3* РРГ-те РРГ-8 РРГ-9 4 4; 6; 8; 12; 16 2;4 Диаметр условного про- хода, мм 0,36; 0,9 0,9; 3,6; 9; 18; 36; 90; 180; 360; 720; 900;1800 3,6; 9; 18; 36; 90; 180; 360; 540; 720 900; 1800; 3600; 9000; 18000; 36000 0,03 — 0,01 0,03 - 0,3 0,03 - 0„12 0,05 — 0,16 Избыточное давление шза на входе, МПа х1,5 х1,0 х1,1 х0,25 А1,0 Линейность функпии преобразования, % Быстродействие, с 15 10 15 Напряжение питания от стабилнзированньп источников постоянного тока, В х15 (Я13; 83)'* х15 х15 Потребляемый от источников напряжения ток, А 0,1 (0,2) 0,2 0,2 Материал, контактирующий с рабочей средой Наработка на отказ, ч Масса, кг 5000 4000 15000 3000 4,5 2,1 1,4 " Имеет несколько типов соединений.
*' От нестабилизированных источников. Примечания: 1. Управляющее напряжение задания 0- 5 В. 2. Аналоговый сигнал при сопротивлении нагрузки более 2 кОм 0 - 10 В. 3. Поток натекания в окру:кающую среду при избыточном давлении 0,14 МПа 1,310 9 ма Пас-1. 4. Поток истекания вз окрузаюощей среды во внутреннюю полость при давлении 10 З МПа 1,3 10 9 мЗ.Па с 1. Верхний предел регулирования и преобразоваши расхода газа Д дмз/ч Систематическая составляющая приведенной основной погрешности преобразования расхода шза, % от Ял Сисшматиче сная составлшощая приведенной основной погрешности Регулирования расхода газа, % от Д Сталь 12Х18НГОТ, никель, фторолласт Ф-26, Резиновые смеси 51- 1481, ИРП- 1345 Сталь 12Х18Н10Т, фторопласт Ф-26, резиновая смесь ИРП-1345 Сталь 12Х18Н10Т, никиш, фтоРопласт Ф-26, Резиновая смесь ИРП-1345 Сталь 12Х18Н10Т, никель, резиновые смеси 51-1481, ИРП-1345 Гл 3,2 ВАКууМИЫВ И ГАЗОВЫВ СИСТВМЫ 3.2.32.
Техвичеекие харавтеристнви рмузперов расхода реагентов П р и и е ч а н и я: 1. Диаметр условного прохода 4 мм. 2. Среднеквадратическое отклонение случайной составляющей приведенной основной позрешностл регулирования расхода реатента Ю,5 % от Д л. 3. Время установления расхода ремонта 1 мин. 4.
Напряжение на входе лри сопротивлении нагрузки более 2 ком 0 - 10 В. 5. Напряжение литания от источника постоянного тока я0,15 В. 6. Сила потребляемого тока 0,3 А. 7. Поток натекаюш в окружающую среду при избыточном давлении 0,2 МПа 1,3 10 З мз Па с'. 8. Поток натекания из окружающей среди во внутреннюю полость при давлении 1О 3 МПа 1,3 10 з ма Па.с-'.
Цф~ С» о о" О ф~ю.-! ч сч ь оо с» О С» О о Щ О Ь с о ч'„сч„. о Р" О" О О О Оо оо О оо ~с оо О о ссс с» 3~й Е ~сс[ ч» "» с» счев а~ О" О" с» о О с» С» С» о ~п ~~Ц ч» о "о" О С» с» чъ сч о сч О О о Ь Ь сА \ \ сА О СЧ О сч с» С» х о Х $ 3 С» о" о" с О о сч С» с» Сс Сс О О с»" 3 Оо ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ С» ;о ч. о с» о ч сч о о " Ю ° О" С» О о О ЧС О С" Я фф СС о о оо" С» с» С» О О о О Ф Ц~ ф сч 3ц $ Ж с» с й~ ='й. =~у3 ыр й С» ~~ Е-'-' с' Глава 3.2 ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ 3.2.34.
Теюеческие харавтеристиви элевтровиоге зщтчвка и регулатора давления 3.2.35. Твеяичесвве харавтервсгиав аевтилей Вензвль мозоввевзи Характеристика Н* 4; 6; 8 0,5 9000 1,3.10 з 1,3.10 з 12; 16; 20 0,5 36 000 1,310з 1,310з 2;4 0,6 1800 1,3.10-з 1,3.10 и Диаметр условного прохода, мм Рабочее давление, МПа Расход газа, дмЗ/ч Поток иатекания через затвор, мз Па с з Поток натекания в окрухаюшузо среду, ма Пас з Поток натекания из окрунаощей среды во внутренизою полость при ее вакуу- мировании, мз Па с' Материал, коитзкпзрующий с рабочей средой 1,3 10.з 1,310з 1,310 и Сталь 12Х18Н10Т, 10Х17Н13М2Т, фторопласт Ф-4, резиновая смесь 51-1481 Сталь ОЗХ17Н14МЗ, фторо пласт Ф-40 300 000 0,25 25 000 ~ 25 000 0,5 ~ 0,95 й. Наработка на отказ, ч Масса, кг ' Имеет несколько типов соединени Ряе.
3.2.58. Вевгваь, аргдаоеавчеаамй даа вмвйтвквя в регуааревоааа аогеаеа газов в вх смесей НЛЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ 3.2.36. Техввчеекве хараатервстики ивдиазторов давлеяия газа Индикатор испознелва 2;4 4;8 4;8 Диаметр условного прохода, мм Рабочее давление, МПа 0,6; 2,5; 16 0-10 0,1; 0,6; 0,16; 0,4 2,5; 16 1,3 10 з 1 З РО зз 0,16 0,16 0,16 1 3 10 з 1,3 10 з 1,3.10.З 1,З 10-' 1,3.10-зз 1,З.10-п 1,3.10оп 1,3 10.п Сталь Сталь Сталь 12Х18Н10Т, ЕЗХ17НЗ4МЗ, 12Х18НЗОТ резиновая никель резизю вал смеоь смеоь ИРП-1345 ИРП-1345 Сталь ЕЗХ17Н14МЗ Сталь 12Х1 8Н10Т, резиновая смесь 51-1481 и ИРП-1345 Наработка на отказ, ч Масса, кг 300 000 О,З 30 000 0,45 30 000 1,2 30 000 0,99 300 000 1,5 3.2.37.
Теюичееаве хлрюпериегищ адиев зщ Примечания: 1. Поток натеканил в окрулгцощузо среду 1,3 10.З мз Па с'. 2. Поток иатекания из окружающей среды во внутреннюю полость при ее вакуумнровании 1,3.10-п мз Па с з. 3. Материал, контахзнрузсщий с рабочей средой, - сталь ОЗХ17Н14МЗ. з Щ Рас. 3.2.68. Одаеаезаааеааее Разе даазеааа Ряе. 3.2.59. Иваакатер даззеюаг Выходной сигнал, В Поток натекания в окружающую среду, мз.Пас з Поток натекания из окружающей среды во внутреннюю полость при ее вакуумированни, мз Па-' сМатери, контактирующийй с Рабочей средой Сталь 12Х18Н10Т, резиновая смесь 51-1481 и ИРП-1345 15 000 0,42 Глана 3.2. ВАКУУМНЫЕ И ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ 3.3.38.
Технические характеристики дауююавииоввмх реле давления П р и м е ч а н и я: 1. Поток натекания в окруиаюш;ую среду 1, 3 10 Е мт Па с-'. 2. Поток натекания из окруиающей ореды ло внутреннюю полость при ее вакуумироаании 1,3 10 н мт.Па с-'. Рве. 3.2.61. Датхвезюмеавее Реле Лаааеаве ВДЕМЕНТНАЯ БАЗА ГАЗОВЫХ СИСТЕМ 369 ма а) Рос. 3.2.62. Фааьтрм нвкраечвепм: а - ФГФ-1000; б -патронното типа 3.2.39. Техвичесаме характеристики фвльтров микроочистви 3.2.40. Техиичесаие хармпериспми фвльтров микроочвстли и охлюкдеиии (рис.
3.2.63) Примечания: 1. Рабочее давление 0,1- 13,3 МПа. 2. Поток натекания из окруттающей среди 1,3. 10 т ма Па.с 1. 3. Маюриал, контактирующий с окруиающей средой, - сталь 12Х18Н10Т. 370 Рве. 3.2.63. Фвльтр иварааветав в ехлеилеввв Рве. 3.2.64. Фвльтредериатсль 3.2.41. Технические характеристики фильтродервщтелей (рве. 3.2.64) Фвльтрсдерввзсль жпслиеввл Характеристика 1П 2;4 47 47 25 142 1,3 10 з 1,3 10з 1,310 з 1,310Р 1,310э 1,3 ГО з 1,3 10 и 1,3 10 и 1,310 и 1,310 и Сталь ОЗХ17Н14МЗ, ни- кель, фторопласт Ф-40 Сталь ОЗХ17Н14МЗ, фторо пласт Ф-26 Стань 12Х18Н10Т, фторопласг Ф-26 и Ф-40 300 000 0,55 Сталь 12ХГВН Гбт резина 51-1481 300 000 0,55 300 000 0,6 300 000 1,2 Наработка на отказ, ч Масса, кг 8,6 Примечание.