Лист2 (1058674)
Текст из файла
Технологическая последовательность изготовление СБИСФормированиетраншейной изоляцииФормирование островков-Химочистка-Окисление-Нанесение поликремния-Фотолитография-Анизотропное травление-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOLФормирование LDD областей-Фотолитография-Имплантация бора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Окисление-Фотолитография-Имплантация фосфора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Анизотропное травление-Химочистка FEOL-Анизотропное травлениеполикремния-Фотолитография-Фотолитография-Имплантация бора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Травление Ti/AlCu/Ti-Удаление фоторезиста-Химочистка BEOLФормирование 2-го уровня металлизации-Фотолитография-Имплантация фосфора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Подзатворное окисление-Нанесение поликремния-Травление окислав паре-Отжиг-Химочистка FEOL-Травление в паре-Отжиг-Химочистка FEOL-Нанесение Ti/AlCu/Ti-Фотолитография-Имплантация бора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOL-Фотолитография-Имплантация фосфора-Удаление фоторезиста-Химочистка FEOLФормирование салицида-Нанесение титана-ОтжигФормирование 1-го уровня металлизации-Фотолитография-Изотропное травлениеполикремния-Травление окисла в пареФормирование кармановФормирование cтоков/истоков-Анизотропное травлениеокисла-Химочистка FEOL-Нанесение окисла-ХМП окисла-Нанесение окисла-ХМП окисла-Химочистка FEOL-Отжиг-Фотолитография-P-стоп имплантацияФормирование затворовФормирование спейсеров-Нанесение окисла-Уплотнение окисла-Окисление-ХМП волфрама-Химочистка BEOL-Нанесение Ti/TiN-Отжиг-Нанесение W-Удаление непрореагировавшего титана-Анизотропное травлениеокисла-Удаление фоторезиста-Химочистка BEOLФормирование 3-го уровня металлизацииФормирование 4-го уровня металлизации-Фотолитография-Нанесение окисла-Отжиг-ХМП окисла.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
