РПЗ (1058684), страница 4
Текст из файла (страница 4)
у=-3,82+0,0067
Проверка модели на адекватность по критерию Фишера:
| | |
| 1,08 | 1,03 |
| 1,13 | 1,12 |
| 1,26 | 1,21 |
| 1,55 | 1,51 |
| 1,85 | 1,84 |
из чего следует вывод, что модель адекватна.
Расчет движения скорости ленты и передаточных
коэффициентов привода:
Одна печь имеет длину 1м. Заготовка должна находиться в ней не менее часа.
Скорость движения ленты
Уравнение баланса привода:
,
Где 
– передаточные коэффициенты червячных передач, 
-передаточный коэффициент двухпарной гитары
0,1667 об/мин
Погрешность 
=0.3%
Заключение
В данном курсовом проекте были изучены этапы производства кремниевых солнечных коллекторов, а так же проведено сравнение методов диффузии. Был выбран метод диффузии распыление из твердого планарного источника, так как он имеет ряд преимуществ:
-
высокая производительность за счет большой плотности загрузки пластин кремния и возможность использования всей рабочей зоны диффузионной печи;
-
хорошая воспроизводимость параметров диффузионных слоев благодаря сведению к минимуму числа влияющих на них технологических факторов и простоте управления процессом;
-
однородность уровня легирования по поверхности, что особенно существенно в связи с тенденцией перехода на пластины большого диаметра;
-
простота используемого технологического оборудования;
-
высокая экономичность.
Также было получено уравнение регрессии для расчета глубины двухстадийной диффузии и рассчитаны передаточные коэффициенты привода.
Список литературы:
-
www.sovtest.ru
-
http://star-galaxy.ru
-
Гречаник В.А., Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов, 2003
-
Готра З.Ю., Осадчук В.В., Кучмий Г.Л., Диффузионное легирование в современной технологии кремниевых ИС , 1990
-
В. Г. Гусев, Ю. М. Гусев Электроника. М: Высшая школа, 1991
-
Исмаилов Т.А., Шангереева Б.А., Способ диффузии фосфора из твердого планарного источника, 2008
24
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
