2 лист. Анализ способов (1058622)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Перв. примен.Справ. №Подп. и датаВзам. инв. № Инв. № дубл.Подп. и датаИнв. № подл.VтранспНа пластину предварительно наносится маска-трафарет, в виде защитных металлическихдисков. Кремниеваяя пластина, закреплённая на стеклянной подложке, расделяется вдольэтой маски с помощью потока абразивных части, подаваемых в струе сжатого вохдуха41231. Кремний2. Стеклянная подложка3. Маска (металлический диск)4. Сопло установкипескоструйной резкиVсканРазделение алмазной пилойЭкологичностьСтоимость процессаВысокаяСредняяНетПрямоугольникФорма кристалловНеобходимость последующейобработкиНизкаяСкрайбированиеВысокий1234ВысокаяСредняяНетПрямоугольникНизкаяВысокаяВысокаяНетЛюбаяОчень низкаяН.контр.Утв.Изм. Лист № докум. Подп.

ДатаРазраб. Пономаренко Н.В.Пров.Каменихин А.Т.Т.контр.ВысокаяНизкаяНетЛюбаяСредняяКопировалАнализ операции. Способыразделения кремниевых пластин.1:1Масса МасштабЛистЛистов 1МГТУ им. Н.Э. БауманаКафедра МТ -11Группа МТ 11-82Формат A1Лит.Установка сухого абразивного травления кремниевых пластинВысокаяСредняяДаВысокаяРазделение пескоструйн.НизкийЭлементы вытравливаются из маскированных пластинпосредством травления вдоль немаскированныхдорожек травильным раствором HF-HNO3. Данный способдорог и может быть источником загрязненияокружающей среды. При маскировании необходимоиспользовать драгметаллы, единственно химическистойкие к весьма агрессивным травильным растворам.Имеются проблемы с кромками кристаллов.Выход годного кремния - низкий.

Преимуществоданного способа: слабое травление(или отсутствие травления) кромок дисков-кристалловпри монтаже, удобный профиль, любая нужная формаэлемента, задаваемая при маскировании методами фотолитографии.Разделение растравливаниемРазделение алмазн. пилой Разделение ультразвуком Разделение растравл.ВысокийВысокийОчень низкий1. Кремний2. Стеклянная подложка3. Маска (металлический диск)4.Среда (HF-HNO3)Одной из новейших технологий является резание при помощиультразвуковых колебаний частиц абразива. Ультразвуковаярезка применяется при обработке полупроводниковых пластинв тех случаях, когда необходимо получить кристаллы сложнойконфигурации и заданного профиля. 1 - абразив, 2 - инструмент,3 - пластинаРазделение ультразвукомПроизводительностьВыход годного кремнияКанавки по нужным линиям через всю кремниевую пластинупропиливаются с помощью быстро вращающегося тонкого диска,покрытого по кромкам алмазным порошком.

Разделение на элементыосуществляется посредством сгибания пластины на мембране либорезанием на полную глубину пластины. Ширина канавки можетсоставлять 50…100 мкм. Диск 1 устанавливается на шпинделестанка и зажимается с двух сторон фланцами 2. В процессе резанияалмазный режущий диск вращается с большой скоростью иохлаждается жидкостью 3. Разрезаемую полупроводниковую пластину4 закрепляют клеящей мастикой 5 на основание 6.Разделение пескоструйной обработкойСкрайбирование заключается в нанесении на поверхность пластиныв двух взаимно перпендикулярных направлениях рисок, например,алмазным резцом, диском, проволокой или лучом лазера.

Подрисками образуются напряженные области, по которым послеприложения к пластине механического воздействия происходитломка пластины.Ломают скрайбированную пластину- механически, приложив к ней изгибающий момент,- с помощью ультразвука;- термоударом- нагревом и последующим быстрым охлаждением;- скрайбированные пластины помещают в конверт из пластичногоматериала,затем вакуумно-плотно закрывают и откачивают из неговоздух, в результате чего возникает механическое воздействие ипластина разламывается.Скрайбирование/разломУстановка сухого абразивного травления кремниевых пластин.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы