Proektirovanie_tekh_protsessov_chast_1 (1060156), страница 4
Текст из файла (страница 4)
Нот . б в, гнтстичгские нонн - чоянтагп поенная. аосьнсння тнспь и .,р. чотсрые агцьчеиваст на поп .ро . ьгнц диск. С псцсцнх псих; ояапьнв ха ссдамт повнрогвлы ыд состав « оь ох)ос) сгчгабцтыи сои с е дхироваиьнг а дьв ~ен б т стг,инеи и .' тиснете.гс овгруа тих суо .,на ), хех одеево у вассу, и*яствие оцхнхгемх ог. п~гн почгпопояировавю .
астнь аогхгеаче и г го. 'с.,хруоанц состаг дгн пцсдьарнтсиь . хин)ст о: пригстси.. с.х г- мц раотвоо к "ц ) теп, чтобы р ство). , ег г)) )), 0 ... )в . О. рнгогсвлевие. Нопьоое ех анне гы сто)и сть .»- „: сечагтво вост сьазыь ет генп р тупа обрасотии. Поцоьечцусхсгг псгг)ор вят~ ." го обстау я игыьнггц растраввнвав спхд сг .. давнее и ви)анан. два иренине нх ьхесг '! "танеев наст ...ц,Ох) !О па нь сгяче о ичатд ого но:цроьа иь.,ын сг типа апнц дав. они оинрсвания стана.
ив : пр девах )О,О)...О,О() )О'г П Пгиытвны ) .. твои. П) над ницце н,гу,.- .".чгч ыдц о. ироеат н ие я , ренан о брасат ганется н . : д огонгг, овоичсто. ьнсе ооцированис, коза янно. вист по хны, а ссц схо даухст рсввего вим'геоння. )р тоы оаеращ я нх. исхинч тот. пригн-оспе ие ииаацих ) ) нчюонваиие авгцхгвдтьеьх г тс:в ~ Г '-' -':' Ир.г т виси е ссиггру- оциг. с ста ов от~имая : отупрснодвмновых пвасгин ;ар цастин пр цес = оя осеан я охааыв ч сгег»|р Не б хд .ио досинать .н рагномерн сти ре .род %е а кис нег* , вс г ), и'аогннср„ н ног~хну в р гавчсгг сдучае ~*равно а;н ров икб.
бььн пра ьть цг. в боса на гоаб . цстки на о. дюц знать, каиса зацгланзння антса нн п вар нос.и л.г:гинн, как ил иоан. уд тать. кваса л цьпс си спут ц;азат на свонотва Нцс бр , гамак стоб обработан,ластик каринки сьисткн провода , ять рвз, ь , рл 1 ого олтьниг гоисг ос в 1в рпитняц ьл нык от руктуьаг са скривим слоги — бо.,с* даст"и р з. боврсысьяы,: тсхнольг,с ьгьупрсводнинснсг ..то пла. бняцг.г плггтнн 0 сисцгсскы аа ооц~гя свгряо,цн; с ' всо ьос-и ~ с,у 1р л цннковс~ птарицса нро сь якт в ра ус ьтс го нгмк,.сг,.у:зо . га ~ггггьовст ,оляркоацинн, » я лантол сбр тянь пробно*о . нзцггорнз гдсогцг р енн н наст цы могут г рссд лить си.
н, оьвснвиыц, . нк с арь г» Р~ ~ еы ка:пг .Рс 3. лог г. стоянии ь ~чапо,'ьн « :, к эменнт оосонирнеаняс ° . раатоорнтолл' л. кх эрах. Сн чола в неиоллрны» кли о аосс гяр. нм . Оас я р т л х »бонз е, толус. е Х ти эан ьеполяряые загр знания, а цпс~ а с,р а», нц тоне, трих»орэтил н. - п ляр химическиа аегсяэнен н связаны с поверхность.з полу роеоцни." есг материала силе и хлмичесн н алсорбциз Ххемо,ороциэ Ц Пры хеносорбции сбр зР»тся проч ы.
коэалентние 1 к »ьн санок лицу ПРН С Хикич но загрязнения б,»аох ионны атс ыммт. Ноп чня огрнэненгл янга гся оастеориные в ссл с лс, кислот » осасеацнмх растворов, согнццзцн» у пакеюц мета»гихцсьсс. Осн з, зну х дискон, пзифоеаььикн ь попирая"чьн кое. Лтснлчг тгрнзо к з с аапннтся з яиа. в косзаронм К о атомоэ эо»»тя, аре*ра, сцу, месс, л е ц «ся е х «чссн х реактивы.
Онн могут соь.р кать ес" понеси ос ь н яа . оозэовмээть икрсскопвчосю »,иыя«есина онгэязьэяея уцътнэт з кислоте»;цн зори остыв а. тая~ их енестиах. Сначала у -.р нн т органически.. загрязнения н хю ч окк с яза не г юанерхнс хь пленки, тс снопе и зт Е.ПЦ,: СНСЕНГРИРОЬЯНП ~ Ь РО Р .. ОС ~ ри * в не яз счисткэ «- л и сосенок цслаш боте ~ ортиг по н пенны ь: абрьоьт:»аан оту полупроя дн г е у »~атэс елу. Пбоэуловччис, ю тоз.ч е ~ олнлпт оч оглу, долли канструяооэаться по Ркнцияу "оьснсчсчнсго рв»оаи енгя" Хнаскалные н нн брабохк.
Рак ц тонн, с спинные,. иг»меняная ое смвчивае ости,:, рос оянчссияе, Фо о етрнчеонле и спектре. ьныа. методы, основа;ве ня из е«о начиваэысст, ор от о.»ьнс ялл кн ~е т вои оцонк чистоты покер т Кинроскопкческнс ыетоны огнопапы из наслхц « еер»но ги н светлом нли - мн м поле нтэческсгс икрсексп, н хило О нозгьь» елоктр» Ого ~кирпоноса. Пр, это внии нотон астчхт*ни» юргынче цн р стьорнтыаги осраау, х арент р ые узоры. кснрп;пиния з зоцье* ти нз и р»ьос»и нсльропаян лнс» я наг»пинк:и; ь або~ 'е».ти Р Строганина В ~ Рсоззхэынооти ~ Г ~ ЭЭУ ОЮО. сленг. в -.:.
ил тронное граня' юе - Рэ*" эсг ' ыс ю луьнэзодни ' юнца с сди .ивовой сясзосю г и н *. *~ Р и та гп~ ьл юсино пю юны . - о.воллет равно сонэ отрав ннать ююкюь с сь. 'югсс трав ланке нвэнвопт хамное нггн пот:рюаюз». лвиэотрсцноэ трввлююо — овстгопьиие полупроводникового мвта- риала с неодинаковор ростов па рааэыцынн кргстюлограй вским направьсюю — волв льет вырешив ю пхни. Сенеьтинисе тра о,сн г . Растворен ь г упргюоднвкоа гс мате- р эла с осинке нюл скоосотьп трню,а ою вст л и ода нв позорь н с Руьтурвн керэзтэы. О .не~ сьев ю « тт г, глстиссть пой ютог на пов ркносэ дластюн. адсар цил и повнок-озтьп, этапа. тряаэтвлв, а котоюю оаюгю гюеыиння нтьпаын лнллпгон кнрйуз юаня , н энзнвтю полнр;юцаып. Лнн тоаннави» кретины при .с книг ~ одтнг* раст ор, К' " 1, гзн ВГГ , рн те псратуре 118... 188 '"с, С11ЯСОК ГЮДОУЛЗДУВ '01 УЙТ1.РЛТУГН 81'ЛД8118ПВЯ Ннедег е ..........................................
Осана оолоиения калибровка слвтков ................................ Ориентации и »зготоыьние базового среза на сьг н : проверка ариентацн аго торца , нарезаные слитка на плвстинь ..................... Онироаание пнастин ................................ эсрмнронание Оасок на кр « ю тн Эолирсывмые пластин Онистна пластин ................................... Сп: сот реггомвжуеи й лиг Ратурн .. :.апсрояская О.ц., гап , г н.л. Осоаос ка полусрс д нк анх материалов.
Ы.: Выси. ь., 1888. гбу с. к. Викийюрова-Денисова слн. Гсхвслогиг нслу ~ронодвил онх ш борон и изделий микрсэлектронигн. и.; Висл. ин., Лннн. нб с. Гыеканицескаи н хвмисеская брвб, тиа1. Вврбань Р.н., 8 Рзаьав О.и. Оорвоотю монокрист лл н микровлектрсвика. к.г уадно и свис ° , 1888. Ва э. киоартас н.л. 'о«тронь геоютр ~еюю« эзра атр ь н сост.олина ь верхиости полупроэю1нююьнх пластин 11 Знруоегная электр н. нэя т. н ьа. 1РВ?. Внп. '. С. .