3 (1058680)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

1УСТАНОВКА ДЛЯ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА234567Установка ТПИ и пластинкремния в кварцевой кассете1- автозагрузчики; 2-пульт программного управления;3-устройство газового распределения;4-диффузионные однозонные печи;5-блок пылезащиты;6-камера вытяжки;7-пульты управления автозагрузчиками2P2O5 + 5Si → 5SiO2 + 4P1-кварцевая кассета;2-твердый планарный источник;3-пластины кремния;4-пары Р2О5Зависимость глубины залегания p – n перехода отвремени проведения диффузии для ТПИ№123456789101112Т,°С920950980t,мин204060802040608020406080xjсред,мкм0,20,320,540,70,400,630,851,060,620,901,161,45Достоинства способа диффузиис использованием ТПИ••••••высокая производительность за счет большой плотностизагрузки пластин кремния и возможность использованиявсей рабочей зоны диффузионной печи;хорошая воспроизводимость параметров диффузионныхслоев благодаря сведению к минимуму числа влияющихна них технологических факторов и простоте управленияпроцессом;однородность уровня легирования по поверхности, чтоособенно существенно в связи с тенденцией перехода напластины большого диаметра;простота используемого технологического оборудования;высокая экономичность..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы